[發明專利]一種芯片藍膜的生產裝置

在審

• 申請號: 202210571939.8
• 申請日: 2022-05-24
• 公開（公告）號: CN114801224A
• 公開（公告）日: 2022-07-29
• 發明（設計）人: 董新根;盧志強
• 申請（專利權）人: 深圳市金橙半導體科技有限公司
• 主分類號: B29C65/56
• 分類號: B29C65/56;B29C65/78;B26F1/38;B32B38/10
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種芯片藍膜的生產裝置，包括底座(1)，其特征在于：所述底座(1)的頂部設置有外環座(2)與內環座(3)，且位于兩者之間設置有取環機構，所述底座(1)的頂部設置有工作臺(5)，所述工作臺(5)的頂部設置有數組真空吸盤(501)，所述工作臺(5)上滑動設置有滑動臺(503)，且滑動臺(503)的底部設置有頂起機構(6)，所述底座(1)的頂部設置有支撐座(502)，所述支撐座(502)內側位于滑動臺(503)的頂部設置有與其相互配合的上蓋(507)，所述底座(1)的頂部一側設置有取膜機構(4)，且位于取膜機構(4)處設置有成品臺(7)。

2.根據權利要求1所述的一種芯片藍膜的生產裝置，其特征在于：所述支撐座(502)的頂部分別設置有壓膜氣缸(504)與壓環氣缸(505)，且壓膜氣缸(504)與壓環氣缸(505)的輸出端分別貫穿支撐座(502)連接有壓膜蓋(509)與卡外環及壓環蓋。

3.根據權利要求1所述的一種芯片藍膜的生產裝置，其特征在于：所述滑動臺(503)的外側設置有與壓膜蓋(509)配合的切割刀(506)，且位于切割刀(506)的外側設置有切割刀保護罩(508)。

4.根據權利要求1所述的一種芯片藍膜的生產裝置，其特征在于：所述頂起機構(6)包括下馬達(601)、轉動軸(602)、滑動板(603)與頂桿(604)，下馬達(601)的頂部設置有轉動軸(602)，且位于轉動軸(602)的頂部設置有滑動板(603)，所述滑動板(603)的頂部設置有頂桿(604)，且頂桿(604)貫穿出頂起機構(6)。

5.根據權利要求1所述的一種芯片藍膜的生產裝置，其特征在于：所述取膜機構(4)包括取膜支撐桿(401)、取膜手臂升降電機(402)與取膜手臂(403)，取膜手臂升降電機(402)位于取膜支撐桿(401)的頂部，且取膜支撐桿(401)的底部貫穿底座(1)設置有取膜旋轉電機(9)，所述取膜支撐桿(401)上下滑動連接有取膜手臂(403)。

6.根據權利要求1所述的一種芯片藍膜的生產裝置，其特征在于：所述外環座(2)與內環座(3)的頂部分別滑動設置有外環推出滑動板(201)與內環推出滑動板(301)。

7.根據權利要求1所述的一種芯片藍膜的生產裝置，其特征在于：所述取環機構包括取環支撐桿(14)、取環旋轉電機(10)、取環手臂升降電機(13)與取環手臂(11)，取環手臂升降電機(13)位于取環支撐桿(14)的頂部，且取環手臂(11)可在取環支撐桿(14)外壁進行上下滑動。

8.根據權利要求1所述的一種芯片藍膜的生產裝置，其特征在于：所述成品臺(7)的頂部設置有放置臺(16)，所述放置臺(16)上設置有數組限位桿(17)，且位于限位桿(17)上連接有限位塊(18)。

9.根據權利要求1所述的一種芯片藍膜的生產裝置，其特征在于：所述底座(1)的頂部設置有氣缸夾爪(8)，且位于取膜機構(4)處設置有原料倉(15)。

10.根據權利要求2所述的一種芯片藍膜的生產裝置，其特征在于：所述壓膜蓋(509)的頂部貫穿支撐座(502)設置有數組導向桿。