[發明專利]晶圓盒內晶圓分布狀態檢測裝置及檢測方法

在審

• 申請號: 202210716399.8
• 申請日: 2022-06-23
• 公開（公告）號: CN115166848A
• 公開（公告）日: 2022-10-11
• 發明（設計）人: 王金;臧宇;吳金馬
• 申請（專利權）人: 盛吉盛半導體科技（無錫）有限公司
• 主分類號: G01V8/10
• 分類號: G01V8/10;G01B11/06;G01B11/00;H01L21/66;H01L21/67
• 代理公司: 上海市匯業律師事務所 31325
• 代理人: 王函

1.一種晶圓盒內晶圓分布狀態檢測裝置，其特征在于，所述裝置包括：

光源發生檢測機構，包括相對地設置于晶圓盒兩側的反射式光電傳感組件及反光組件，其中，所述反射式光電傳感組件用于發射光源并接收穿過所述晶圓盒從所述反光組件上反射的反射光線；

升降機構，承載所述光源發生檢測機構和/或所述晶圓盒，以帶動所述光源發生檢測機構與所述晶圓盒進行沿垂直方向的相對運動；

主控模塊，分別與所述反射式光電傳感組件及升降機構相連接，所述主控模塊以所述反射式光電傳感組件接收到的所述反射光線的狀態為依據判斷所述晶圓盒內各層晶圓的放置狀態。

2.根據權利要求1所述的晶圓盒內晶圓分布狀態檢測裝置，其特征在于，所述反射式光電傳感組件與所述主控模塊之間還設有放大器。

3.根據權利要求3所述的晶圓盒內晶圓分布狀態檢測裝置，其特征在于，所述放大器的閾值范圍在60～80％之間。

4.根據權利要求1所述的晶圓盒內晶圓分布狀態檢測裝置，其特征在于，所述反光組件由回光板構成，所述回光板與所述反射式光電傳感組件發射的光源的光軸形成的夾角在45°至90°之間。

5.根據權利要求1所述的晶圓盒內晶圓分布狀態檢測裝置，其特征在于，所述升降機構包括升降平臺，所述晶圓盒設置于所述升降平臺上。

6.一種基于權利要求1至5中任一項所述的晶圓盒內晶圓分布狀態檢測裝置的晶圓盒內晶圓分布狀態檢測方法，其特征在于，所述方法為：

步驟1：控制所述光源發生檢測機構與待測晶圓盒沿垂直方向勻速地進行相對運動，獲取所述反光組件上反射的實時反射光線；

步驟2：將由檢測到的所述實時反射光線構成的實時反射光線模擬信號波形轉換為實時反射光線數字信號波形；

步驟3：將所述實時反射光線數字信號波形與基準反射光線數字信號波形進行比較，以確認所述待測晶圓盒中各層晶圓的放置狀態。

7.根據權利要求6所述的晶圓盒內晶圓分布狀態檢測方法，其特征在于，所述步驟2具體為：

將所述實時反射光線模擬信號波形中小于系統預設光強閾值的波形段轉換為高電平并取反得到低電平的實時脈沖，并所述實時反射光線模擬信號波形中不小于系統預設光強閾值的波形段轉換為低電平并取反得到高電平的實時脈沖，以得到實時反射光線數字信號波形，其中，由所述高電平的實時脈沖構成檢測到晶圓的電平信號。

8.根據權利要求7所述的晶圓盒內晶圓分布狀態檢測方法，其特征在于，所述系統預設光強閾值的范圍為60％～80％的滿光強。