[發明專利]一種晶棒自動翻轉上下料裝置及其使用方法

有效

• 申請號: 202210625402.5
• 申請日: 2022-06-02
• 公開（公告）號: CN115070524B
• 公開（公告）日: 2023-03-24
• 發明（設計）人: 蘇靜洪;梁文;陸吳強;張王鋒;韓鳴明
• 申請（專利權）人: 天通日進精密技術有限公司;天通控股股份有限公司
• 主分類號: B24B5/36
• 分類號: B24B5/36;B24B5/35;B24B41/06;B24B55/00;B24B5/50
• 代理公司: 嘉興啟帆專利代理事務所(普通合伙) 33253
• 代理人: 柯達

1.一種晶棒自動翻轉上下料裝置，包括底板(1)，底板(1)上設置有精磨工位，其特征在于，所述精磨工位包括與底板(1)滑動連接的第一固定板(2)，第一固定板(2)上設置有能夠轉動的三爪卡盤(21)；底板(1)上設置有頂桿機構(3)，頂桿機構(3)包括與底板滑動連接的第二固定板(31)，第二固定板(31)上轉動連接有頂桿安裝座(32)，頂桿安裝座(32)的一端滑動連接有頂桿(33)，頂桿(33)與三爪卡盤(21)同軸，頂桿(33)與頂桿安裝座(32)之間安裝有第一彈簧(34)；底板(1)上端設置有兩個驅動機構(4)，來分別驅動第一固定板(2)和第二固定板(31)滑動；

所述底板(1)上端設置有翻轉移動機構(5)，翻轉移動機構(5)包括與的底板(1)滑動連接的滑塊(51)，滑塊(51)的滑動方向與三爪卡盤(21)的軸向垂直；滑塊(51)的上端轉動連接有轉軸(54)，轉軸(54)的上端固定有橫桿(55)，橫桿(55)的端部設置有用于夾持晶棒的夾持機構(7)；

所述轉軸(54)上固定有第二齒輪(57)，底板(1)上固定有第二齒條(58)，在滑塊(51)的滑動過程中，第二齒條(58)能夠與第二齒輪(57)相互嚙合；第二齒條(58)設置在遠離精磨工位的一側，使得第二齒條(58)在于第二齒輪(57)嚙合而帶動晶棒翻轉的過程中，不會與精磨工位上的機構干涉；當滑塊(51)運動至距離精磨工位的最近端點時，夾持機構(7)上的晶棒恰好與三爪卡盤(21)同軸；

所述夾持機構(7)包括固定在橫桿(55)一端的安裝板(71)，安裝板(71)上滑動連接有兩個夾塊(72)，兩個夾塊(72)上分別固定有一個第三齒條(73)，安裝板(71)上固定有第三驅動裝置(74)，第三驅動裝置(74)的驅動軸上固定有第三齒輪(75)，第三齒輪(75)位于兩個第三齒條(73)之間，并同時與兩個第三齒條(73)嚙合，從而使得兩個夾塊(72)的同步反向滑動；

所述滑塊(51)的上端設置有多個阻尼機構(56)，所述阻尼機構(56)包括第三固定板(561)，第三固定板(561)通過螺栓連接方式與滑塊(51)固定連接；第三固定板(561)的一側設置有圓弧板(562)，圓弧板(562)上設置有與轉軸(54)外圓相互配合的圓弧面，圓弧板(562)靠近第三固定板(561)的一側設置有兩個導桿(563)，導桿(563)穿過第三固定板(561)，并與第三固定板(561)滑動連接，導桿(563)上套有第二彈簧(564)，第二彈簧(564)的兩端分別與第三固定板(561)的側面以及圓弧板(562)的側面固定連接，在第二彈簧(564)的彈力作用下，圓弧板(562)上的圓弧面緊貼在轉軸(54)上，利用摩擦力來對轉軸(54)的轉動產生阻尼；

所述滑塊(51)上安裝有卡合機構(6)，卡合機構(6)包括與滑塊(51)滑動連接的固定桿(61)，固定桿(61)的一端滑動連接有滑動桿(62)，滑動桿(62)與固定桿(61)之間安裝有第三彈簧(63)；滑塊(51)上設置有擋板(511)，擋板(511)與固定桿(61)之間安裝有第四彈簧(64)，在第四彈簧(64)的彈力作用下，滑動桿(62)的端部能夠與第二齒輪(57)的相鄰兩齒間卡合；

所述滑塊(51)的上端轉動連接有第一轉動桿(65)，第一轉動桿(65)上固定有第四齒輪(66)和第五齒輪(67)，固定桿(61)的一側設置有第四齒條(612)，第四齒條(612)能夠與第四齒輪(66)相互嚙合，底板(1)上端固定有第五齒條(68)，隨著滑塊(51)的滑動，第五齒條(68)能夠與第五齒輪(67)發生嚙合；

在所述滑塊(51)朝著遠離精磨工位方向滑動的過程中，第五齒條(68)與第五齒輪(67)嚙合，并能夠帶動固定桿(61)朝著遠離轉軸(54)的方向滑動，且在第二齒輪(57)與第二齒條(58)嚙合之前，滑動桿(62)的端部能夠離開第二齒輪(57)，避免晶棒的翻轉受阻；在滑塊(51)朝著靠近精磨工位方向滑動的過程中，第五齒條(68)與第五齒輪(67)嚙合，并能夠帶動固定桿(61)朝著靠近轉軸(54)的方向滑動，并且，在第二齒輪(57)與第二齒條(58)脫離之前，滑動桿(62)的端部不會與第二齒輪(57)接觸卡合；隨著滑塊(51)繼續朝著精磨工位滑動的過程中，第五齒條(68)與第五齒輪(67)脫離，在第四彈簧(64)的彈力作用下，滑動桿(62)的端部能夠與第二齒輪(57)的相鄰兩齒間卡合；

在所述第二齒輪(57)與第二齒條(58)嚙合的整個過程中，第五齒條(68)均與第五齒輪(67)嚙合。