[發明專利]一種基于編碼器的太赫茲時域譜高速掃描裝置及方法

在審

• 申請號: 202210651330.1
• 申請日: 2022-06-10
• 公開（公告）號: CN114993469A
• 公開（公告）日: 2022-09-02
• 發明（設計）人: 王建林;殷明;黃浩亮
• 申請（專利權）人: 路通尼克科技（無錫）有限公司
• 主分類號: G01J3/28
• 分類號: G01J3/28
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種基于編碼器的太赫茲時域譜高速掃描裝置及方法，其特征在于，裝置包括以下組成部分：運動控制模塊、延遲線模塊、高壓模塊、放大模塊、高速采集模塊。

2.如權利要求1所述的一種基于編碼器的太赫茲時域譜高速掃描裝置，其特征在于：所述延遲線模塊包含有編碼器組件、限位器組件、光進光出組件、運動組件。

3.如權利要求1所述的一種基于編碼器的太赫茲時域譜高速掃描裝置，其特征在于：所述高速采集模塊包括內部時鐘、外部時鐘觸發組件、高速模擬信號采集組件、數字信號采集組件、數據高速緩沖區組件和通信組件。

4.如權利要求1所述的一種基于編碼器的太赫茲時域譜高速掃描裝置，其特征在于：所述高壓模塊可以輸出直流高壓，也可以輸出交流高壓，包括但不限于正弦波、方波、三角波，并可提供同步參考信號輸出。

5.如權利要求1所述的一種基于編碼器的太赫茲時域譜高速掃描裝置，其特征在于：所述放大模塊可以是直流高速放大器，也可以是高頻鎖相放大器。

6.如權利要求1所述的一種基于編碼器的太赫茲時域譜高速掃描方法，其特征在于：利用編碼器輸出通道的上升沿或下降沿作為信號采集的觸發條件和時間、位移計數依據，上升沿和下降沿可以來自其中的一個通道，也可以來自多個通道的信號組合，包括但不限于通道信號相加、通道信號相減。

7.如權利要求1所述的一種基于編碼器的太赫茲時域譜高速掃描方法，其特征在于：利用編碼器輸出通道的相位差來判斷延遲線的正向運動和反向運動。

8.如權利要求1所述的一種基于編碼器的太赫茲時域譜高速掃描方法，其特征在于：可以通過多次往復掃描來提高信噪比，也可以通過單次觸發采集多個數據點來提高信噪比。

9.如權利要求2所述的編碼器組件，其特征在于：有兩個甚至多個信號輸出通道，通道間保持一定的固定相位差，編碼器可以是絕對式編碼器也可以是增量式編碼器。