[發明專利]一種用于單晶硅的制絨液及制絨方法

有效

• 申請號: 202210725214.X
• 申請日: 2022-06-23
• 公開（公告）號: CN115216301B
• 公開（公告）日: 2023-08-29
• 發明（設計）人: 顏志勇;胡英;王曉馨;于利超;易洪雷;張葵花;姚勇波;李喆
• 申請（專利權）人: 嘉興學院
• 主分類號: C09K13/02
• 分類號: C09K13/02;C30B33/10;H01L31/0236;H01L31/18
• 代理公司: 北京慕達星云知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 11465
• 代理人: 符繼超

1.一種用于單晶硅的制絨液，其特征在于，所述制絨液由如下質量百分比含量的組份組成：

堿性物質1-3%，制絨添加劑0.3-2.5%，低共熔溶劑5-30%，余量為去離子水；

所述低共熔溶劑的制備方法為：

將(2-羥乙基)三甲基氫氧化銨和尿素分別置于60℃真空干燥箱中干燥12h，按物質的量比為n_{(2-羥乙基)三甲基氫氧化銨}:n_尿素=1:2混合攪拌，密封，然后在70℃-80℃油浴鍋中加熱，直至得到無色透明液體，即得到氯化膽堿-尿素低共熔溶劑；

其中，所述(2-羥乙基)三甲基氫氧化銨可替換為正辛基三甲基氯化銨、十烷基三甲基氯化銨或(2-羥乙基)乙酰三甲基氯化銨；

相應地，所述正辛基三甲基氯化銨與尿素混合制備得到正辛基三甲基氯化銨-尿素低共熔溶劑；

所述十烷基三甲基氯化銨與尿素混合制備得到十烷基三甲基氯化銨-尿素低共熔溶劑；

所述(2-羥乙基)乙酰三甲基氯化銨與尿素混合制備得到(2-羥乙基)乙酰三甲基氯化銨-尿素低共熔溶劑。

2.根據權利要求1所述的一種用于單晶硅的制絨液，其特征在于，所述低共熔溶劑占所述制絨液的質量百分比為15-28%。

3.根據權利要求1所述的一種用于單晶硅的制絨液，其特征在于，所述堿性物質包括無機堿和有機堿；其中，

所述無機堿為氫氧化鈉或氫氧化鉀，所述無機堿占所述制絨液的質量百分比為1-2%；

所述有機堿為聚乙烯亞胺，所述有機堿占所述制絨液的質量百分比為0.5-1%。

4.根據權利要求1所述的一種用于單晶硅的制絨液，其特征在于，所述制絨添加劑的組份組成，以質量百分比計為：水溶性高分子樹脂0.1-0.5%，消泡劑0.1-1%，緩沖劑0.01-0.1%；

其中，所述水溶性高分子樹脂為水溶性醇酸樹脂或水溶性丙烯酸樹脂，所述消泡劑為聚醚消泡劑或有機硅消泡劑，所述緩沖劑為乳酸鈉或碳酸氫鈉。

5.一種用于單晶硅的制絨方法，其特征在于，利用如權利要求1所述制絨液對單晶硅片進行制絨，具體方法如下：

（1）將堿性物質溶于水中配制成堿液，并將制絨添加劑、低共熔溶劑、水與堿性物質按質量比例混合均勻；

（2）將單晶硅片置于預處理液中浸泡處理后超聲、清洗，備用；

（3）將預處理后的單晶硅片浸入由步驟（1）制得的制絨液中進行表面制絨，制絨后的單晶硅片依次經水、無水乙醇清洗，各三次，得到絨面單晶硅硅片。

6.根據權利要求5所述的一種用于單晶硅的制絨方法，其特征在于，步驟（2）中，所述預處理液的組份組成，以質量百分比計為：硅酸鈉1-5%、曲拉通X-100聚乙二醇單辛基苯基醚0.5-2%、OP-10?1-3%，三聚磷酸鈉0.5-2%，聚醚消泡劑GP-330?1-3%，余量為水。

7.根據權利要求5或6所述的一種用于單晶硅的制絨方法，其特征在于，所述步驟（2）中的預處理溫度為50-60℃，超聲功率為60-100W，超聲時間為5-10min，并用無水乙醇清洗干凈。

8.根據權利要求5所述的一種用于單晶硅的制絨方法，其特征在于，所述步驟（3）中的制絨溫度為50-85℃，制絨時間為80-250s。