[發(fā)明專利]一種用于評估半導(dǎo)體設(shè)備制造產(chǎn)能的分析系統(tǒng)

在審

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• 申請日: 2022-05-27
• 公開（公告）號: CN114926051A
• 公開（公告）日: 2022-08-19
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 師偉堂;邱利東;巫文豪
• 申請（專利權(quán)）人: 上海哥瑞利軟件股份有限公司
• 主分類號: G06Q10/06
• 分類號: G06Q10/06;G06Q50/04
• 代理公司: 上海政濟知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 31479
• 代理人: 羅子芳

本發(fā)明提供了一種用于評估半導(dǎo)體設(shè)備制造產(chǎn)能的分析系統(tǒng)，包括：產(chǎn)品進出時間獲取模塊、生產(chǎn)時長計算模塊、產(chǎn)能評估模塊、信息關(guān)聯(lián)標(biāo)注模塊、影響產(chǎn)能提升因素分析模塊；其中，產(chǎn)品進出時間獲取模塊獲取各類型產(chǎn)品在半導(dǎo)體設(shè)備中的各生產(chǎn)單元的進出時間；生產(chǎn)時長計算模塊根據(jù)進出時間計算出各類型產(chǎn)品在設(shè)備的生產(chǎn)單元中所需要的生產(chǎn)時長；產(chǎn)能評估模塊根據(jù)生產(chǎn)時長評估出各產(chǎn)品在該半導(dǎo)體設(shè)備的預(yù)估產(chǎn)能；信息關(guān)聯(lián)標(biāo)注模塊將產(chǎn)品類型、設(shè)備、生產(chǎn)制程、該制程下設(shè)備中的生產(chǎn)單元、生產(chǎn)時長、已知穩(wěn)定產(chǎn)能、預(yù)估產(chǎn)能、實際產(chǎn)能進行關(guān)聯(lián)標(biāo)注；影響產(chǎn)能提升因素分析模塊基于關(guān)聯(lián)標(biāo)注后的信息數(shù)據(jù)分析出是否有影響產(chǎn)能的關(guān)鍵生產(chǎn)單元。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及半導(dǎo)體生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種用于評估半導(dǎo)體設(shè)備制造產(chǎn)能的分析系統(tǒng)。

背景技術(shù)

半導(dǎo)體集成電路制造過程中半導(dǎo)體前導(dǎo)、封裝、測試等階段的產(chǎn)能評估對于半導(dǎo)體生產(chǎn)是極其重要的。精確的產(chǎn)能預(yù)測及產(chǎn)能差異的原因分析是困擾生產(chǎn)管理者的關(guān)鍵問題，產(chǎn)能問題跟設(shè)備本身硬件相關(guān)，也和制造工藝有這密切的關(guān)聯(lián)。半導(dǎo)體生產(chǎn)工段眾多，半導(dǎo)體設(shè)備中包括若干個生產(chǎn)單元，快速精確的評估設(shè)備產(chǎn)能以及尋找設(shè)備產(chǎn)能異常的根本原因是對生產(chǎn)管理者的重大挑戰(zhàn)，也影響著半導(dǎo)體制造的成本和利潤的關(guān)鍵指標(biāo)。

半導(dǎo)體制造中產(chǎn)能的計算依賴于手動獲取設(shè)備生產(chǎn)日志，通過日志人工分析各個設(shè)備的產(chǎn)能，并對整個產(chǎn)線的設(shè)備做逐個計算，最終獲得產(chǎn)能數(shù)據(jù)和影響產(chǎn)能的關(guān)鍵設(shè)備和制程站點。繁瑣的傳統(tǒng)分析方法耗費大量的人工分析時間，隨著半導(dǎo)體制造自動化程度越來越高，生產(chǎn)中的數(shù)據(jù)量越來越大，傳統(tǒng)的分析方法已經(jīng)無法滿足快速的生產(chǎn)規(guī)劃需求。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明是為了解決上述問題而進行的，目的在于提供一種用于評估半導(dǎo)體設(shè)備制造產(chǎn)能的分析系統(tǒng)。

本發(fā)明提供了一種用于評估半導(dǎo)體設(shè)備制造產(chǎn)能的分析系統(tǒng)，其特征在于，包括：產(chǎn)品進出時間獲取模塊、生產(chǎn)時長計算模塊、產(chǎn)能評估模塊、信息關(guān)聯(lián)標(biāo)注模塊、影響產(chǎn)能提升因素分析模塊；其中，產(chǎn)品進出時間獲取模塊獲取各類型產(chǎn)品在半導(dǎo)體設(shè)備中的各生產(chǎn)單元的進出時間；生產(chǎn)時長計算模塊根據(jù)進出時間計算出各類型產(chǎn)品在設(shè)備的生產(chǎn)單元中所需要的生產(chǎn)時長；產(chǎn)能評估模塊根據(jù)生產(chǎn)時長評估出各產(chǎn)品在該半導(dǎo)體設(shè)備的預(yù)估產(chǎn)能；信息關(guān)聯(lián)標(biāo)注模塊將產(chǎn)品類型、設(shè)備、生產(chǎn)制程、該制程下設(shè)備中的生產(chǎn)單元、生產(chǎn)時長、已知穩(wěn)定產(chǎn)能、預(yù)估產(chǎn)能、實際產(chǎn)能進行關(guān)聯(lián)標(biāo)注；影響產(chǎn)能提升因素分析模塊基于關(guān)聯(lián)標(biāo)注后的信息數(shù)據(jù)分析出是否有影響產(chǎn)能的關(guān)鍵生產(chǎn)單元。

進一步，在本發(fā)明提供的用于評估半導(dǎo)體設(shè)備制造產(chǎn)能的分析系統(tǒng)中，還可以具有這樣的特征：其中，生產(chǎn)時長計算模塊通過如下公式計算產(chǎn)品在設(shè)備的生產(chǎn)單元Xi中的所需要的生產(chǎn)時長：

t_i＝產(chǎn)品出生產(chǎn)單元X_i的時間點-產(chǎn)品進入生產(chǎn)單元X_i的時間點。

進一步，本發(fā)明提供了一種用于評估半導(dǎo)體設(shè)備制造產(chǎn)能的分析系統(tǒng)，具有這樣的特征，包括：產(chǎn)能評估模塊通過通過PLS算法獲得預(yù)估產(chǎn)能，包括如下步驟流程：

1)建立該產(chǎn)品的已知穩(wěn)定產(chǎn)能Y_b與所有n個生產(chǎn)單元X_i對應(yīng)的生產(chǎn)時間t_i的PLS模型關(guān)系，該模型關(guān)系表示為:

穩(wěn)定產(chǎn)能Y_b＝f(t₁，t₂，t₃，...，t_i，...，t_n)，其中f(*)表示PLS模型關(guān)系；

2)根據(jù)模型關(guān)系，輸入預(yù)估產(chǎn)品p的生產(chǎn)時長，得出該產(chǎn)品的預(yù)估產(chǎn)能Yp：