[發明專利]一種用于金屬表面化學處理的封孔方法

有效

• 申請號: 202210683618.7
• 申請日: 2022-06-17
• 公開（公告）號: CN114990666B
• 公開（公告）日: 2023-09-05
• 發明（設計）人: 李玉瓊;陳立航;鄭宣
• 申請（專利權）人: 重慶臻寶科技股份有限公司
• 主分類號: C25D11/24
• 分類號: C25D11/24
• 代理公司: 重慶拓尋知識產權代理事務所(普通合伙) 50313
• 代理人: 雷鈔

本發明公開了一種用于金屬表面化學處理的封孔液及封孔方法，屬于化學氣相沉積和干法刻蝕設備用的零部件制備技術，包括以下原料組分：水、乙酸銨、磷酸二氫鈉，本發明的有益效果：由水與乙酸銨、磷酸二氫鈉按比例制備的封孔液封孔產品效果好，耐電壓性能高；封孔液由化學藥品組成，利用離子平衡和化學沉降作用，調控高溫封孔用水；封孔液降低了水質要求，有利于大面積產品的生產，可達到理想的封孔效果。

技術領域

本發明屬于化學氣相沉積和干法刻蝕設備用的零部件制備技術領域，具體涉及一種用于金屬表面化學處理的封孔方法。

背景技術

隨著光電行業和半導體行業的迅速發展，鋁合金高端產品已經在這些行業中的設備中大量使用，比如干刻設備和化學氣相沉積設備中就大量使用了5052系和6061系鋁合金，6061系和5052系鋁合金表面經過電化學處理，可以顯著地改善鋁合金的耐電壓、耐腐蝕和耐熱沖擊等性能。

但是由于光電行業和半導體行業的高要求，設備部件生產過程中不能含有鎳、銅、鐵等金屬離子，對水質提出了必須達到18MΩ.cm及以上的高要求，這就杜絕了很多抑灰劑、表面活性劑、促進劑等的添加，造成了普通的封孔工藝不能滿足其高品質的要求。所以需要在封孔水中加入添加劑來調控封孔液，減少水中雜質帶來的干擾，提高產品的耐電壓耐腐蝕性能。

發明內容

有鑒于此，本發明的目的在于提供一種用于金屬表面化學處理的封孔方法。

為達到上述目的，本發明提供如下技術方案：一種用于金屬表面化學處理的封孔液，包括以下原料組分：電阻率為3-7MΩ.cm水和添加劑，所述添加劑包括乙酸銨、磷酸二氫鈉，其中乙酸銨質量百分比為0.008-0.012%，磷酸二氫鈉質量百分比為0.0008-0.0012%。

進一步地，所述乙酸銨和磷酸二氫鈉的比值為10：1。

進一步地，800-1200kg水、0.08-0.12kg乙酸銨、0.008-0.012kg磷酸二氫鈉。

一種用于金屬表面化學處理的封孔液的封孔方法，包括以下步驟：

S1、向步驟S1的水中添加0.08%-0.12%的乙酸銨、0.008%-0.012%磷酸二氫鈉制備得封孔液，攪拌混勻后測量封孔液的pH值；

S3、根據pH值添加冰醋酸、氨水，使封孔液的pH值處于5.5-6.0之間；

S4、開啟加熱設備，加熱封孔液至90-100攝氏度；

S5、將需要封孔的產品進行封孔前處理，處理后的產品轉移至封孔設備中，使封孔液淹沒過產品，開啟空氣攪拌；

S6、根據膜厚計算封孔時間，封孔后的產品經清洗后吹干、包裝。

進一步地，S6步驟中封孔時間計算方式為1μm的膜厚封孔時間為80-90秒。

進一步地，S6步驟中產品吹干、包裝前的清洗需要經過水洗與高壓清洗兩個步驟。

進一步地，S5步驟中產品清洗后向封孔液中放置時需保持表面濕潤。

進一步地，S3步驟中pH值偏高時添加冰醋酸，pH值偏低時添加氨水。

進一步地，S1步驟中封孔設備為封孔槽，S4步驟中的加熱設備為蒸汽發生器。

本發明的有益效果在于：

1、由水與乙酸銨、磷酸二氫鈉按比例制備的封孔液成份獨特，封孔產品效果好，封孔后耐電壓性能顯著提升，適用于大面積帶孔或者帶變徑小孔的鋁合金產品。

2、封孔液由化學藥品組成，利用離子平衡和化學沉降作用，調控高溫封孔用水。

3、封孔液降低了水質要求，有利于大面積產品的生產，可達到理想的封孔效果。