[發(fā)明專利]原位監(jiān)測坩堝中的源材料含量的裝置及方法

在審

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• 申請日: 2022-06-23
• 公開（公告）號: CN114878494A
• 公開（公告）日: 2022-08-09
• 發(fā)明（設計）人: 吳進;黃星星;胡強
• 申請（專利權）人: 季華實驗室
• 主分類號: G01N21/31
• 分類號: G01N21/31
• 代理公司: 佛山市海融科創(chuàng)知識產權代理事務所(普通合伙) 44377
• 代理人: 羅尹清

1.一種原位監(jiān)測坩堝中的源材料含量的裝置，其特征在于，包括基架（100）、測量桿（200）、激光接收器（300）和激光發(fā)射器（400），所述測量桿（200）穿過所述基架（100），所述測量桿（200）和所述基架（100）滑動連接，所述測量桿（200）的一端設置有所述激光接收器（300）或所述激光發(fā)射器（400）；

所述激光發(fā)射器（400）用于發(fā)射激光到坩堝（1）內，所述測量桿（200）用于通過調節(jié)其滑動位置使所述激光接收器（300）能夠接收從坩堝（1）內反射出的激光，所述激光接收器（300）用于在接收到從所述坩堝（1）內反射出的激光后產生電反饋信號。

2.根據權利要求1所述的原位監(jiān)測坩堝中的源材料含量的裝置，其特征在于，所述基架（100）設置有刻度導軌（500），所述刻度導軌（500）和所述測量桿（200）平行，并用于指示所述測量桿（200）的位置。

3.根據權利要求2所述的原位監(jiān)測坩堝中的源材料含量的裝置，其特征在于，所述基架（100）還設置有可轉動的螺桿（600），所述螺桿（600）和所述測量桿（200）平行；所述測量桿（200）遠離所述激光接收器（300）或所述激光發(fā)射器（400）的一端設置有滑塊（210），所述滑塊（210）和所述螺桿（600）螺紋驅動連接。

4.根據權利要求3所述的原位監(jiān)測坩堝中的源材料含量的裝置，其特征在于，還包括限位器（211）和旋轉把（212），所述滑塊（210）上還設置有刻度標，所述旋轉把（212）套設在所述螺桿（600）上，所述旋轉把（212）可沿所述螺桿（600）的軸向移動且在周向上與所述螺桿（600）相對靜止，所述旋轉把（212）的周面上均勻設置有刻度；所述刻度標和所述刻度配合，并用于與所述刻度導軌（500）協同指示所述滑塊（210）的位置；所述限位器（211）和所述滑塊（210）連接，所述限位器（211）用于帶動所述旋轉把（212）跟隨所述滑塊（210）移動。

5.根據權利要求3所述的原位監(jiān)測坩堝中的源材料含量的裝置，其特征在于，還包括驅動裝置（900），所述驅動裝置（900）和所述螺桿（600）連接，所述驅動裝置（900）用于驅動所述螺桿（600）旋轉。

6.根據權利要求3所述的原位監(jiān)測坩堝中的源材料含量的裝置，其特征在于，所述刻度導軌（500）上滑動設置有尺蠖式微位移器（510），所述尺蠖式微位移器（510）和所述滑塊（210）連接。

7.根據權利要求1所述的原位監(jiān)測坩堝中的源材料含量的裝置，其特征在于，所述激光發(fā)射器（400）和所述激光接收器（300）設置在所述基架（100）的同一側，所述基架（100）靠近所述激光發(fā)射器（400）的一側設置有固定桿（110），所述激光發(fā)射器（400）和所述固定桿（110）鉸鏈連接，所述激光接收器（300）和所述測量桿（200）鉸鏈連接；或所述激光接收器（300）和所述固定桿（110）鉸鏈連接，所述激光發(fā)射器（400）和所述測量桿（200）鉸鏈連接。

8.根據權利要求3所述的原位監(jiān)測坩堝中的源材料含量的裝置，其特征在于，所述測量桿（200）位于所述基架（100）和所述滑塊（210）之間的部分套設有波紋管（700），所述波紋管（700）的兩端分別與所述基架（100）和所述滑塊（210）固定密封連接。