[發(fā)明專利]清潔裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 202210738543.8 | 申請日: | 2022-06-28 |
| 公開(公告)號: | CN114798569B | 公開(公告)日: | 2022-09-27 |
| 發(fā)明(設(shè)計)人: | 龔慶;姜濤;陳賢剛;裴文龍 | 申請(專利權(quán))人: | 江蘇啟威星裝備科技有限公司 |
| 主分類號: | B08B3/04 | 分類號: | B08B3/04;B08B3/02;B08B3/08;F26B21/00 |
| 代理公司: | 華進(jìn)聯(lián)合專利商標(biāo)代理有限公司 44224 | 代理人: | 劉寧 |
| 地址: | 226300 江蘇省南通市通州區(qū)金*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 清潔 裝置 | ||
本發(fā)明涉及一種清潔裝置,包括:機(jī)體,包括沿第一方向依次設(shè)置且相互連通的上料位、清潔位及出料位,上料位用于水平放置硅片,清潔位用于清潔硅片,出料位與擴(kuò)散爐的進(jìn)料口對接且用于輸出硅片;傳動模塊,包括傳動軸及多組傳動單元,傳動軸沿第一方向貫穿且可轉(zhuǎn)動地安裝于機(jī)體,多組傳動單元沿第一方向設(shè)置于傳動軸;輸送模塊,包括從上料位排布至出料位且同向轉(zhuǎn)動的多組輸送單元,輸送單元包括沿豎直方向間隔設(shè)置于上料位兩側(cè)的兩個第一輸送軸,兩個第一輸送軸分別可轉(zhuǎn)動地安裝于機(jī)體,且與傳動單元傳動連接。兩個第一輸送軸夾持著硅片可靠且穩(wěn)定地運(yùn)動,減少對硅片的損傷,出料位與擴(kuò)散爐的進(jìn)料口對接,省去上下料工序,降低了占地空間及成本。
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及太陽能電池制造技術(shù)領(lǐng)域,特別是涉及一種清潔裝置。
背景技術(shù)
近年來隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展以及人民環(huán)保意識的提高,光能、風(fēng)能、地?zé)崮艿染G色能源成為了研究的熱點(diǎn),而其中光伏發(fā)電技術(shù)現(xiàn)已逐漸步入成熟,太陽能光伏產(chǎn)品應(yīng)用范圍擴(kuò)展到各個領(lǐng)域。
太陽能電池作為太陽能光伏產(chǎn)品的核心部件,目前主要有晶硅體電池和薄膜電池這兩種結(jié)構(gòu)形式,而作為行業(yè)公認(rèn)的未來電池技術(shù)終極形式的HDT(晶體硅異質(zhì)結(jié)太陽電池)綜合了晶體硅電池與薄膜電池的優(yōu)勢,200℃以下的工藝環(huán)境時在晶體硅片上沉積一層非摻雜(本征)氫化非晶硅薄膜和一層與晶體硅摻雜種類相反的摻雜氫化非晶硅薄膜,改善了PN結(jié)的性能,具有結(jié)構(gòu)簡單、工藝溫度低、鈍化效果好、開路電壓高、溫度特性好、雙面發(fā)電等優(yōu)點(diǎn),是高轉(zhuǎn)換效率硅基太陽電池的熱點(diǎn)方向之一。而HDT的關(guān)鍵制備工序是能夠降低硅片表面的雜質(zhì)濃度、提升電池轉(zhuǎn)換效率的吸雜工藝,常規(guī)吸雜工藝是硅片先后經(jīng)過槽式清洗機(jī)和擴(kuò)散爐,槽式清洗機(jī)中硅片垂直插置在花籃中,擴(kuò)散爐中硅片水平放置,故需要槽式清洗機(jī)的上料設(shè)備將硅片插片進(jìn)花籃,清洗結(jié)束后,需要擴(kuò)散爐的上料設(shè)備將硅片從花籃倒進(jìn)擴(kuò)散爐內(nèi)。但是槽式清洗機(jī)和擴(kuò)散爐的上料均比較繁瑣,使得整個吸雜工藝流程復(fù)雜、產(chǎn)能較低,并且容易對硅片造成損傷,對設(shè)備場地尺寸有較高要求。
發(fā)明內(nèi)容
基于此,有必要針對吸雜工藝流程復(fù)雜、產(chǎn)能較低及易損傷硅片的問題,提供一種清潔裝置。
本發(fā)明提供了一種清潔裝置,包括:
機(jī)體,包括沿第一方向依次設(shè)置且相互連通的上料位、清潔位及出料位;
傳動模塊,包括傳動軸及多組傳動單元,所述傳動軸沿所述第一方向貫穿且可轉(zhuǎn)動地安裝于所述機(jī)體,多組所述傳動單元沿所述第一方向設(shè)置于所述傳動軸;
輸送模塊,包括從所述上料位排布至所述出料位且同向轉(zhuǎn)動的多組輸送單元,所述輸送單元包括沿豎直方向間隔設(shè)置的兩個第一輸送軸,兩個所述第一輸送軸分別可轉(zhuǎn)動地安裝于所述機(jī)體,且與所述傳動單元傳動連接。
在上述清潔裝置中,硅片水平放置在上料位上,傳動軸以第一方向?yàn)樾D(zhuǎn)軸進(jìn)行轉(zhuǎn)動,帶動多個傳動單元隨之轉(zhuǎn)動,傳動單元帶動兩個第一輸送軸同步轉(zhuǎn)動,夾持著硅片從上料位向著出料位輸送,并在清潔位被清潔,經(jīng)過出料位輸送至擴(kuò)散爐的進(jìn)料口。由于在整個清洗過程中兩個第一輸送軸夾持著硅片沿第一方向可靠且穩(wěn)定地運(yùn)動,便于清洗的進(jìn)行及提高清洗的可靠性,減少對硅片的損傷,硅片始終處于水平位置,并且出料位與擴(kuò)散爐的進(jìn)料口對接,相比現(xiàn)有清洗方式省去了上下料工序,上料-清潔-出料依次進(jìn)行,優(yōu)化了工序之間的步驟,而且通過傳動模塊和輸送模塊配合實(shí)現(xiàn)硅片在整個過程的移動,減少了清潔裝置維護(hù)工作量,降低了占地空間以及生產(chǎn)運(yùn)營的成本。
在其中一個實(shí)施例中,所述傳動單元包括:
第一錐齒輪,安裝于所述傳動軸上;
第二錐齒輪,安裝于所述輸送單元的一所述第一輸送軸上,且與所述第一錐齒輪相嚙合;
相嚙合的兩個第三齒輪,分別安裝于所述輸送單元的兩個所述第一輸送軸上。
在其中一個實(shí)施例中,所述傳動軸包括:
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