[發(fā)明專利]一種真空鍍膜反光產(chǎn)品及其制備工藝

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202210571932.6
• 申請(qǐng)日: 2022-05-24
• 公開（公告）號(hào): CN114737154B
• 公開（公告）日: 2023-06-23
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王建峰
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 深圳市嘉德真空光電有限公司
• 主分類號(hào): C23C14/14
• 分類號(hào): C23C14/14;C23C14/26;C23C14/50
• 代理公司: 北京廣技專利代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 11842
• 代理人: 安琪

1.一種真空鍍膜反光產(chǎn)品制備工藝，其特征在于，包括以下步驟：

步驟1：將待鍍膜產(chǎn)品（1）放入真空室（2）內(nèi)，使用連接組件將待鍍膜產(chǎn)品（1）固定在靶材本體（3）外部；

步驟2：?jiǎn)?dòng)旋轉(zhuǎn)組件，旋轉(zhuǎn)組件通過連接組件帶動(dòng)待鍍膜產(chǎn)品（1）轉(zhuǎn)動(dòng)；

步驟3：?jiǎn)?dòng)靶材加熱組件對(duì)靶材本體（3）加熱，靶材本體（3）蒸發(fā)產(chǎn)生的金屬氣體沉積在待鍍膜產(chǎn)品（1）表面形成反光膜（4）；

在所述步驟1中，所述真空室（2）設(shè)置在真空鍍膜機(jī)（5）內(nèi)，所述真空鍍膜機(jī)（5）外部設(shè)置真空泵（6），所述真空泵（6）輸入端通過抽真空接管（7）與所述真空室（2）內(nèi)部連通，將待鍍膜產(chǎn)品（1）放置在真空室（2）內(nèi)后，啟動(dòng)真空泵（6）對(duì)真空室（2）內(nèi)進(jìn)行抽真空，直至真空室（2）內(nèi)的真空度到達(dá)預(yù)設(shè)真空度范圍內(nèi)時(shí)，關(guān)閉真空泵（6）；

在所述步驟3中，所述靶材加熱組件包括：

支架（8），所述支架（8）一端與所述真空室（2）左側(cè)內(nèi)壁固定連接；

底座（9），所述底座（9）一端與所述支架（8）遠(yuǎn)離所述真空室（2）內(nèi)壁一端固定連接，所述靶材本體（3）放置在所述底座（9）上表面；

空腔（10），所述空腔（10）設(shè)置在所述底座（9）內(nèi)部，所述空腔（10）內(nèi)設(shè)置電熱絲（11），所述電熱絲（11）與空腔（10）上端內(nèi)壁固定連接，所述電熱絲（11）與外部電源電性連接；

擋板（12），所述擋板（12）設(shè)置有兩個(gè)，兩個(gè)所述擋板（12）對(duì)稱設(shè)置在所述底座（9）上表面左右兩端，所述擋板（12）上端相互靠近一側(cè)設(shè)置為斜面；

所述真空室（2）內(nèi)還設(shè)置升降組件，所述升降組件包括：

第一電機(jī)（14），所述第一電機(jī)（14）固定設(shè)置在所述真空室（2）底壁；

螺桿（15），所述螺桿（15）設(shè)置在所述第一電機(jī)（14）上端，所述螺桿（15）一端與所述第一電機(jī)（14）輸出端固定連接，所述螺桿（15）另一端與所述真空室（2）上端內(nèi)壁轉(zhuǎn)動(dòng)連接；

滑臺(tái)（16），所述滑臺(tái)（16）設(shè)置在所述螺桿（15）上，所述滑臺(tái)（16）與所述螺桿（15）螺紋傳動(dòng)連接，所述滑臺(tái)（16）右端與所述真空室（2）右側(cè)內(nèi)壁滑動(dòng)連接，所述滑臺(tái)（16）左端從右往左依次設(shè)置旋轉(zhuǎn)組件與連接組件；

在所述步驟1中，所述連接組件包括：

連接管（17），所述連接管（17）設(shè)置為管狀結(jié)構(gòu)，所述連接管（17）左端設(shè)置開口，所述連接管（17）右端設(shè)置為封閉端，所述連接管（17）上下兩端側(cè)壁均設(shè)置通孔（18）；

電動(dòng)伸縮桿（19），所述電動(dòng)伸縮桿（19）設(shè)置在所述連接管（17）內(nèi)，所述電動(dòng)伸縮桿（19）與外部電源電性連接，所述電動(dòng)伸縮桿（19）一端與所述連接管（17）右端內(nèi)壁固定連接，所述電動(dòng)伸縮桿（19）另一端固定設(shè)置鉸接座（20）；

若干固定座（21），若干所述固定座（21）對(duì)稱設(shè)置在所述連接管（17）上下兩側(cè)內(nèi)壁，若干所述固定座（21）等間隔設(shè)置，所述固定座（21）與所述連接管（17）內(nèi)壁固定連接；

第一轉(zhuǎn)軸（22），所述第一轉(zhuǎn)軸（22）設(shè)置在所述固定座（21）前端，所述第一轉(zhuǎn)軸（22）后端與所述固定座（21）前側(cè)壁轉(zhuǎn)動(dòng)連接；

轉(zhuǎn)動(dòng)盤（23），所述轉(zhuǎn)動(dòng)盤（23）固定設(shè)置在所述第一轉(zhuǎn)軸（22）前端，相鄰兩個(gè)所述轉(zhuǎn)動(dòng)盤（23）之間設(shè)置第一連接桿（24），所述第一連接桿（24）兩端分別與相鄰兩個(gè)所述轉(zhuǎn)動(dòng)盤（23）偏心位置鉸接連接，且相鄰兩個(gè)第一連接桿（24）關(guān)于同一轉(zhuǎn)動(dòng)盤（23）圓心呈中心對(duì)稱設(shè)置；

固定柱（25），所述固定柱（25）設(shè)置在所述轉(zhuǎn)動(dòng)盤（23）外周，所述固定柱（25）一端與所述轉(zhuǎn)動(dòng)盤（23）外周固定連接，所述固定柱（25）遠(yuǎn)離所述轉(zhuǎn)動(dòng)盤（23）一端設(shè)置滑動(dòng)孔，所述滑動(dòng)孔內(nèi)滑動(dòng)設(shè)置滑動(dòng)柱（26），所述滑動(dòng)柱（26）遠(yuǎn)離所述轉(zhuǎn)動(dòng)盤（23）一端設(shè)置電加熱板（27）；

第一彈簧（28），所述第一彈簧（28）設(shè)置在所述滑動(dòng)孔內(nèi)，所述第一彈簧（28）一端與所述滑動(dòng)孔內(nèi)壁固定連接，所述第一彈簧（28）另一端與所述滑動(dòng)柱（26）遠(yuǎn)離所述電加熱板（27）一端固定連接；

兩個(gè)第二連接桿（29），兩個(gè)所述第二連接桿（29）對(duì)稱設(shè)置在所述鉸接座（20）上下兩端，所述第二連接桿（29）一端與所述鉸接座（20）鉸接連接；

第三連接桿（30），所述第三連接桿（30）設(shè)置在最右側(cè)的所述固定柱（25）與所述第二連接桿（29）之間，所述第三連接桿（30）一端與所述第二連接桿（29）遠(yuǎn)離所述鉸接座（20）一端鉸接連接，所述第三連接桿（30）另一端與最右側(cè)的所述固定柱（25）外壁固定連接。