[發明專利]一種晶圓裝卸裝置及化學機械拋光系統

在審

• 申請號: 202210677163.8
• 申請日: 2022-06-16
• 公開（公告）號: CN114851075A
• 公開（公告）日: 2022-08-05
• 發明（設計）人: 路新春;吳興;許振杰;王同慶;趙德文;張國銘
• 申請（專利權）人: 華海清科股份有限公司
• 主分類號: B24B37/34
• 分類號: B24B37/34;B24B37/30;B24B37/10
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種晶圓裝卸裝置，其特征在于，包括：

托架，用于裝載和/或卸載晶圓；

托架座，連接于托架下方，用于支撐托架；

驅動機構，連接于托架座下方，用于驅動托架座沿豎向移動；

其中，所述托架的周向配置有噴射件，并且，所述噴射件朝向托架中心傾斜向上設置；所述噴射件朝向上方噴射流體，以清潔保濕位于托架上方的承載頭。

2.如權利要求1所述的晶圓裝卸裝置，其特征在于，所述噴射件設置于晶圓放置區域的外側。

3.如權利要求1所述的晶圓裝卸裝置，其特征在于，所述托架為環狀結構，所述托架的上表面配置有凹槽，所述噴射件朝向托架的中心傾斜設置于所述凹槽中。

4.如權利要求1所述的晶圓裝卸裝置，其特征在于，所述噴射件的數量至少一個，其間隔設置于托架的上部。

5.如權利要求4所述的晶圓裝卸裝置，其特征在于，所述噴射件相對于托架所在平面的傾斜角度為30-70°。

6.如權利要求5所述的晶圓裝卸裝置，其特征在于，相鄰噴射件朝向托架中心的傾斜角度不同。

7.如權利要求4所述的晶圓裝卸裝置，其特征在于，所述噴射件為實心錐噴嘴，相鄰噴射件的噴射角度不同，以形成不同尺寸的噴射區域。

8.如權利要求1所述的晶圓裝卸裝置，其特征在于，所述凹槽的內底面朝向托架的中心向下傾斜以形成傾斜面，所述噴射件垂直于所述傾斜面固定于所述凹槽中。

9.如權利要求1所述的晶圓裝卸裝置，其特征在于，所述托架的上方還設置有輔助噴射組件，所述輔助噴射組件包括支撐架和輔助噴嘴，所述輔助噴嘴朝向托架的中心設置，以清潔保濕承載頭的側面和/或放置于托架的晶圓。

10.如權利要求9所述的晶圓裝卸裝置，其特征在于，所述支撐架為板狀結構，其平行、間隔設置于所述托架的上方，并且，所述支撐架位于承載頭交互區域的外側。

11.如權利要求9所述的晶圓裝卸裝置，其特征在于，所述輔助噴嘴與所述噴射件沿托架的周向交錯設置。

12.如權利要求1所述的晶圓裝卸裝置，其特征在于，還包括信息檢測件和控制單元，所述信息檢測件朝向上側設置于所述托架，以采集位于托架上方的承載頭的表面數據，所述控制單元基于采集的表面數據確定噴射件的工藝參數。

13.如權利要求12所述的晶圓裝卸裝置，其特征在于，所述信息檢測件沿托架的周向與所述噴射件交錯設置，其通過圖像采集的方式獲取承載頭表面的顆粒附著信息；控制單元通過比較表面數據的檢測值與閾值，從而確定噴射件的工藝參數。

14.一種化學機械拋光系統，其特征在于，包括拋光盤、承載頭、修整裝置及供液裝置，其還包括如權利要求1至13任一項所述的晶圓裝卸裝置。