[發明專利]缺陷監控方法及缺陷監控系統

在審

• 申請號: 202210744426.2
• 申請日: 2022-06-27
• 公開（公告）號: CN115170495A
• 公開（公告）日: 2022-10-11
• 發明（設計）人: 韓俊偉
• 申請（專利權）人: 上海華力微電子有限公司
• 主分類號: G06T7/00
• 分類號: G06T7/00;G01N21/88;G01N21/95
• 代理公司: 上海思捷知識產權代理有限公司 31295
• 代理人: 鐘玉敏

1.一種缺陷監控方法，其特征在于，包括：

建立數字信號數據庫：逐層采集測試晶圓的第一光學圖像，人為定義滋擾性缺陷，對存在所述滋擾性缺陷的第一光學圖像進行數字分析，并將得到的第一數字信號存儲至所述數字信號數據庫內；

采集監控晶圓的第二光學圖像并進行數字分析，輸出所述監控晶圓的第二數字信號，并將所述第二數字信號與所述數字信號數據庫內的第一數字信號進行比對，若所述第二數字信號與所述數字信號數據庫內的某一所述第一數字信號相同，則過濾掉所述第二光學圖像。

2.如權利要求1所述的缺陷監控方法，其特征在于，所述缺陷監控方法還包括：

對所述第一數字信號進行分析，得到所述第一數字信號的變化范圍；

若所述第二數字信號與所述數字信號數據庫內任一所述第一數字信號均不相同，則進一步判斷所述第二數字信號是否位于某一所述第一數字信號的變化范圍內，若是，則過濾掉所述第二光學圖像，若否，則輸出所述監控晶圓的缺陷分布圖。

3.如權利要求2所述的缺陷監控方法，其特征在于，對所述第一數字信號進行分析時，選取所述第一數字信號的中位值進行擬合，得到所述第一數字信號的變化范圍。

4.如權利要求2所述的缺陷監控方法，其特征在于，若所述第二數字信號位于所述數字信號數據庫內的某一所述第一數字信號的變化范圍內，則將所述第二數字信號存儲至所述數字信號數據庫內。

5.如權利要求1所述的缺陷監控方法，其特征在于，所述滋擾性缺陷由人為編輯設定形成判定標準，且該判定標準能夠根據制造標準進行實時調整。

6.一種缺陷監控系統，其特征在于，包括：

光學圖像采集模塊，用于逐層采集測試晶圓的第一光學圖像以及采集監控晶圓的第二光學圖像；

數字分析模塊，用于對存在滋擾性缺陷的第一光學圖像及所述第二光學圖像進行數字分析，并得到對應的第一數字信號及第二數字信號；

數字信號數據庫，用于存儲所述第一數字信號；

比對模塊，用于將所述第二數字信號與所述數字信號數據庫內的第一數字信號進行比對，若所述第二數字信號與所述數字信號數據庫內的某一所述第一數字信號相同，則過濾掉所述第二光學圖像。

7.如權利要求6所述的缺陷監控系統，其特征在于，若所述第二數字信號與所述數字信號數據庫內任一所述第一數字信號均不相同；

所述數字分析模塊還用于對所述第一數字信號進行分析，得到所述第一數字信號的變化范圍；

所述比對模塊還用于進一步判斷所述第二數字信號是否位于某一所述第一數字信號的變化范圍內，若是，則過濾掉所述第二光學圖像，若否，則輸出所述監控晶圓的缺陷分布圖。

8.如權利要求7所述的缺陷監控系統，其特征在于，若所述第二數字信號位于所述數字信號數據庫內的某一所述第一數字信號的變化范圍內，所述數字信號數據庫還用于存儲所述第二數字信號。

9.如權利要求6所述的缺陷監控系統，其特征在于，所述滋擾性缺陷由人為編輯設定形成判定標準，且該判定標準能夠根據制造標準進行實時調整。

10.如權利要求6所述的缺陷監控系統，其特征在于，所述光學圖像采集模塊為光學顯微鏡或者高分辨率相機。