[發(fā)明專(zhuān)利]用于傳感器設(shè)備的微機(jī)械構(gòu)件和用于傳感器設(shè)備的微機(jī)械構(gòu)件的制造方法

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202210646991.5
• 申請(qǐng)日: 2022-06-08
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN115448247A
• 公開(kāi)（公告）日: 2022-12-09
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: H·韋伯;P·施莫爾格魯貝爾
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 羅伯特·博世有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): B81B3/00
• 分類(lèi)號(hào): B81B3/00;B81B7/02;B81C1/00;G01L1/14
• 代理公司: 永新專(zhuān)利商標(biāo)代理有限公司 72002
• 代理人: 郭毅

1.一種用于傳感器設(shè)備的微機(jī)械構(gòu)件，所述微機(jī)械構(gòu)件具有：

襯底(10)；

至少一個(gè)第一對(duì)應(yīng)電極(38)，所述至少一個(gè)第一對(duì)應(yīng)電極直接地或者間接地緊固在所述襯底(10)上；和

至少一個(gè)第一電極(46)，所述至少一個(gè)第一電極以能夠調(diào)整的方式布置在所述至少一個(gè)第一對(duì)應(yīng)電極(38)的背離所述襯底(10)的側(cè)上；和

電容器密封結(jié)構(gòu)(54)，所述電容器密封結(jié)構(gòu)直接地或者間接地緊固在所述襯底(10)上，所述電容器密封結(jié)構(gòu)氣密地密封內(nèi)部體積(56)，所述內(nèi)部體積具有存在于其中的所述至少一個(gè)第一對(duì)應(yīng)電極(38)和存在于其中的所述至少一個(gè)第一電極(46)；

其特征在于，

所述至少一個(gè)第一對(duì)應(yīng)電極(38)直接地或者間接地至少緊固在框架結(jié)構(gòu)(12)上，所述框架結(jié)構(gòu)直接地或者間接地緊固在所述襯底(10)上，

其中，所述框架結(jié)構(gòu)(12)包圍空腔(68)，并且所述至少一個(gè)第一對(duì)應(yīng)電極(38)至少部分地如此跨越所述空腔(68)，使得通過(guò)構(gòu)造在所述至少一個(gè)第一對(duì)應(yīng)電極(38)上和/或構(gòu)造在所述至少一個(gè)第一對(duì)應(yīng)電極(38)中的至少一個(gè)開(kāi)口(38a)能夠在所述空腔(68)與所述內(nèi)部體積(56)之間傳輸至少一種氣體。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微機(jī)械構(gòu)件，其中，至少一個(gè)凹陷部(14)結(jié)構(gòu)化到所述襯底(10)的以下襯底表面(10a)中：所述襯底表面與在所述框架結(jié)構(gòu)(12)內(nèi)的空腔(68)鄰接。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的微機(jī)械構(gòu)件，其中，直接地或者間接地至少緊固在所述框架結(jié)構(gòu)(12)上的至少一個(gè)第一對(duì)應(yīng)電極(38)借助至少一個(gè)絕緣區(qū)域(32)與所述框架結(jié)構(gòu)(12)和/或所述襯底(10)電絕緣，所述絕緣區(qū)域由至少一種電絕緣材料形成，所述絕緣區(qū)域布置或者構(gòu)造在所述框架結(jié)構(gòu)(12)內(nèi)和/或所述框架結(jié)構(gòu)(12)與所述至少一個(gè)第一對(duì)應(yīng)電極(38)之間。

4.根據(jù)上述權(quán)利要求中任一項(xiàng)所述的微機(jī)械構(gòu)件，其中，所述電容器密封結(jié)構(gòu)(54)在所述至少一個(gè)第一電極(46)的背離所述襯底(10)的側(cè)上包括張開(kāi)的膜片(58)，所述張開(kāi)的膜片的膜片內(nèi)側(cè)(58a)限界所述內(nèi)部體積(56)，并且當(dāng)存在于所述膜片(58)的背離所述內(nèi)部體積(56)的膜片外側(cè)(58b)上的壓力與存在于所述內(nèi)部體積(56)中的參考?jí)毫χg的壓力差不等于零時(shí)，所述膜片是能夠翹曲的，由此，懸掛在所述膜片(58)的膜片內(nèi)側(cè)(58a)上并且與所述膜片(58)電連接的所述至少一個(gè)第一電極(46)是能夠調(diào)整的。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的微機(jī)械構(gòu)件，其中，所述至少一個(gè)第一電極(46)通過(guò)緊固在所述膜片內(nèi)側(cè)(58a)上的至少一個(gè)懸掛結(jié)構(gòu)(60)懸掛在所述膜片內(nèi)側(cè)(58a)上并且與所述膜片(58)電連接，其中，所述微機(jī)械構(gòu)件附加地還具有存在于所述內(nèi)部體積(56)中的至少一個(gè)第二電極(72)，所述至少一個(gè)第二電極同樣通過(guò)所述至少一個(gè)懸掛結(jié)構(gòu)(60)這樣懸掛在所述膜片內(nèi)側(cè)(58a)上并且與所述膜片(58)電連接，使得所述至少一個(gè)第二電極(72)如所述至少一個(gè)第一電極(46)一樣是借助所述膜片(58)的翹曲能夠調(diào)整的，其中，所述微機(jī)械構(gòu)件附加地還具有存在于所述內(nèi)部體積(56)中的至少一個(gè)第二對(duì)應(yīng)電極(74)，所述至少一個(gè)第二對(duì)應(yīng)電極布置在所述至少一個(gè)第二電極(72)的背離所述襯底(10)的側(cè)上。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的微機(jī)械構(gòu)件，其中，所述至少一個(gè)第一對(duì)應(yīng)電極(38)和所述至少一個(gè)第二電極(72)由第一電極層(40)形成，所述至少一個(gè)第一電極(46)和所述至少一個(gè)第二對(duì)應(yīng)電極(74)由第二電極層(48)形成，其中，所述膜片(58)借助至少一個(gè)膜片絕緣區(qū)域(76)與由所述第二電極層(48)形成的部件(46、50、50a、74)電絕緣，所述至少一個(gè)膜片絕緣區(qū)域由至少一種電絕緣材料和/或另外的至少一種電絕緣材料組成。