[發明專利]一種雙光路合流芯片檢測裝置

在審

• 申請號: 202210657271.9
• 申請日: 2022-06-10
• 公開（公告）號: CN114923928A
• 公開（公告）日: 2022-08-19
• 發明（設計）人: 趙明明;孫會民
• 申請（專利權）人: 廈門柯爾自動化設備有限公司
• 主分類號: G01N21/95
• 分類號: G01N21/95;G01N21/94;G01N21/88;G01N21/01
• 代理公司: 廈門福貝知識產權代理事務所(普通合伙) 35235
• 代理人: 陳遠洋

1.一種雙光路合流芯片檢測裝置，其特征在于，包括雙光路合流模塊和檢測鏡組模塊，待檢測芯片在垂直方向上放入所述雙光路合流模塊，被照明的所述待檢測芯片的兩個表面分別形成第一光路和第二光路，所述第一光路和所述第二光路在所述雙光路合流模塊中形成方向垂直且光線邊界無縫匯合的雙光路，所述雙光路合流模塊包括轉像棱鏡，所述雙光路經由所述轉像棱鏡反射后沿著水平光路方向進入所述檢測鏡組模塊，所述檢測鏡組模塊可位移地設置于所述水平光路方向上。

2.根據權利要求1所述的一種雙光路合流芯片檢測裝置，其特征在于，所述雙光路合流模塊還包括依次設置在垂直方向上的轉像光學元件、合像光學元件，所述轉像光學元件設置在所述待檢測芯片和所述合像光學元件的兩側部上。

3.根據權利要求2所述的一種雙光路合流芯片檢測裝置，其特征在于，所述轉像光學元件包含兩塊平板分光鏡、兩塊等腰直角棱鏡和固定板，兩塊所述平板分光鏡分別對應著所述待檢測芯片的兩個表面，兩塊所述平板分光鏡與水平平面夾角為45°；

兩塊所述等腰直角棱鏡對應地設置在所述分光鏡下方，兩塊所述等腰直角棱鏡的斜面與水平平面夾角為45°，所述等腰直角棱鏡的斜面為全反射面，所述兩塊平板分光鏡和所述兩塊等腰直角棱鏡通過所述固定板固定。

4.根據權利要求2所述的一種雙光路合流芯片檢測裝置，其特征在于，所述合像光學原件包括兩塊以背對背方式放置的等腰直角棱鏡，所述等腰直角棱鏡斜面與垂直平面的夾角為45°，所述等腰直角棱鏡的斜面為全反射面。

5.根據權利要求2所述的一種雙光路合流芯片檢測裝置，其特征在于，所述轉像棱鏡設置在所述合像光學元件的下方，所述轉像棱鏡的斜面與水平平面夾角為45°，所述轉像棱鏡的斜面為全反射面。

6.根據權利要求1所述的一種雙光路合流芯片檢測裝置，其特征在于，所述雙光路合流模塊包括兩個條形光源，兩個所述條形光源分別設置在所述轉像光學元件的外側，所述條形光源的光線打亮所述待檢測芯片的兩個表面。

7.根據權利要求1所述的一種雙光路合流芯片檢測裝置，其特征在于，還包括底座，所述雙光路合流模塊和所述檢測鏡組模塊沿著水平方向依次設置在所述底座上。

8.根據權利要求7所述的一種雙光路合流芯片檢測裝置，其特征在于，所述檢測鏡組模塊包括電機模組、鏡頭固定單元、導軌和鏡組，所述鏡組包括遠心鏡頭和相機，所述導軌、電機模組固定在所述底座上，所述鏡組固定在所述導軌上，所述電機模組帶動所述導軌上的所述鏡組前后移動。

9.根據權利要求8所述的一種雙光路合流芯片檢測裝置，其特征在于，所述導軌為交叉滾子導軌。

10.根據權利要求9所述的一種雙光路合流芯片檢測裝置，其特征在于，所述電機模組為直線步進電機模組，所述直線步進電機模組包括直線步進電機、安裝板、螺母座和護罩。