[發(fā)明專利]用于劃片機(jī)的工件沖洗裝置及劃片機(jī)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202210694218.6
• 申請(qǐng)日: 2022-06-20
• 公開（公告）號(hào): CN114769203B
• 公開（公告）日: 2022-10-14
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 張明明;石文;王曉禹;徐雙雙;吳洪柏
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 沈陽和研科技有限公司
• 主分類號(hào): B08B3/02
• 分類號(hào): B08B3/02
• 代理公司: 北京超凡宏宇專利代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 11463
• 代理人: 姜波

本發(fā)明涉及半導(dǎo)體切割技術(shù)領(lǐng)域，提供了一種用于劃片機(jī)的工件沖洗裝置及劃片機(jī)，該工件沖洗裝置，包括：至少一個(gè)水簾管組件；水簾管組件包括：水簾管、以及位于水簾管兩端的第一進(jìn)水接頭和第二進(jìn)水接頭；水簾管包括管套和嵌套在管套內(nèi)的通水管組件。本發(fā)明通過在水簾管的兩端分別設(shè)置進(jìn)水接頭，可以縮短水流行程，從而減小水簾管長度方向上的壓力差；同時(shí)通過設(shè)置長度不同的流道與不同噴水孔密封連通，從而為不同區(qū)域的噴水孔提供壓力均衡的獨(dú)立封閉流道，進(jìn)而確保各噴水孔的出水壓力均衡，提升沖洗效果的同時(shí)還可以有效保護(hù)工件不受損壞，并且該沖洗裝置的整體結(jié)構(gòu)更為緊湊，占用空間小，有利于劃片機(jī)上的零部件合理布局。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及半導(dǎo)體切割技術(shù)領(lǐng)域，尤其是涉及一種用于劃片機(jī)的工件沖洗裝置及劃片機(jī)。

背景技術(shù)

在半導(dǎo)體器件加工工序中，在長方形或圓形的表面上，通過橫豎垂直分布的網(wǎng)格(切割道)劃分出多個(gè)部分，每個(gè)部分為一個(gè)IC（Integrated Circuit）或LSI（Large ScaleIntegration）器件，然后沿著切割道切割將每個(gè)部分分離開，從而制成一個(gè)個(gè)芯片，這種劃切加工設(shè)備也稱為精密砂輪切割機(jī)（簡(jiǎn)稱劃片機(jī)）。

劃片機(jī)在切割的過程中會(huì)在工件表面殘留切割粉末，為清洗該粉末需要設(shè)置相應(yīng)的工件沖洗裝置。現(xiàn)有劃片機(jī)的清洗主要是內(nèi)置或外置一種可旋轉(zhuǎn)的切割工作臺(tái)裝置，通過上方懸掛的噴嘴噴洗沖刷工件，從而得到清洗效果。但是該清洗裝置的各個(gè)噴嘴之間的壓力差較大，沖洗效果有待提高；而且占用空間大，維護(hù)成本較高。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明實(shí)施例的目的在于提供一種用于劃片機(jī)的工件沖洗裝置及劃片機(jī)，以解決現(xiàn)有劃片機(jī)的清洗裝置沖洗效果不佳且占用空間大的問題。

第一個(gè)方面，本發(fā)明實(shí)施例提供了一種用于劃片機(jī)的工件沖洗裝置，包括：至少一個(gè)水簾管組件；所述水簾管組件包括：水簾管、第一進(jìn)水接頭以及第二進(jìn)水接頭；所述第一進(jìn)水接頭與所述水簾管的一端連通，用于與外部水管連接；所述第二進(jìn)水接頭與所述水簾管的另一端連通，用于與外部水管連接；

所述水簾管包括管套和嵌套在所述管套內(nèi)的通水管組件，所述管套上設(shè)有沿軸向排布的多個(gè)第一噴水孔和多個(gè)第二噴水孔；多個(gè)所述第一噴水孔靠近所述第一進(jìn)水接頭設(shè)置，多個(gè)所述第二噴水孔靠近所述第二進(jìn)水接頭設(shè)置；

所述通水管組件內(nèi)包括多個(gè)長度不同的第一流道以及多個(gè)長度不同的第二流道，所述第一流道的一端與所述第一進(jìn)水接頭連通，另一端與所述第一噴水孔密封連通；所述第二流道的一端與所述第二進(jìn)水接頭連通，另一端與所述第二噴水孔密封連通。

可選地，所述通水管組件包括：通水管套、以及嵌套在所述通水管套內(nèi)長度不同的多根第一通水管和長度不同的多根第二通水管；所述第一通水管的一端與所述第一進(jìn)水接頭對(duì)接，所述第一通水管的另一端的端部封堵、且在靠近所述端部的位置設(shè)有沿軸向排布的多個(gè)第一出水孔；所述通水管套上設(shè)有與所述第一出水孔一一對(duì)應(yīng)的第一開孔，所述第一開孔與所述第一噴水孔密封連通，使得所述第一通水管形成所述第一流道；

所述第二通水管的一端與所述第二進(jìn)水接頭對(duì)接，所述第二通水管的另一端的端部封堵、且在靠近所述端部的位置設(shè)有沿軸向排布的多個(gè)第二出水孔；所述通水管套上設(shè)有與所述第二出水孔一一對(duì)應(yīng)的第二開孔，所述第二開孔與所述第二噴水孔密封連通，使得所述第二通水管形成所述第二流道。

可選地，所述通水管套的外表面沿軸向設(shè)有多個(gè)環(huán)形密封槽，所述第一開孔和所述第二開孔均位于相鄰的所述環(huán)形密封槽之間；所述環(huán)形密封槽內(nèi)套設(shè)有密封圈，所述密封圈的外圈與所述管套的內(nèi)壁密封貼合，所述第一噴水孔和所述第二噴水孔均位于相鄰的所述密封圈之間。

可選地，對(duì)于不同長度的多根所述第一通水管，不同所述第一通水管上的所述第一出水孔沿著所述通水管套的周向錯(cuò)位布置；和/或，對(duì)于不同長度的多根所述第二通水管，不同所述第二通水管上的所述第二出水孔沿著所述通水管套的周向錯(cuò)位布置。