[發(fā)明專利]一種氯基碳化硅制程的尾氣處理與能量回收設(shè)備在審
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 202210709214.0 | 申請(qǐng)日： | 2022-06-21 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN115069055A | 公開(kāi)（公告）日： | 2022-09-20 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 蔣彪;朱佰喜;薛抗美 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 深圳市志橙半導(dǎo)體材料有限公司 |
| 主分類號(hào)： | B01D50/60 | 分類號(hào)： | B01D50/60;B01D45/16;B01D53/00;B01D53/047;B01D53/68;B01D53/78;B01D53/81;H01M8/04082 |
| 代理公司： | 深圳漢林匯融知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 44850 | 代理人： | 劉臨利 |
| 地址： | 518000 廣東省深圳市寶安區(qū)*** | 國(guó)省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 碳化硅 尾氣 處理 能量 回收 設(shè)備 | ||
1.一種氯基碳化硅制程的尾氣處理與能量回收設(shè)備，其特征在于，包括：
依次連接設(shè)置的固體顆粒處理裝置、尾氣分流處理裝置、氫氣提純裝置、氫氣再利用裝置；
所述固體顆粒處理裝置用于去除尾氣中的固體顆粒；
所述尾氣分流處理裝置包括第一處理裝置、第二處理裝置以及第三處理裝置，其中，所述第一處理裝置分別與所述第二處理裝置和所述第三處理裝置連接設(shè)置，所述第一處理裝置用于將尾氣分流為不凝氣和鹽類溶液，所述第二處理裝置用于接收所述鹽類溶液并對(duì)所述鹽類溶液進(jìn)行過(guò)濾處理，所述第三處理裝置用于接收所述不凝氣并對(duì)所述不凝氣進(jìn)行脫水脫氯處理；
所述氫氣提純裝置與所述第三處理裝置連接設(shè)置，所述氫氣提純裝置用于對(duì)通過(guò)所述第三處理裝置的氣體進(jìn)行氫氣提純，并對(duì)剩余氣體進(jìn)行排放處理；
所述氫氣再利用裝置用于對(duì)提純后的氫氣進(jìn)行再利用。
2.如權(quán)利要求1所述的一種氯基碳化硅制程的尾氣處理與能量回收設(shè)備，其特征在于，所述固體顆粒處理裝置包括：
旋風(fēng)分離器和真空泵；
所述旋風(fēng)分離器具有金屬織物網(wǎng)，用于分離尾氣中的固體顆粒物，所述旋風(fēng)分離器底部具有星形出料閥，用于排出被分離的固體顆粒物；
所述旋風(fēng)分離器頂部與所述真空泵連接設(shè)置，所述真空泵用于接收去除固體顆粒物的尾氣。
3.如權(quán)利要求1所述的一種氯基碳化硅制程的尾氣處理與能量回收設(shè)備，其特征在于，所述第一處理裝置包括堿洗噴淋塔；
所述堿洗噴淋塔用于使用堿性溶液對(duì)尾氣進(jìn)行噴淋處理，以將尾氣分流為不凝氣和鹽類溶液。
4.如權(quán)利要求3所述的一種氯基碳化硅制程的尾氣處理與能量回收設(shè)備，其特征在于，所述第二處理裝置包括板框壓濾機(jī)；
所述板框壓濾機(jī)用于對(duì)所述鹽類溶液進(jìn)行分離處理，以分別對(duì)所述鹽類溶液中析出的固體和剩余的液體進(jìn)行處理。
5.如權(quán)利要求3所述的一種氯基碳化硅制程的尾氣處理與能量回收設(shè)備，其特征在于，所述第三處理裝置包括依次連接設(shè)置的冷卻器和精脫氯裝置，所述精脫氯裝置為填充滿球狀Ca(OH)2顆粒的容納結(jié)構(gòu)；
所述冷卻器用于脫去不凝氣中的水蒸氣，所述精脫氯裝置用于去除所述不凝氣中的氯化氫。
6.如權(quán)利要求1所述的一種氯基碳化硅制程的尾氣處理與能量回收設(shè)備，其特征在于，所述氫氣提純裝置包括變壓吸附裝置；
所述變壓吸附裝置用于提純所述不凝氣中的氫氣，并將剩余氣體排放至大氣中。
7.如權(quán)利要求1所述的一種氯基碳化硅制程的尾氣處理與能量回收設(shè)備，其特征在于，氫氣再利用裝置包括回流裝置、發(fā)電裝置以及預(yù)熱裝置；
所述回流裝置一端與所述氫氣提純裝置連接設(shè)置，另一端與所述發(fā)電裝置連接設(shè)置，所述回流裝置用于從所述氫氣提純裝置中傳輸所述氫氣進(jìn)入所述發(fā)電裝置中，所述發(fā)電裝置用于將所述氫氣轉(zhuǎn)化為電能；
所述預(yù)熱裝置與所述發(fā)電裝置連接設(shè)置，所述預(yù)熱裝置用于傳輸所述發(fā)電裝置中發(fā)電產(chǎn)生的高溫氣體進(jìn)入原料罐中對(duì)原料進(jìn)行預(yù)熱。
8.如權(quán)利要求7所述的一種氯基碳化硅制程的尾氣處理與能量回收設(shè)備，其特征在于，所述回流裝置包括依次連接設(shè)置的主流路管道、質(zhì)量流量計(jì)、緩沖罐、若干支路電磁閥以及若干支路管道；
所述主流路管道分別與所述氫氣提純裝置和所述緩沖罐連接設(shè)置，所述主流路管道用于傳輸所述氫氣至所述緩沖罐中，所述質(zhì)量流量計(jì)設(shè)置在所述主流路管道上，所述質(zhì)量流量計(jì)用于統(tǒng)計(jì)通過(guò)所述主流路管道進(jìn)入所述緩沖罐中的所述氫氣的質(zhì)量流量，所述緩沖罐用于接收通過(guò)所述主流路管道進(jìn)入的所述氫氣并對(duì)所述氫氣進(jìn)行儲(chǔ)存，所述若干支路管道與所述緩沖罐連接設(shè)置，所述若干支路電磁閥設(shè)置在所述若干支路管道上，所述若干支路電磁閥用于控制所述緩沖罐向所述若干支路管道輸出氫氣。
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