[發(fā)明專利]一種雙光路合流芯片檢測(cè)裝置

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202210657271.9
• 申請(qǐng)日: 2022-06-10
• 公開（公告）號(hào): CN114923928A
• 公開（公告）日: 2022-08-19
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 趙明明;孫會(huì)民
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 廈門柯爾自動(dòng)化設(shè)備有限公司
• 主分類號(hào): G01N21/95
• 分類號(hào): G01N21/95;G01N21/94;G01N21/88;G01N21/01
• 代理公司: 廈門福貝知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 35235
• 代理人: 陳遠(yuǎn)洋

1.一種雙光路合流芯片檢測(cè)裝置，其特征在于，包括雙光路合流模塊和檢測(cè)鏡組模塊，待檢測(cè)芯片在垂直方向上放入所述雙光路合流模塊，被照明的所述待檢測(cè)芯片的兩個(gè)表面分別形成第一光路和第二光路，所述第一光路和所述第二光路在所述雙光路合流模塊中形成方向垂直且光線邊界無(wú)縫匯合的雙光路，所述雙光路合流模塊包括轉(zhuǎn)像棱鏡，所述雙光路經(jīng)由所述轉(zhuǎn)像棱鏡反射后沿著水平光路方向進(jìn)入所述檢測(cè)鏡組模塊，所述檢測(cè)鏡組模塊可位移地設(shè)置于所述水平光路方向上。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種雙光路合流芯片檢測(cè)裝置，其特征在于，所述雙光路合流模塊還包括依次設(shè)置在垂直方向上的轉(zhuǎn)像光學(xué)元件、合像光學(xué)元件，所述轉(zhuǎn)像光學(xué)元件設(shè)置在所述待檢測(cè)芯片和所述合像光學(xué)元件的兩側(cè)部上。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種雙光路合流芯片檢測(cè)裝置，其特征在于，所述轉(zhuǎn)像光學(xué)元件包含兩塊平板分光鏡、兩塊等腰直角棱鏡和固定板，兩塊所述平板分光鏡分別對(duì)應(yīng)著所述待檢測(cè)芯片的兩個(gè)表面，兩塊所述平板分光鏡與水平平面夾角為45°；

兩塊所述等腰直角棱鏡對(duì)應(yīng)地設(shè)置在所述分光鏡下方，兩塊所述等腰直角棱鏡的斜面與水平平面夾角為45°，所述等腰直角棱鏡的斜面為全反射面，所述兩塊平板分光鏡和所述兩塊等腰直角棱鏡通過(guò)所述固定板固定。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種雙光路合流芯片檢測(cè)裝置，其特征在于，所述合像光學(xué)原件包括兩塊以背對(duì)背方式放置的等腰直角棱鏡，所述等腰直角棱鏡斜面與垂直平面的夾角為45°，所述等腰直角棱鏡的斜面為全反射面。

5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種雙光路合流芯片檢測(cè)裝置，其特征在于，所述轉(zhuǎn)像棱鏡設(shè)置在所述合像光學(xué)元件的下方，所述轉(zhuǎn)像棱鏡的斜面與水平平面夾角為45°，所述轉(zhuǎn)像棱鏡的斜面為全反射面。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種雙光路合流芯片檢測(cè)裝置，其特征在于，所述雙光路合流模塊包括兩個(gè)條形光源，兩個(gè)所述條形光源分別設(shè)置在所述轉(zhuǎn)像光學(xué)元件的外側(cè)，所述條形光源的光線打亮所述待檢測(cè)芯片的兩個(gè)表面。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種雙光路合流芯片檢測(cè)裝置，其特征在于，還包括底座，所述雙光路合流模塊和所述檢測(cè)鏡組模塊沿著水平方向依次設(shè)置在所述底座上。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的一種雙光路合流芯片檢測(cè)裝置，其特征在于，所述檢測(cè)鏡組模塊包括電機(jī)模組、鏡頭固定單元、導(dǎo)軌和鏡組，所述鏡組包括遠(yuǎn)心鏡頭和相機(jī)，所述導(dǎo)軌、電機(jī)模組固定在所述底座上，所述鏡組固定在所述導(dǎo)軌上，所述電機(jī)模組帶動(dòng)所述導(dǎo)軌上的所述鏡組前后移動(dòng)。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的一種雙光路合流芯片檢測(cè)裝置，其特征在于，所述導(dǎo)軌為交叉滾子導(dǎo)軌。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的一種雙光路合流芯片檢測(cè)裝置，其特征在于，所述電機(jī)模組為直線步進(jìn)電機(jī)模組，所述直線步進(jìn)電機(jī)模組包括直線步進(jìn)電機(jī)、安裝板、螺母座和護(hù)罩。