[發明專利]一種基于雙參數修正的光柵光譜儀機械位置誤差修正方法

在審

• 申請號: 202210701896.0
• 申請日: 2022-06-21
• 公開（公告）號: CN115077696A
• 公開（公告）日: 2022-09-20
• 發明（設計）人: 李淑賢;翟婉同;李爽
• 申請（專利權）人: 翟婉同
• 主分類號: G01J3/02
• 分類號: G01J3/02;G01J3/18;G01J3/28
• 代理公司: 北京東方盛凡知識產權代理事務所(普通合伙) 11562
• 代理人: 陳月霞

1.一種基于雙參數修正的光柵光譜儀機械位置誤差修正方法，其特征在于，包括：

基于標準光譜，建立由絲杠位置參量表征的光柵零位誤差和由光柵軸桿長參量表征的光柵軸桿長誤差；

基于標準波長，對所述光柵零位誤差的參量和所述光柵軸桿長誤差的參量進行修正，消除光柵光譜儀機械位置誤差。

2.根據權利要求1所述的基于雙參數修正的光柵光譜儀機械位置誤差修正方法，其特征在于，對所述光柵零位誤差進行修正包括：

獲取標準波長；

基于光柵光譜儀，制作標準斜塊；

對標準樣品進行光譜掃描，獲取標準光源的第一采集數據，基于所述第一采集數據獲取輸出波長和絲杠位移的參數曲線，記錄在輸出光譜為預設波長λ₀時所對應的絲杠位移參數x₀；

基于所述標準波長、標準斜塊和絲杠位移參數x₀，通過對所述光柵零位誤差的參量進行誤差數據處理與調整，完成對所述光柵零位誤差的修正。

3.根據權利要求2所述的基于雙參數修正的光柵光譜儀機械位置誤差修正方法，其特征在于，制作所述標準斜塊包括：根據所述光柵光譜儀的基本參數計算獲得在波長范圍內預置標準波長所對應的光柵轉角，基于所述光柵轉角制作所述標準斜塊。

4.根據權利要求2所述的基于雙參數修正的光柵光譜儀機械位置誤差修正方法，其特征在于，對所述光柵零位偏差的參量進行誤差數據處理與調整包括：

將光柵光譜儀輸出光譜范圍為預設閾值的波長所對應的絲杠位移作為位移變量Δx，設所述位移變量Δx所對應的位置變量為x_j＝x₀+jΔx,j＝{-5,-4,-3,-2,-1,0,1,2,3,4,5}；

控制絲杠移動到對應位移x_j位置，該位置對應所述預設波長λ₀，利用所述標準斜塊對光柵的轉角角度進行調整，調整完成后對光柵進行固定；

對光柵固定后，獲取標準光源的第二采集數據，對所述第二采集數據進行處理獲得絲杠位移為x_j時所對應的標準波長的輸出誤差e_ji＝λ_ji-λ_i，記絲杠位移為x_j時的標準波長誤差的平方和為

構建e_j與x_j的關系式f(x_j)，在[(x₀-5Δx),(x₀+5Δx)]范圍內計算獲得f(x_j)的最小值對應的x_fmin位置；

將絲杠移動到所述x_fmin位置，利用所述標準斜塊對所述光柵的轉角角度進行調整，調整完成后對所述光柵進行固定，即完成對所述光柵零位偏差的參量的誤差數據處理與調整。

5.根據權利要求1所述的基于雙參數修正的光柵光譜儀機械位置誤差修正方法，其特征在于，對所述光柵軸桿長誤差進行修正包括：

獲取標準波長；

設置桿長參數；

獲取標準光源的第三采集數據；

基于所述標準波長、桿長參數和第三采集數據，通過對光柵軸桿長參量進行誤差數據采集與處理，完成所述光柵軸桿長誤差的修正。

6.根據權利要求5所述的基于雙參數修正的光柵光譜儀機械位置誤差修正方法，其特征在于，設置所述桿長參數包括：在光柵軸擺桿的桿長調節范圍內，取不同的光柵軸擺桿長度為所述桿長參數。