[發明專利]一種熱反射顯微熱成像膨脹補償方法、裝置及電子設備在審
| 申請號： | 202210633557.3 | 申請日： | 2022-06-06 |
| 公開（公告）號： | CN115200721A | 公開（公告）日： | 2022-10-18 |
| 發明（設計）人： | 劉巖;翟玉衛;李灝;丁立強;馬春雷;范雅潔;趙麗 | 申請（專利權）人： | 中國電子科技集團公司第十三研究所 |
| 主分類號： | G01J5/48 | 分類號： | G01J5/48;G01J5/70 |
| 代理公司： | 石家莊國為知識產權事務所 13120 | 代理人： | 劉少卿 |
| 地址： | 050051 *** | 國省代碼： | 河北;13 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 反射 顯微 成像 膨脹 補償 方法 裝置 電子設備 | ||
1.一種熱反射顯微熱成像膨脹補償方法，其特征在于，應用于無限遠校正光學顯微系統，所述無限遠校正光學顯微系統通過物鏡、成像透鏡和熱成像相機采集被測器件的圖像，所述方法包括：
獲取被測器件在當前環境條件下的初始圖像；
計算所述初始圖像相對于所述被測器件標準圖像的縮放系數，其中，所述被測器件的標準圖像是所述顯微系統在像距為成像透鏡焦距、物距為物鏡焦距的參數設置條件下獲取的圖像；
根據所述縮放系數確定與當前環境條件相匹配的目標像距與目標物距；
設置所述顯微系統的像距為所述目標像距、物距為所述目標物距，獲得所述被測器件膨脹補償后的熱反射顯微熱成像圖像。
2.根據權利要求1所述的一種熱反射顯微熱成像膨脹補償方法，其特征在于，所述根據所述縮放系數確定與當前環境條件相匹配的目標像距與目標物距，包括：
計算作為目標像距，其中，fT為成像透鏡焦距，α為縮放系數；
計算作為目標物距，其中，fL為物鏡焦距。
3.根據權利要求1所述的一種熱反射顯微熱成像膨脹補償方法，其特征在于，所述根據所述縮放系數確定與當前環境條件相匹配的目標像距與目標物距，包括：
判斷所述縮放系數是否大于預設閾值；
當所述縮放系數大于預設閾值時，根據所述縮放系數確定與當前環境條件相匹配的目標像距與目標物距。
4.根據權利要求3所述的一種熱反射顯微熱成像膨脹補償方法，其特征在于，當所述縮放系數大于預設閾值時，根據所述縮放系數確定與當前環境條件相匹配的目標像距與目標物距，包括：
將像距縮小其中，α為當前的縮放系數，fT為物鏡焦距；
將物距縮小其中，lO為當前物距，fL為成像透鏡焦距；
通過顯微系統在當前像距和當前物距參數設置條件下，獲取被測器件的第一初始圖像；
計算所述第一初始圖像相對于所述被測器件標準圖像的第一縮放系數；
判斷所述第一縮放系數是否大于預設閾值；
如果所述第一縮放系數大于預設閾值，將所述第一縮放系數作為當前的縮放系數，縮小像距和物距，直至第一縮放系數小于或等于預設閾值。
5.根據權利要求3所述的熱反射顯微熱成像膨脹補償方法，其特征在于，在所述判斷所述縮放系數是否大于預設閾值之后，還包括：
當所述縮放系數小于或等于預設閾值時，將當前像距作為目標像距，當前物距作為目標物距。
6.一種熱反射顯微熱成像膨脹補償裝置，其特征在于，應用于無限遠校正光學顯微系統，所述無限遠校正光學顯微系統通過物鏡、成像透鏡和熱成像相機采集被測器件的圖像，所述裝置包括：
初始圖像獲取模塊，用于獲取被測器件在當前環境條件下的初始圖像；
縮放系數計算模塊，用于計算所述初始圖像相對于所述被測器件標準圖像的縮放系數，其中，所述被測器件的標準圖像是所述顯微系統在像距為成像透鏡焦距、物距為物鏡焦距的參數設置條件下獲取的圖像；
目標像距物距獲得模塊，用于根據所述縮放系數確定與當前環境條件相匹配的目標像距與目標物距；
補償圖像獲取模塊，用于設置所述顯微系統的像距為所述目標像距、物距為所述目標物距，獲得所述被測器件膨脹補償后的熱反射顯微熱成像圖像。
7.根據權利要求6所述的一種熱反射顯微熱成像膨脹補償裝置，其特征在于，所述目標像距物距獲得模塊包括：
目標像距獲得單元，用于計算作為目標像距，其中，fT為成像透鏡焦距，α為縮放系數；
目標物距獲得單元，用于計算作為目標物距，其中，fL為物鏡焦距。
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