[發(fā)明專利]一種用于晶圓鍵合的氣液增壓系統(tǒng)的工作方法

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202210575426.4
• 申請日: 2022-05-25
• 公開（公告）號: CN114962365A
• 公開（公告）日: 2022-08-30
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 唐宏波;陳洪;劉曉蕾;李建飛
• 申請（專利權(quán)）人: 西北電子裝備技術(shù)研究所（中國電子科技集團(tuán)公司第二研究所）
• 主分類號: F15B11/16
• 分類號: F15B11/16;F15B1/26;F15B15/14;F15B21/041;F15B21/02
• 代理公司: 山西華炬律師事務(wù)所 14106
• 代理人: 陳奇

1.一種用于晶圓鍵合的氣液增壓系統(tǒng)的工作方法，包括氣源過濾器（1）、增壓缸（7）、比例閥、方向控制閥、調(diào)壓閥、液壓油壺（6）和作動器（9），在作動器（9）的缸體側(cè)壁上，從上向下，分別設(shè)置有入氣口（9.1）、入油口（9.2）、回程氣口（9.3）和預(yù)壓氣口（9.4）,在作動器（9）缸體內(nèi)活塞桿上，分別設(shè)置有頂部活塞、中部活塞和下部活塞，在頂部活塞上方設(shè)置有缸體入氣內(nèi)腔，在頂部活塞與中部活塞之間設(shè)置有缸體入油內(nèi)腔，在中部活塞與下部活塞之間設(shè)置有缸體回程氣內(nèi)腔，在下部活塞下方設(shè)置有預(yù)壓氣內(nèi)腔；入氣口（9.1）與缸體入氣內(nèi)腔連通在一起，入油口（9.2）與缸體入油內(nèi)腔連通在一起，缸體回程氣內(nèi)腔與回程氣口（9.3）連通在一起，預(yù)壓氣內(nèi)腔與預(yù)壓氣口（9.4）連通在一起；入氣口（9.1）與第一比例閥（2）的輸出口連通在一起，第一比例閥（2）的輸入口與氣源過濾器（1）的輸出口連通在一起；入油口（9.2）與增壓缸（7）的液壓油輸出口連通在一起，增壓缸（7）的壓力氣體輸入口，通過第二比例閥（4）與氣源過濾器（1）的輸出口連通在一起，在增壓缸（7）的氣壓調(diào)節(jié)口上連接有調(diào)速閥（5），調(diào)速閥（5）的輸入端通過第一調(diào)壓閥（3）與氣源過濾器（1）的輸出口連通在一起；回程氣口（9.3）與第二調(diào)壓閥（10）的輸出口連通在一起，第二調(diào)壓閥（10）的輸入口，通過第二方向控制閥（12）與氣源過濾器（1）的輸出口連通在一起；預(yù)壓氣口（9.4）與第一方向控制閥（11）的輸出口連通在一起，第一方向控制閥（11）的輸入口與氣源過濾器（1）的輸出口連通在一起；其特征在于以下步驟：

當(dāng)需要增壓缸（7）的活塞輸出壓力在0-5000牛頓時，關(guān)斷第一調(diào)壓閥（3）、第二比例閥（4）、第二調(diào)壓閥（10）和第二方向控制閥（12），打開第一比例閥（2）和第一方向控制閥（11），增壓缸（7）在氣源過濾器（1）的輸出氣體作用下，調(diào)節(jié)提供活塞輸出的晶圓鍵合壓力；

當(dāng)需要增壓缸（7）的活塞輸出壓力大于5000牛頓時，關(guān)斷第一比例閥（2）和第一方向控制閥（11），打開第一調(diào)壓閥（3）、第二比例閥（4）、第二調(diào)壓閥（10）和第二方向控制閥（12），通過液壓增壓，調(diào)節(jié)提供活塞輸出的晶圓鍵合壓力。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于晶圓鍵合的氣液增壓系統(tǒng)的工作方法，其特征在于，在增壓缸（7）上連接有液壓油壺（6）；在增壓缸（7）的液壓油輸出口上連接有液壓壓力測試表（8）。