[發明專利]一種半導體材料用環保型生產設備及其使用方法

在審

• 申請號: 202210665066.7
• 申請日: 2022-06-13
• 公開（公告）號: CN114871932A
• 公開（公告）日: 2022-08-09
• 發明（設計）人: 朱春;李述周
• 申請（專利權）人: 江蘇科沛達半導體科技有限公司
• 主分類號: B24B29/02
• 分類號: B24B29/02;B24B41/04;B24B41/06;B24B47/12;B24B47/22;B24B55/04;B24B55/06;B24B55/12
• 代理公司: 北京和聯順知識產權代理有限公司 11621
• 代理人: 譚建忠

1.一種半導體材料用環保型生產設備，其特征在于，包括：

工作臺(1)，所述工作臺(1)的上側設有上板(101)，所述工作臺(1)與上板(101)之間連接有多個連接柱(102)，所述工作臺(1)上安裝有拋光板(103)；

拋光機構(2)，安裝在所述上板(101)的下底面，用于拋光晶圓片；

密封定位機構(3)，設于所述拋光機構(2)的外側，用于定位且密封晶圓片，避免晶圓片拋光時產生的飛塵外溢；

其中，所述密封定位機構(3)包括密封罩(301)，所述密封罩(301)的下端連接有彈性件(303)，所述彈性件(303)上連接有接觸件(304)，所述彈性件(303)內填充有填充液(305)，所述彈性件(303)的內側設有多個定位弧板(306)，所述彈性件(303)與定位弧板(306)之間連接有伸縮件(307)；

吸塵機構(4)，安裝在所述密封罩(301)上，用于吸取密封罩(301)內晶圓片拋光時產生的飛塵。

2.根據權利要求1所述的一種半導體材料用環保型生產設備，其特征在于，所述拋光機構(2)包括氣缸(201)，所述氣缸(201)固定端與所述上板(101)相連接，所述氣缸(201)自由端連接有安裝板(202)。

3.根據權利要求2所述的一種半導體材料用環保型生產設備，其特征在于，所述安裝板(202)上安裝有拋光電動機(203)，所述拋光電動機(203)輸出軸連接有拋光盤(204)，所述拋光盤(204)用于拋光所述拋光板(103)上的晶圓片。

4.根據權利要求3所述的一種半導體材料用環保型生產設備，其特征在于，所述密封罩(301)與所述拋光電動機(203)輸出軸轉動連接有軸承(302)，所述密封罩(301)、彈性件(303)和接觸件(304)的整體高度大于所述拋光電動機(203)輸出軸長度。

5.根據權利要求4所述的一種半導體材料用環保型生產設備，其特征在于，所述彈性件(303)和接觸件(304)均為橡膠材質。

6.根據權利要求4所述的一種半導體材料用環保型生產設備，其特征在于，所述密封罩(301)的側壁上安裝有智能遮擋機構，所述智能遮擋機構包括一對玻璃(308)，一對所述玻璃(308)之間設有一對導電膜(310)，所述玻璃(308)與導電膜(310)之間連接有夾膠膜(309)，一對所述導電膜(310)之間設有液晶分子。

7.根據權利要求1所述的一種半導體材料用環保型生產設備，其特征在于，所述吸塵機構(4)包括吸氣泵(401)和過濾箱(402)，所述吸氣泵(401)和過濾箱(402)均安裝在所述密封罩(301)上，所述過濾箱(402)與吸氣泵(401)吸氣端相連接。

8.根據權利要求7所述的一種半導體材料用環保型生產設備，其特征在于，所述過濾箱(402)內設有多個過濾件(406)。

9.根據權利要求7所述的一種半導體材料用環保型生產設備，其特征在于，所述密封罩(301)的內側設有環形管(403)，所述環形管(403)設于所述拋光電動機(203)輸出軸的外側，所述環形管(403)上開鑿有通槽(404)，所述環形管(403)與所述過濾箱(402)之間連接有連接管(405)，所述連接管(405)和吸氣泵(401)吸氣端分別設于過濾箱(402)的兩側。

10.一種如權利要求1至9任意一項所述的半導體材料用環保型生產設備的使用方法，其特征在于，包括以下步驟：

S1、將晶圓片放置在拋光板(103)上，控制氣缸(201)伸長，氣缸(201)帶動安裝板(202)、拋光電動機(203)和拋光盤(204)下移；

S2、拋光電動機(203)輸出軸側壁上的密封罩(301)也跟隨拋光電動機(203)進行同步下移，由于密封罩(301)、彈性件(303)和接觸件(304)的整體高度大于拋光電動機(203)輸出軸的長度，當拋光電動機(203)下降到一定高度時，接觸件(304)先與拋光板(103)接觸，此時，彈性件(303)被擠壓收縮；

S3、當彈性件(303)被擠壓收縮時，彈性件(303)內的填充液(305)進入到伸縮件(307)內，使得伸縮件(307)伸長，伸縮件(307)伸長時能夠帶動定位弧板(306)進行移動，利用多個定位弧板(306)同步移動來定位晶圓片，保證晶圓片處于拋光板(103)的中心處；

S4、控制拋光電動機(203)運行，拋光電動機(203)帶動拋光盤(204)進行轉動，轉動的拋光盤(204)用于拋光晶圓片的表面，晶圓片拋光時產生的飛塵被密封在密封罩(301)內；

S5、打開吸氣泵(401)，吸氣泵(401)通過吸氣端、過濾箱(402)、連接管(405)和環形管(403)吸取密封在密封罩(301)內的飛塵，以便對飛塵進行集中處理；

S6、在飛塵進入到過濾箱(402)內時，通過多個過濾件(406)進行過濾處理；

S7、當需要觀察密封罩(301)內的情況時，只需對導電膜(310)通電，導電膜(310)在電力作用下使得玻璃(308)、夾膠膜(309)變得透明，便于觀察，當導電膜(310)斷開電源時，玻璃(308)、夾膠膜(309)和導電膜(310)變得不透明，用于起到遮擋的效果，同時用于節省電力。