[發明專利]一種自動清潔裝置

在審

• 申請號: 202210618639.0
• 申請日: 2022-06-01
• 公開（公告）號: CN114904812A
• 公開（公告）日: 2022-08-16
• 發明（設計）人: 焦宇輝;張文斌;趙祥;孫莉莉;徐品烈;種寶春;張彩山
• 申請（專利權）人: 北京半導體專用設備研究所（中國電子科技集團公司第四十五研究所）
• 主分類號: B08B1/00
• 分類號: B08B1/00;B08B1/04;B08B3/02;B08B13/00;F26B21/00
• 代理公司: 北京超凡宏宇專利代理事務所(特殊普通合伙) 11463
• 代理人: 嚴小艷

1.一種自動清潔裝置，用于對半導體晶片的拋光夾具(1)進行清潔，其特征在于，包括支撐架(6)、夾緊機構和清潔機構；

所述支撐架(6)的頂部設置有清潔腔體(15)，所述清潔腔體(15)上設置所述夾緊機構，所述夾緊機構用于夾緊所述拋光夾具(1)并使所述拋光夾具(1)位于所述清潔腔體(15)內，所述清潔機構與所述支撐架(6)連接，且所述清潔機構的位置與所述拋光夾具(1)的位置對應設置。

2.根據權利要求1所述的自動清潔裝置，其特征在于，所述清潔機構包括清刷機構，所述清刷機構設置于所述拋光夾具(1)的正下方；

所述清刷機構包括驅動電機(11)、空心轉軸(7)、清潔毛刷組件(5)和噴液機構，所述空心轉軸(7)豎直穿設于所述清潔腔體(15)的底部，所述空心轉軸(7)的頂端設置有清潔毛刷組件(5)，所述空心轉軸(7)的底端開口與噴液機構連通，所述空心轉軸(7)的頂端開口處設置有多個噴液口(502)，所述驅動電機(11)的輸出軸與所述空心轉軸(7)連接，用于驅動所述空心轉軸(7)旋轉。

3.根據權利要求2所述的自動清潔裝置，其特征在于，所述清刷機構還包括交叉防水結構(26)和軸承座(8)，所述空心轉軸(7)的上部通過所述交叉防水結構(26)與所述清潔腔體(15)內底部連接，所述空心轉軸(7)的下部通過所述軸承座(8)與所述支撐架(6)連接。

4.根據權利要求2所述的自動清潔裝置，其特征在于，所述清刷機構還包括傳動輪組件(22)，所述驅動電機(11)的輸出軸通過所述傳動輪組件(22)與所述空心轉軸(7)連接。

5.根據權利要求4所述的自動清潔裝置，其特征在于，所述傳動輪組件(22)包括主動皮帶輪、從動皮帶輪和傳動皮帶，所述主動皮帶輪與所述驅動電機(11)的輸出軸連接，所述從動皮帶輪與所述空心轉軸(7)連接，所述主動皮帶輪和所述從動皮帶輪通過所述傳動皮帶連接傳動；

或者，所述傳動輪組件(22)包括主動齒輪和從動齒輪，所述主動齒輪與所述驅動電機(11)的輸出軸連接，所述從動齒輪與所述空心轉軸(7)連接，所述主動齒輪和所述從動齒輪嚙合連接，或者，所述主動齒輪和所述從動齒輪通過傳動鏈條連接傳動。

6.根據權利要求3所述的自動清潔裝置，其特征在于，所述清潔機構還包括吹干機構，所述吹干機構包括擺動氣缸(18)、空心噴氣擺臂(4)和噴氣機構，所述擺動氣缸(18)設置于所述清潔腔體(15)上，所述擺動氣缸(18)與所述空心噴氣擺臂(4)連接，用于驅動所述空心噴氣擺臂(4)擺動，所述空心噴氣擺臂(4)的進氣口與噴氣機構連通，所述空心噴氣擺臂(4)上設置有多個噴頭，所述噴頭與所述拋光夾具(1)對應設置。

7.根據權利要求1所述的自動清潔裝置，其特征在于，所述夾緊機構設置于所述清潔腔體(15)的頂部，所述夾緊機構包括兩個相對設置的夾緊組件，所述拋光夾具(1)位于兩個所述夾緊組件之間；

所述夾緊組件包括伸縮氣缸(21)和伸縮抓手(2)，所述伸縮氣缸(21)與所述伸縮抓手(2)連接，所述伸縮氣缸(21)用于驅動所述伸縮抓手(2)行進并對所述拋光夾具(1)進行夾緊。

8.根據權利要求7所述的自動清潔裝置，其特征在于，所述夾緊組件還包括抓手導槽體(20)，所述抓手導槽體(20)設置于所述清潔腔體(15)的頂部，所述伸縮抓手(2)位于所述抓手導槽體(20)內，所述伸縮抓手(2)能夠沿所述抓手導槽體(20)的導槽方向行進。

9.根據權利要求3所述的自動清潔裝置，其特征在于，還包括升降機構，所述清刷機構通過所述升降機構與所述支撐架(6)連接，所述升降機構用于驅動所述清刷機構進行升降。

10.根據權利要求9所述的自動清潔裝置，其特征在于，所述升降機構包括滑軌(13)、滑塊(14)、安裝架(10)和升降驅動單元(24)，所述滑軌(13)豎直安裝于所述支撐架(6)上，所述滑塊(14)與所述滑軌(13)滑動連接，所述滑軌(13)上設置所述安裝架(10)，所述安裝架(10)的一端與所述清刷機構固定連接，所述安裝架(10)的另一端與所述升降驅動單元(24)連接，所述升降驅動單元(24)用于驅動所述清刷機構進行升降。