[發明專利]射頻電源及其冷卻控制方法

在審

• 申請號: 202210599355.1
• 申請日: 2022-05-30
• 公開（公告）號: CN114980677A
• 公開（公告）日: 2022-08-30
• 發明（設計）人: 李加波;陳虹;賈文華;李光健
• 申請（專利權）人: 北京北方華創微電子裝備有限公司
• 主分類號: H05K7/20
• 分類號: H05K7/20
• 代理公司: 北京天昊聯合知識產權代理有限公司 11112
• 代理人: 彭瑞欣;王婷

1.一種射頻電源，其特征在于，所述射頻電源包括電源組件、冷卻裝置和控制裝置，所述冷卻裝置包括流體通路和設置在所述流體通路上的調節閥，所述流體通路用于與冷源連接，以使所述冷源提供的冷卻液在所述流體通路中流動并吸收所述電源組件產生的熱量，所述調節閥用于調節所述流體通路中所述冷卻液的流量，所述控制裝置用于在所述電源組件為運行狀態時，周期性地檢測所述冷卻裝置的溫度以及所述電源組件的功率；根據所述冷卻裝置的溫度檢測值與預設目標溫度之間的第一溫度差值以及所述電源組件的當前功率與上一檢測周期所述電源組件的功率之間的功率差值，確定所述調節閥開啟程度的第一調節量，并根據所述第一調節量對所述調節閥的開啟程度進行調節；其中，所述第一調節量隨所述第一溫度差值以及所述功率差值的增大而增大，隨所述第一溫度差值以及所述功率差值的減小而減小；

以及，在所述電源組件為非運行狀態時，周期性地檢測所述冷卻裝置的出水溫度、入水溫度以及所述冷卻裝置所在環境的環境濕度；在所述出水溫度高于出水溫度閾值時，降低所述冷卻裝置的可調目標溫度，在所述出水溫度低于或等于所述出水溫度閾值時，根據所述環境濕度確定結露溫度，并在所述入水溫度低于或等于所述結露溫度時提高所述冷卻裝置的可調目標溫度；再根據所述冷卻裝置的溫度檢測值與可調目標溫度之間的第二溫度差值，對所述調節閥的開啟程度進行調節，以使所述冷卻裝置的溫度檢測值趨近于所述可調目標溫度。

2.根據權利要求1所述的射頻電源，其特征在于，所述射頻電源還包括第一溫度傳感器、溫度采集電路、功率傳感器和功率采集電路，所述第一溫度傳感器用于檢測所述冷卻裝置的溫度，所述功率傳感器用于檢測所述電源組件的功率；所述控制裝置用于通過所述溫度采集電路接收所述第一溫度傳感器的檢測結果，并通過所述功率采集電路接收所述功率傳感器的檢測結果；

所述射頻電源還包括第二溫度傳感器、第三溫度傳感器、濕度傳感器和濕度采集電路，所述第二溫度傳感器用于檢測所述冷卻裝置中流體通路入水端的入水溫度，所述第三溫度傳感器用于檢測所述冷卻裝置中流體通路出水端的出水溫度，所述濕度傳感器用于檢測所述射頻電源內部的環境濕度；所述控制裝置還用于通過所述溫度采集電路接收所述第二溫度傳感器和所述第三溫度傳感器的檢測結果，并通過所述濕度采集電路接收所述濕度傳感器的檢測結果。

3.根據權利要求1所述的射頻電源，其特征在于，所述射頻電源還包括驅動電路，所述控制裝置用于控制所述驅動電路對所述調節閥的開啟程度進行調節。

4.根據權利要求1至3中任意一項所述的射頻電源，其特征在于，所述控制裝置預存有所述環境濕度與所述結露溫度之間的對照表，所述控制裝置具體用于基于預存的所述對照表，確定當前所述環境濕度對應的所述結露溫度。

5.一種冷卻控制方法，應用于權利要求1至4中任意一項所述的射頻電源中，所述方法包括：

在所述電源組件為運行狀態時，周期性地檢測所述冷卻裝置的溫度以及所述電源組件的功率；

根據所述冷卻裝置的溫度檢測值與預設目標溫度之間的第一溫度差值以及所述電源組件的當前功率與上一檢測周期所述電源組件的功率之間的功率差值，確定所述調節閥開啟程度的第一調節量，其中，所述第一調節量隨所述第一溫度差值以及所述功率差值的增大而增大，隨所述第一溫度差值以及所述功率差值的減小而減小；

根據所述第一調節量對所述調節閥的開啟程度進行調節；以及

在所述電源組件為非運行狀態時，周期性地檢測所述冷卻裝置的出水溫度、入水溫度以及所述冷卻裝置所在環境的環境濕度；

若所述出水溫度高于出水溫度閾值，則降低所述冷卻裝置的可調目標溫度，若所述出水溫度低于或等于所述出水溫度閾值，則根據所述環境濕度確定結露溫度，并在所述入水溫度低于或等于所述結露溫度時，提高所述冷卻裝置的可調目標溫度；

根據所述冷卻裝置的溫度檢測值與可調目標溫度之間的第二溫度差值，對所述調節閥的開啟程度進行調節，以使所述冷卻裝置的溫度檢測值趨近于所述可調目標溫度。