[發明專利]一種微型膜片式電子真空泵

在審

• 申請號: 202210636168.6
• 申請日: 2022-06-07
• 公開（公告）號: CN115030884A
• 公開（公告）日: 2022-09-09
• 發明（設計）人: 劉振;董仁澤;劉行
• 申請（專利權）人: 湖南騰智機電有限責任公司
• 主分類號: F04B45/047
• 分類號: F04B45/047;F04B37/14;F04B39/00;B60T13/52
• 代理公司: 衡陽雁城專利代理事務所(普通合伙) 43231
• 代理人: 李政科

1.一種微型膜片式電子真空泵，其特征在于：包括泵體（4）、左泵蓋（2）、右泵蓋（16）、膜片（15）、連接體（5）和驅動機構；所述左泵蓋（2）與泵體（4）的內部構成進氣腔，所述右泵蓋（16）與泵體（4）的內部構成排氣腔；所述泵體（4）的中部設有連接法蘭（4a），所述連接法蘭（4a）為環狀，在連接法蘭（4a）的中間設有一個圓管體（4b），該圓管體（4b）內側端的外周與連接法蘭（4a）的內側端之間通過壁板相連，所述壁板上設有一個通孔（4c）；所述膜片（15）安裝在連接法蘭（4a）和連接體（5）之間且能夠封蓋住圓管體（4b）的外側端，所述膜片（15）的中間裝有帶磁性的彈簧座（14）；所述驅動機構包括前磁極（6）、電磁線圈（8）、后磁極（9）、銜鐵（10）、束磁管（11）、主彈簧（12）、外殼（7），所述前磁極（6）為具有中間軸孔的圓盤體，所述銜鐵（10）為階梯軸，包括小徑段和大徑段，所述前磁極（6）安裝在連接體（5）上，所述銜鐵（10）穿設在前磁極（6）的軸孔內，銜鐵（10）的小徑段上套有副彈簧（13），該副彈簧（13）的另一端抵靠在膜片（15）中間的彈簧座（14）上，銜鐵（10）的大徑段與后磁極（9）之間裝有主彈簧（12），以銜鐵（10）和后磁極（9）為環繞中心，從內至外依次裝有束磁管（11）、電磁線圈（8）和外殼（7），當電磁線圈（8）通電時，銜鐵（10）和后磁極（9）均能產生磁性，使銜鐵（10）和彈簧座（14）之間的磁場力大于兩者之間副彈簧（13）的彈力。

2.根據權利要求1所述的微型膜片式電子真空泵，其特征在于：所述圓管體（4b）與進氣腔相通，所述壁板上的通孔（4c）與排氣腔相通；當膜片（15）對圓管體（4b）的外側端進行封蓋時，進氣腔和排氣腔互不相通，當膜片（15）打開時，進氣腔和排氣腔可通過圓管體（4b）和通孔（4c）相互貫通。

3.根據權利要求2所述的微型膜片式電子真空泵，其特征在于：左泵蓋（2）上裝有進氣單向閥（3），右泵蓋（16）上裝有排氣單向閥（17）。

4.根據權利要求1至3中任意一項所述的微型膜片式電子真空泵，其特征在于：所述銜鐵（10）的大徑段設有用于容納主彈簧（12）的安裝孔。

5.根據權利要求1至3中任意一項所述的微型膜片式電子真空泵，其特征在于：所述彈簧座（14）采用磁粉注塑而成。

6.根據權利要求1至3中任意一項所述的微型膜片式電子真空泵，其特征在于：電磁線圈（8）電流的通斷及通電頻率均可通過控制器進行調節。