[發明專利]源瓶的溫度控制系統及方法

在審

• 申請號: 202210607326.5
• 申請日: 2022-05-31
• 公開（公告）號: CN114911282A
• 公開（公告）日: 2022-08-16
• 發明（設計）人: 張利軍;張芳
• 申請（專利權）人: 北京北方華創微電子裝備有限公司
• 主分類號: G05D23/19
• 分類號: G05D23/19
• 代理公司: 北京國昊天誠知識產權代理有限公司 11315
• 代理人: 馬瑞

1.一種源瓶的溫度控制系統，其特征在于，包括：

用于承載工藝源的源瓶本體；

設置于所述源瓶本體內的液位計和壓力計，所述液位計用于檢測所述源瓶本體內所承載工藝源的液位值，所述壓力計用于檢測所述源瓶本體內的壓力值；

設置于所述源瓶本體的外瓶壁上的第一熱電偶、設置于所述源瓶本體的氣流出口處的第二熱電偶和載氣流量計、設置于所述源瓶本體內的第三熱電偶；

設置于所述源瓶本體的側壁上的加熱帶，用于對所述源瓶本體進行加熱；

溫度控制器，用于根據所述第一熱電偶所測量到的第一溫度值、所述第二熱電偶所測量到的第二溫度值、所述第三熱電偶所測量到的第三溫度值、所述液位計所檢測到的所述液位值、所述壓力計所檢測到的所述壓力值和所述載氣流量計所檢測到的載氣流量值，控制所述加熱帶輸出目標功率，以控制所述源瓶本體的溫度達到預先設定的目標溫度值。

2.根據權利要求1所述的溫度控制系統，其特征在于，所述加熱帶包括主加熱帶和輔助加熱帶；其中，

所述溫度控制器用于根據第一耦合溫度值確定用于控制所述主加熱帶和輔助加熱帶輸出功率的PID控制參數以及根據所述液位值、所述壓力值和所述載氣流量值調整所述PID控制參數，并根據調整后的所述PID控制參數控制所述主加熱帶輸出第一功率；在檢測到所述液位值大于預設高度值、所述載氣流量值大于預設流量值或溫度差值大于預設溫度值時，控制開啟所述輔助加熱帶并根據所述調整后的所述PID控制參數控制所述輔助加熱帶輸出第二功率；

其中，所述溫度差值為所述第一耦合溫度值與所述目標溫度值之間的差值，所述第一耦合溫度值為對所述第一溫度值、所述第二溫度值和所述第三溫度值進行耦合得到的溫度值；

在所述輔助加熱帶不開啟的情況下，所述第一功率用于控制所述第一耦合溫度值達到所述目標溫度值；在所述輔助加熱帶開啟的情況下，所述第一功率和第二功率共同用于控制所述第一耦合溫度值達到所述目標溫度值。

3.根據權利要求2所述的溫度控制系統，其特征在于，所述溫度控制器還用于，在所述液位值小于所述預設高度值、所述載氣流量值小于所述預設流量值以及所述溫度差值小于所述預設溫度值時，控制所述輔助加熱帶關閉。

4.一種源瓶的溫度控制方法，其特征在于，應用于如權利要求1至3任一項所述的源瓶的溫度控制系統，所述溫度控制方法包括：

獲取所述液位計所檢測到的所述液位值、所述壓力計所檢測到的所述壓力值、所述載氣流量計所檢測到的所述載氣流量值、所述第一熱電偶所測量到的所述第一溫度值、所述第二熱電偶所測量到的所述第二溫度值和所述第三熱電偶所測量到的所述第三溫度值；

對所述第一溫度值、所述第二溫度值和所述第三溫度值進行耦合得到第一耦合溫度值；

根據所述第一耦合溫度值與預先設置的目標溫度值之間的溫度差值以及所述液位值、所述壓力值、所述載氣流量值，控制所述加熱帶輸出第一目標功率，以控制所述第一耦合溫度值達到所述目標溫度值。

5.根據權利要求4所述的溫度控制方法，其特征在于，在所述源瓶本體未輸入載氣流量時，所述溫度控制方法還包括：

對所述第一溫度值和所述第二溫度值進行耦合得到第二耦合溫度值；

根據所述第二耦合溫度值與所述目標溫度值之間的溫度差值，控制所述加熱帶輸出第二目標功率，以使所述第二耦合溫度值達到所述目標溫度值。