[發(fā)明專利]陣列基板及其制備方法、顯示面板

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202210707512.6
• 申請(qǐng)日: 2022-06-21
• 公開（公告）號(hào): CN114975487A
• 公開（公告）日: 2022-08-30
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 胡亮;劉斌
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: TCL華星光電技術(shù)有限公司
• 主分類號(hào): H01L27/12
• 分類號(hào): H01L27/12;H01L21/77;H01L29/786
• 代理公司: 深圳紫藤知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 44570
• 代理人: 熊明

1.一種陣列基板，其特征在于，包括：

襯底；

導(dǎo)電薄膜層，設(shè)置在所述襯底上；

第一遮光層、第二遮光層和第三遮光層，所述第一遮光層、所述第二遮光層和所述第三遮光層均設(shè)置在所述導(dǎo)電薄膜層遠(yuǎn)離所述襯底一側(cè)，所述第一遮光層和所述第二遮光層在所述襯底的正投影區(qū)域位于所述導(dǎo)電薄膜層在所述襯底的正投影區(qū)域內(nèi)，所述第一遮光層和所述第二遮光層均為導(dǎo)體材料；

陣列器件層，所述陣列器件層中的一個(gè)像素單元包括第一薄膜晶體管、第二薄膜晶體管和第三薄膜晶體管，所述第一遮光層位于所述襯底與所述第一薄膜晶體管之間，所述第二遮光層位于所述襯底與所述第二薄膜晶體管之間，所述第三遮光層位于所述襯底與所述第三薄膜晶體管之間。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的陣列基板，其特征在于，所述陣列基板還包括第一平坦層，所述第一平坦層設(shè)置在所述導(dǎo)電薄膜層與所述第三遮光層之間，所述第三遮光層在所述襯底的正投影區(qū)域位于所述第一平坦層在所述襯底的正投影區(qū)域內(nèi)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的陣列基板，其特征在于，所述第一平坦層分別與所述第一遮光層和所述第二遮光層在所述導(dǎo)電薄膜層上同層設(shè)置，所述第一遮光層、所述第二遮光層以及所述第一平坦層在所述襯底的正投影區(qū)域之和小于或等于所述導(dǎo)電薄膜層在所述襯底的正投影區(qū)域。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的陣列基板，其特征在于，所述導(dǎo)電薄膜層在遠(yuǎn)離所述襯底一側(cè)設(shè)置有凹槽，所述第三遮光層在所述襯底的正投影區(qū)域位于所述凹槽在所述襯底的正投影區(qū)域內(nèi)。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的陣列基板，其特征在于，所述凹槽的深度小于所述導(dǎo)電薄膜層的厚度。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的陣列基板，其特征在于，所述導(dǎo)電薄膜層與位于所述陣列基板的外圍區(qū)的公共電壓輸入端連接。

7.根據(jù)權(quán)利要求1至6任一項(xiàng)所述的陣列基板，其特征在于，所述導(dǎo)電薄膜層的材料為氧化銦錫。

8.根據(jù)權(quán)利要求1至3任一項(xiàng)所述的陣列基板，其特征在于，所述襯底基板還包括柵極絕緣層和第二平坦層，所述柵極絕緣層設(shè)置在所述導(dǎo)電薄膜層上，所述柵極絕緣層覆蓋所述第一遮光層、所述第二遮光層、所述第三遮光層以及所述第一平坦層，所述第二平坦層設(shè)置在所述柵極絕緣層上。

9.一種陣列基板的制備方法，其特征在于，包括：

提供一襯底；

在所述襯底上形成導(dǎo)電薄膜層；

在所述導(dǎo)電薄膜層遠(yuǎn)離所述襯底一側(cè)形成第一遮光層、第二遮光層和第三遮光層，其中，所述第一遮光層和所述第二遮光層在所述襯底的正投影區(qū)域位于所述導(dǎo)電薄膜層在所述襯底的正投影區(qū)域內(nèi)，所述第一遮光層和所述第二遮光層均為導(dǎo)體材料；

在所述第一遮光層、第二遮光層和第三遮光層上形成陣列器件層，所述陣列器件層中的一個(gè)像素單元包括第一薄膜晶體管、第二薄膜晶體管和第三薄膜晶體管，所述第一遮光層位于所述襯底與所述第一薄膜晶體管之間，所述第二遮光層位于所述襯底與所述第二薄膜晶體管之間，所述第三遮光層位于所述襯底與所述第三薄膜晶體管之間。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的陣列基板的制備方法，其特征在于，所述方法還包括：

在所述導(dǎo)電薄膜層上形成第一平坦層，其中，所述第一平坦層設(shè)置在所述導(dǎo)電薄膜層與所述第三遮光層之間，所述第三遮光層在所述襯底的正投影區(qū)域位于所述第一平坦層在所述襯底的正投影區(qū)域內(nèi)。

11.根據(jù)權(quán)利要求9所述的陣列基板的制備方法，其特征在于，在所述導(dǎo)電薄膜層遠(yuǎn)離所述襯底一側(cè)形成第一遮光層、第二遮光層和第三遮光層之后，所述方法還包括：

在所述導(dǎo)電薄膜層上形成柵極絕緣層，其中，所述柵極絕緣層覆蓋所述第一遮光層、所述第二遮光層、所述第三遮光層以及所述第一平坦層；

在所述柵極絕緣層上形成第二平坦層。

12.一種顯示面板，其特征在于，包括如權(quán)利要求1至8任一項(xiàng)所述的陣列基板。