[發明專利]一種控制大直徑單晶硅棒直徑的加熱器、拉晶爐和方法在審
| 申請號： | 202210697737.8 | 申請日： | 2022-06-20 |
| 公開（公告）號： | CN115094518A | 公開（公告）日： | 2022-09-23 |
| 發明（設計）人： | 陶瑩 | 申請（專利權）人： | 陶瑩;北京麥竹吉科技有限公司 |
| 主分類號： | C30B29/06 | 分類號： | C30B29/06;C30B15/18;C30B15/20 |
| 代理公司： | 北京輕創知識產權代理有限公司 11212 | 代理人： | 朱曉彤 |
| 地址： | 100000 北京*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 控制 直徑 單晶硅 加熱器 拉晶爐 方法 | ||
1.一種控制大直徑單晶硅棒直徑的加熱器，其特征在于，加熱器(1)為倒錐臺形且上下均敞口的筒狀。
2.根據權利要求1所述的一種控制大直徑單晶硅棒直徑的加熱器，其特征在于，所述加熱器(1)的材質為石墨或碳化硅。
3.根據權利要求1所述的一種控制大直徑單晶硅棒直徑的加熱器，其特征在于，所述加熱器(1)周向側壁呈方波形狀。
4.根據權利要求1所述的一種控制大直徑單晶硅棒直徑的加熱器，其特征在于，所述加熱器(1)的高度H為100-180mm。
5.根據權利要求1-4任一項所述的一種控制大直徑單晶硅棒直徑的加熱器，其特征在于，所述加熱器(1)的功率為5-20kW。
6.根據權利要求1-4任一項所述的一種控制大直徑單晶硅棒直徑的加熱器，其特征在于，所述加熱器(1)的下端內徑d比單晶硅棒直徑大60-70mm。
7.一種控制大直徑單晶硅棒直徑的拉晶爐，其特征在于，包括權利要求1-6任一項所述的控制大直徑單晶硅棒直徑的加熱器。
8.根據權利要求7所述的一種控制大直徑單晶硅棒直徑的拉晶爐，其特征在于，還包括坩堝(2)和導流筒(3)，所述導流筒(3)固定于所述坩堝(2)上方，所述加熱器(1)固定于所述導流筒(3)下端的內側，所述加熱器(1)的下端距離所述坩堝(2)內的硅液面的距離為25-40mm。
9.根據權利要求8所述的一種控制大直徑單晶硅棒直徑的拉晶爐，其特征在于，所述坩堝(2)的斜上方設有感應器或監控相機。
10.一種控制大直徑單晶硅棒直徑的方法，其特征在于，采用如權利要求7-9任一項所述的控制大直徑單晶硅棒直徑的拉晶爐實現，包括：通過控制加熱器(1)的功率，從而控制大直徑單晶硅棒直徑。
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