[發明專利]一種拋光液濃度在線測量裝置及拋光液供液系統

在審

• 申請號: 202210647288.6
• 申請日: 2022-06-09
• 公開（公告）號: CN114965141A
• 公開（公告）日: 2022-08-30
• 發明（設計）人: 周佩璠;劉義彬;張寧;高胥華;陳倫強;張曼;胡慶;戴紅玲
• 申請（專利權）人: 中國工程物理研究院激光聚變研究中心
• 主分類號: G01N5/00
• 分類號: G01N5/00;G01N35/00
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 胡素莉

1.一種拋光液濃度在線測量裝置，其特征在于，包括：

采樣皿(1)，用于在線獲取拋光液；

升降機構，與所述采樣皿(1)相連，用于驅動所述采樣皿(1)升降；所述升降機構用于設置在拋光液容器內，以使所述采樣皿(1)能夠浸入所述拋光液容器的液面下方；

力傳感器(2)，連接于所述采樣皿(1)和所述升降機構之間；

控制器，分別與所述升降機構和所述力傳感器(2)相連，所述控制器預先存儲有所述采樣皿(1)的體積和水的密度，用于當所述升降機構將所述采樣皿(1)抬升至液面上方時，根據所述力傳感器(2)的檢測信號、所述采樣皿(1)的體積和水的密度，計算得到拋光液的濃度。

2.根據權利要求1所述的拋光液濃度在線測量裝置，其特征在于，還包括：

溫度傳感器(3)，設于所述采樣皿(1)的內部，用于檢測所述采樣皿(1)獲取的拋光液的溫度，所述溫度傳感器(3)與所述控制器相連；

所述控制器還預先存儲有溫度與水的密度之間的對應關系，所述控制器還用于根據所述溫度傳感器(3)檢測的溫度值和所述對應關系，得到與所述溫度值對應的水的密度。

3.根據權利要求1或2所述的拋光液濃度在線測量裝置，其特征在于，所述升降機構包括：

絲杠軸(41)，通過所述力傳感器(2)與所述采樣皿(1)相連；

絲母齒輪(42)，與所述絲杠軸(41)螺紋連接；

主動齒輪(43)，與所述絲母齒輪(42)嚙合傳動；

旋轉驅動機構(44)，分別與所述主動齒輪(43)和所述控制器相連，用于驅動所述主動齒輪(43)轉動；

止轉器(45)，沿所述絲杠軸(41)的升降方向與所述絲杠軸(41)可相對滑動，沿所述絲杠軸(41)的周向對所述絲杠軸(41)進行限位。

4.根據權利要求3所述的拋光液濃度在線測量裝置，其特征在于，還包括基座(46)，所述絲母齒輪(42)、所述旋轉驅動機構(44)和所述止轉器(45)均安裝于所述基座(46)，所述基座(46)用于安裝于所述拋光液容器內。

5.根據權利要求4所述的拋光液濃度在線測量裝置，其特征在于，所述止轉器(45)和所述絲杠軸(41)中的一者設有長槽，另一者設有伸入所述長槽內的凸起部。

6.根據權利要求4所述的拋光液濃度在線測量裝置，其特征在于，所述絲杠軸(41)通過滑動軸承(47)與所述基座(46)相連。

7.根據權利要求6所述的拋光液濃度在線測量裝置，其特征在于，所述基座(46)與所述采樣皿(1)之間連接有伸縮密封管(48)，所述力傳感器(2)和所述絲杠軸(41)分別位于所述伸縮密封管(48)內，所述伸縮密封管(48)的伸縮方向為所述采樣皿(1)的升降方向。

8.根據權利要求4所述的拋光液濃度在線測量裝置，其特征在于，所述絲母齒輪(42)的兩端分別通過支撐軸承(49)與所述基座(46)相連。

9.根據權利要求4所述的拋光液濃度在線測量裝置，其特征在于，所述基座(46)包括：

座體(461)，其頂部敞口，所述絲母齒輪(42)、所述主動齒輪(43)、所述旋轉驅動機構(44)和所述止轉器(45)均設于所述座體(461)內部；

端蓋(462)，蓋設于所述座體(461)的頂部。

10.一種拋光液供液系統，包括拋光液容器，其特征在于，還包括權利要求1-9任一項所述的拋光液濃度在線測量裝置，所述拋光液濃度在線測量裝置的升降機構設于所述拋光液容器內，以使所述拋光液濃度在線測量裝置的采樣皿(1)浸入所述拋光液容器的液面下方。