[發(fā)明專利]硅棒切磨一體機及硅棒切磨方法

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202210766503.4
• 申請日: 2022-07-01
• 公開（公告）號: CN115107180A
• 公開（公告）日: 2022-09-27
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 盧建偉;潘雪明;錢春軍;曹奇峰;李鑫
• 申請（專利權(quán)）人: 天通日進精密技術(shù)有限公司
• 主分類號: B28D5/04
• 分類號: B28D5/04;B28D7/00;B28D7/02;B28D7/04;B24B27/00;B24B41/00;B24B41/06;B24B9/06
• 代理公司: 上海明倫知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 31369
• 代理人: 張明

1.一種硅棒切磨一體機，其特征在于，包括：

機座，具有硅棒加工平臺；所述硅棒加工平臺包括至少一切割區(qū)位和至少一研磨區(qū)位；

硅棒轉(zhuǎn)換裝置，設(shè)于所述機座的硅棒加工平臺上，包括轉(zhuǎn)換主體、設(shè)于所述轉(zhuǎn)換主體上的多個硅棒夾具、以及轉(zhuǎn)換驅(qū)動機構(gòu)，所述硅棒夾具用于夾持硅棒并使得夾持的硅棒的軸心線與水平線一致，所述轉(zhuǎn)換驅(qū)動機構(gòu)用于驅(qū)動多個硅棒夾具及其所夾持的硅棒在至少一切割區(qū)位和至少一研磨區(qū)位上轉(zhuǎn)換位置；

至少一切割裝置，設(shè)于對應(yīng)的至少一切割區(qū)位，用于對所述硅棒轉(zhuǎn)換裝置中位于對應(yīng)的切割區(qū)位處的硅棒夾具所夾持的待切割的硅棒進行切割作業(yè)，以使得截面呈圓形的待切割的硅棒經(jīng)切割作業(yè)后形成截面呈類矩形的已開方的硅棒；以及

至少一研磨裝置，設(shè)于對應(yīng)的至少一研磨區(qū)位，用于對所述硅棒轉(zhuǎn)換裝置中位于對應(yīng)的研磨區(qū)位處的硅棒夾具所夾持的已開方的硅棒進行研磨作業(yè)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅棒切磨一體機，其特征在于，所述硅棒加工平臺包括一切割區(qū)位和一研磨區(qū)位，其中，所述切割區(qū)位對應(yīng)設(shè)有一切割裝置，所述研磨區(qū)位對應(yīng)設(shè)有一研磨裝置。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅棒切磨一體機，其特征在于，所述硅棒加工平臺包括兩切割區(qū)位和一研磨區(qū)位，其中，所述每一個切割區(qū)位對應(yīng)設(shè)有有一切割裝置，所述研磨區(qū)位對應(yīng)設(shè)有一研磨裝置。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅棒切磨一體機，其特征在于，所述硅棒加工平臺包括一切割區(qū)位和兩研磨區(qū)位，其中，所述切割區(qū)位對應(yīng)設(shè)有一切割裝置，所述每一個研磨區(qū)位對應(yīng)設(shè)有一研磨裝置。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硅棒切磨一體機，其特征在于，所述切割裝置包括：

切割安裝結(jié)構(gòu)，設(shè)于所述機座上且對應(yīng)于切割區(qū)位；

切割單元，設(shè)于所述切割安裝結(jié)構(gòu)上；所述切割單元包括設(shè)于所述切割安裝結(jié)構(gòu)上的切割線架、設(shè)于所述切割線架上的多個切割輪、以及切割線，所述切割線依序繞設(shè)于所述多個切割輪形成至少一切割線鋸；以及

切割行進機構(gòu)，用于驅(qū)動所述切割安裝結(jié)構(gòu)及其上的切割單元沿切割方向移動以令所述切割單元中的至少一切割線鋸對切割區(qū)位處的待切割的硅棒進行切割作業(yè)；所述切割方向與所述硅棒轉(zhuǎn)換裝置中位于對應(yīng)的切割區(qū)位處的硅棒夾具所夾持的待切割的硅棒的軸心線一致。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的硅棒切磨一體機，其特征在于，所述切割單元包括兩條平行的切割線鋸，所述兩條平行的切割線鋸用于對所述硅棒轉(zhuǎn)換裝置中位于對應(yīng)的切割區(qū)位處的硅棒夾具所夾持的待切割的硅棒進行切割作業(yè)以形成兩個平行的側(cè)切面。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的硅棒切磨一體機，其特征在于，所述切割裝置還包括切割進退機構(gòu)，用于驅(qū)動所述切割線架及其上的切割線鋸沿切割進退方向移動于所述切割安裝結(jié)構(gòu)，所述切割進退方向垂直于所述切割方向。

8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的硅棒切磨一體機，其特征在于，所述切割裝置還包括調(diào)距機構(gòu)，用于調(diào)整所述切割單元中至少一條線割線鋸的切割位置、或者變換切割線繞于所述切割單元中多個切割輪的切割線槽。

9.根據(jù)權(quán)利要求5所述的硅棒切磨一體機，其特征在于，所述切割單元包括兩條交叉的切割線鋸，所述兩條交叉的切割線鋸用于對所述硅棒轉(zhuǎn)換裝置中位于對應(yīng)的切割區(qū)位處的硅棒夾具所夾持的待切割的硅棒進行切割作業(yè)以形成兩個相交的側(cè)切面。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的硅棒切磨一體機，其特征在于，所述切割裝置還包括切割進退機構(gòu)，用于驅(qū)動所述切割線架及其上的切割線鋸沿切割進退方向移動于所述切割安裝結(jié)構(gòu)，以調(diào)整所述切割單元中兩條交叉的切割線鋸的切割位置；所述切割進退方向垂直于所述切割方向。

11.根據(jù)權(quán)利要求6或9所述的硅棒切磨一體機，其特征在于，還包括：與所述切割單元對應(yīng)的收放線單元。