[發(fā)明專利]一種用于鋰電池?zé)崾Э仡A(yù)警的氣體傳感器及其制備方法

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202210601086.8
• 申請(qǐng)日: 2022-05-30
• 公開（公告）號(hào): CN115047030A
• 公開（公告）日: 2022-09-13
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 馬可貞;沈方平;徐曉苗
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 蘇州芯鎂信電子科技有限公司
• 主分類號(hào): G01N25/20
• 分類號(hào): G01N25/20;G01R31/378;G01K7/16
• 代理公司: 廣州三環(huán)專利商標(biāo)代理有限公司 44202
• 代理人: 方秀琴

1.一種用于鋰電池?zé)崾Э仡A(yù)警的氣體傳感器，其特征在于，包括：基底(100)和橋型結(jié)構(gòu)(200)；

所述基底(100)的功能側(cè)設(shè)置有散熱腔(101)，所述橋型結(jié)構(gòu)(200)懸空設(shè)置在所述散熱腔(101)的腔體開口范圍內(nèi)；

所述橋型結(jié)構(gòu)(200)包括沿遠(yuǎn)離所述散熱腔(101)的方向上依次層疊設(shè)置的第一結(jié)構(gòu)層(201)、加熱電阻層(202)和第二結(jié)構(gòu)層(203)，所述第一結(jié)構(gòu)層(201)靠近所述散熱腔(101)設(shè)置。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于鋰電池?zé)崾Э仡A(yù)警的氣體傳感器，其特征在于，所述用于鋰電池?zé)崾Э仡A(yù)警的氣體傳感器還包括至少一個(gè)設(shè)置于所述基底上的環(huán)境溫度感應(yīng)結(jié)構(gòu)，所述環(huán)境溫度感應(yīng)結(jié)構(gòu)與所述橋型結(jié)構(gòu)(200)相鄰設(shè)置；

所述環(huán)境溫度感應(yīng)結(jié)構(gòu)包括沿遠(yuǎn)離所述基底(100)的方向上依次層疊設(shè)置的第三結(jié)構(gòu)層(301)、溫度電阻層(302)和第四結(jié)構(gòu)層(303)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的用于鋰電池?zé)崾Э仡A(yù)警的氣體傳感器，其特征在于，所述環(huán)境溫度感應(yīng)結(jié)構(gòu)還包括至少兩個(gè)焊盤結(jié)構(gòu)(401)，所述橋型結(jié)構(gòu)(200)中的加熱電阻層(202)的兩端分別與所述至少兩個(gè)焊盤結(jié)構(gòu)(400)連接；

所述焊盤結(jié)構(gòu)(400)設(shè)置在所述第三結(jié)構(gòu)層(301)遠(yuǎn)離所述基底(100)的一側(cè)上。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的用于鋰電池?zé)崾Э仡A(yù)警的氣體傳感器，其特征在于，所述焊盤結(jié)構(gòu)(400)包括電阻焊盤層(401)和金屬保護(hù)層(402)，所述電阻焊盤層(401)設(shè)置于所述第三結(jié)構(gòu)層(301)上，所述金屬保護(hù)層(402)設(shè)置于所述電阻焊盤層(401)上。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的用于鋰電池?zé)崾Э仡A(yù)警的氣體傳感器，其特征在于，所述溫度電阻層(302)的兩端分別與所述至少兩個(gè)焊盤結(jié)構(gòu)(400)連接。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于鋰電池?zé)崾Э仡A(yù)警的氣體傳感器，其特征在于，所述加熱電阻層(202)呈蛇形線布置在所述第一結(jié)構(gòu)層(201)上。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于鋰電池?zé)崾Э仡A(yù)警的氣體傳感器，其特征在于，所述加熱電阻層(202)的厚度為0.1um～2um。

8.根據(jù)權(quán)利要求4所述的用于鋰電池?zé)崾Э仡A(yù)警的氣體傳感器，其特征在于，所述金屬保護(hù)層的材質(zhì)包括金、鉑、銀和鋁中的至少一種。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于鋰電池?zé)崾Э仡A(yù)警的氣體傳感器，其特征在于，所述第一結(jié)構(gòu)層(201)的材質(zhì)包括氧化硅、氮化硅、氧化鋁、磷硅玻璃和硼硅玻璃中的任意一種或幾種。

10.一種用于制備如權(quán)利要求1～9任一項(xiàng)所述的一種用于鋰電池?zé)崾Э仡A(yù)警的氣體傳感器的方法，其特征在于，包括以下步驟：

提供基底(100)；

對(duì)所述基底(100)進(jìn)行薄膜沉積，在所述基底(100)上形成絕熱層；

對(duì)所述絕熱層遠(yuǎn)離所述基底(100)的一側(cè)進(jìn)行金屬薄膜沉積，形成第一金屬薄膜；

對(duì)所述第一金屬薄膜進(jìn)行刻蝕處理，在預(yù)設(shè)位置上形成溫度電阻層(302)、加熱電阻層(202)和電阻焊盤層；

對(duì)所述溫度電阻層(302)和所述加熱電阻層(202)遠(yuǎn)離所述絕熱層的一側(cè)進(jìn)行薄膜沉積，形成保護(hù)層；

對(duì)所述電阻焊盤層401遠(yuǎn)離所述絕熱層的一側(cè)進(jìn)行金屬薄膜沉積，形成第二金屬薄膜；

在所述保護(hù)層上進(jìn)行圖形化處理和刻蝕處理，以形成橋型結(jié)構(gòu)(200)；

對(duì)所述基底(100)上與所述橋型結(jié)構(gòu)(200)對(duì)應(yīng)的區(qū)域進(jìn)行刻蝕處理，以形成散熱腔(101)，得到用于鋰電池?zé)崾Э仡A(yù)警的氣體傳感器；其中，所述橋型結(jié)構(gòu)(200)懸空設(shè)置于所述散熱腔(101)腔體開口處。