[發明專利]一種用于半導體晶圓生產的研磨裝置

在審

• 申請號: 202210760084.3
• 申請日: 2022-06-30
• 公開（公告）號: CN115056060A
• 公開（公告）日: 2022-09-16
• 發明（設計）人: 殷澤安;陳典文
• 申請（專利權）人: 東莞市譯碼半導體有限公司
• 主分類號: B24B7/22
• 分類號: B24B7/22;B24B27/00;B24B41/06;B24B45/00;B24B47/06;H01L21/67
• 代理公司: 北京卓恒知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 11394
• 代理人: 杜偉軒

1.一種用于半導體晶圓生產的研磨裝置，包括第一直線滑軌（4）、第一滑塊（5）、箱體（17）和方形管（18），其特征在于：所述箱體（17）的底端固定連接有底盒（2），同時箱體（17）的一側設置有箱門（32），箱體（17）的內部底端對稱設置有第二直線滑軌（9），且第二直線滑軌（9）上滑動連接有第二滑塊（44），第二滑塊（44）的頂端固定連接在承重板（25）上，承重板（25）的中心處開設有方形孔，且該方形孔的內部放置有方形管（18），方形管（18）的頂端固定連接在放置板（11）上，放置板（11）的頂端兩側分別開設有放置槽，同時承重板（25）的底端四角分別固定連接有連接腿（8），連接腿（8）的底端固定連接有底板（7），底板（7）的頂端中心處固定連接有第一氣缸（6），第一氣缸（6）的活動端固定連接有推板（10），同時推板（10）位于方形管（18）的內部，箱體（17）與連接腿（8）的連接處開設有通孔，底板（7）的底端固定連接有第一滑塊（5），第一滑塊（5）位于第

一直線滑軌（4）上，第一直線滑軌（4）固定連接在底盒（2）的內部底端，第一滑塊（5）的一側鉸接有連接桿（3）的一端，連接桿（3）的另一端轉動連接有T 型桿（20），T 型桿（20）固定連接在轉動盤（1）的一側邊緣處，轉動盤（1）套接固定在滑動電機（19）的輸出端上，滑動電機（19）設置在底盒（2）的內部底端一側。

2.根據權利要求1 所述的一種用于半導體晶圓生產的研磨裝置，其特征在于：所述箱體（17）的內部頂端對稱固定安裝有豎直桿（30），豎直桿（30）上滑動連接有限位塊（14），限位塊（14）的頂端固定連接有第二氣缸（31），第二氣缸（31）的頂端固定連接在箱體（17）的內部頂端。

3.根據權利要求2 所述的一種用于半導體晶圓生產的研磨裝置，其特征在于：所述限位塊（14）上固定連接有升降桿（13），升降桿（13）的底端固定連接在套管（37）上，套管（37）的內部轉動連接有延長管（36），延長管（36）的一端固定連接在圓形板（43）上，圓形板（43）固定連接在第一側板（42）上，第一側板（42）套接固定在固定管（21）的內部一端。

4.根據權利要求3 所述的一種用于半導體晶圓生產的研磨裝置，其特征在于：所述第一側板（42）上滑動連接有第二限位管（39），第二限位管（39）的一端固定連接在擋圈（41）上，擋圈（41）的中心處開設的方形孔配合連接有第一限位管（38）。

5.根據權利要求4 所述的一種用于半導體晶圓生產的研磨裝置，其特征在于：所述第一限位管（38）套接固定在雙向絲桿（35）的一端，同時第二限位管（39）的另一端固定連接在轉動塊（28）上，且轉動塊（28）的兩側固定連接有卡塊（29），且卡塊（29）和轉動塊（28）位于圓形板（43）上開設的凹槽內，同時圓形板（43）和第一側板（42）與第二限位管（39）的連接處開設有通孔，第一限位管（38）上繞接有彈簧（40），且第一限位管（38）靠近轉動塊（28）的一端套接固定有擋環，同時彈簧（40）位于擋圈（41）和該擋環之間。

6.根據權利要求3 所述的一種用于半導體晶圓生產的研磨裝置，其特征在于：所述固定管（21）的內部另一端套接固定有第二側板（45），且第二側板（45）的中心處嵌入安裝的軸承內部套接固定有雙向絲桿（35），同時第二側板（45）上固定連接有固定軸（34），且固定軸（34）上套接固定有第二皮帶輪（33），且第二皮帶輪（33）上繞接有皮帶，同時該皮帶配合連接有第一皮帶輪（15），第一皮帶輪（15）套接固定在研磨電機（16）的輸出端上，研磨電機（16）固定連接在箱體（17）的內部頂端。

7.根據權利要求6 所述的一種用于半導體晶圓生產的研磨裝置，其特征在于：所述雙向絲桿（35）上配合連接有移動塊（24），移動塊（24）的側面分別鉸接有限位柱（22），且限位柱（22）位于連接軸（23）上，連接軸（23）固定連接在固定板（26）上，同時固定板（26）套接固定在固定管（21）的內部兩側，固定管（21）的外部放置有連接管（27），連接管（27）的外部固定連接有研磨砂輪（12）。

8.根據權利要求7 所述的一種用于半導體晶圓生產的研磨裝置，其特征在于：所述限位柱（22）的一端插接在連接管（27）上開設的通孔內，同時固定管（21）與限位柱（22）的連接處開設有通孔。