[發明專利]一種升降式氮化鎵連續生長反應裝置

在審

• 申請號: 202210673555.7
• 申請日: 2022-06-13
• 公開（公告）號: CN115055133A
• 公開（公告）日: 2022-09-16
• 發明（設計）人: 劉亞巍;王泓江;李斯
• 申請（專利權）人: 安徽德徽創芯科技有限公司
• 主分類號: B01J19/00
• 分類號: B01J19/00;B01J4/00;C01B21/06;H01L21/02
• 代理公司: 合肥北極牛知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 34239
• 代理人: 施德祥

1.一種升降式氮化鎵連續生長反應裝置，包括裝置底座(1)、支撐桿(10)，其特征在于：所述裝置底座(1)頂部的兩端固定連接有支撐桿(10)；

所述裝置底座(1)兩端的側部固定連接有驅動電機(2)，所述驅動電機(2)的輸出端固定連接有轉動桿(3)，在轉動桿(3)的前端固定連接有穩固板(4)，在穩固板(4)相對的內側面兩端固定連接有穩固鈕(5)，在穩固鈕(5)的前端固定連接有下裝置筒(6)，在下裝置筒(6)的底部固定連接有下裝置蓋板(7)，所述下裝置筒(6)的頂部固定連接有內層套接筒(9)；

所述支撐桿(10)相對的內側面固定連接有軌道桿(11)，在軌道桿(11)的側部活動套接有移動器(12)，在移動器(12)的側部固定連接有邊框板(13)，所述移動器(12)的內部卡接有驅動齒輪(14)，所述移動器(12)的內部固定連接有微型驅動器(15)，所述移動器(12)的前側面設置有數據顯示面板(16)，所述邊框板(13)相對的內側面固定連接有上裝置筒(17)，在上裝置筒(17)的頂部固定連接有上裝置蓋板(18)。

2.根據權利要求1所述的一種升降式氮化鎵連續生長反應裝置，其特征在于，所述下裝置筒(6)的側部設置有出料接口(8)、且貫穿下裝置筒(6)的內側面。

3.根據權利要求1所述的一種升降式氮化鎵連續生長反應裝置，其特征在于，所述微型驅動器(15)的輸出端固定連接在驅動齒輪(14)側部的中心位置。

4.根據權利要求3所述的一種升降式氮化鎵連續生長反應裝置，其特征在于，所述驅動齒輪(14)的側部和軌道桿(11)的前側面均設置有齒輪紋、且齒輪紋之間相互嚙合。

5.根據權利要求1所述的一種升降式氮化鎵連續生長反應裝置，其特征在于，所述上裝置蓋板(18)的頂部設置有進料接口(19)、且貫穿上裝置蓋板(18)的底部。

6.根據權利要求1所述的一種升降式氮化鎵連續生長反應裝置，其特征在于，所述下裝置蓋板(7)的頂部和上裝置蓋板(18)的底部外邊緣處均設置有橡膠層、且與下裝置筒(6)底端的內側面和上裝置筒(17)頂端的內側面相吻合。

7.根據權利要求1所述的一種升降式氮化鎵連續生長反應裝置，其特征在于，所述內層套接筒(9)的外側面貼合在上裝置筒(17)的內側面。