[發(fā)明專利]一種銀合金鍵合絲及其制造方法在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 202210567250.8 | 申請日: | 2022-05-24 |
| 公開(公告)號: | CN114657408A | 公開(公告)日: | 2022-06-24 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 鄭磊;孫君陽;陳周勇 | 申請(專利權(quán))人: | 寧波康強(qiáng)電子股份有限公司 |
| 主分類號: | C22C5/06 | 分類號: | C22C5/06;B21C37/04;H01L21/48;H01L23/49 |
| 代理公司: | 寧波市鄞州盛飛專利代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 33243 | 代理人: | 洪珊珊 |
| 地址: | 315105 浙江省寧*** | 國省代碼: | 浙江;33 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 一種 合金 鍵合絲 及其 制造 方法 | ||
本發(fā)明屬于合金材料技術(shù)領(lǐng)域,具體涉及一種銀合金鍵合絲及其制造方法。本發(fā)明銀合金鍵合絲包括芯線和包覆在芯線表面的鍍金層,芯線含有以下質(zhì)量百分比的組分:10~30%金,0.1~5.0%鈀,5~100ppm鈣,5~100ppm鈰,其余為銀,鍍金層的金含量為芯線中金含量總質(zhì)量的3~5%。通過熔鑄、拉絲、鍍金和退火工藝,得到具有良好力學(xué)性能和穩(wěn)定性的銀合金鍵合絲,可以在不更改或升級設(shè)備的情況下,直接用于中高端LED封裝和IC封裝。且傳統(tǒng)中高端產(chǎn)品封裝用的鍵合絲中金含量需達(dá)到60%~80%以上,而本發(fā)明銀合金鍵合絲中的金含量降低至10~30%,大大降低了成本。
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明屬于合金材料技術(shù)領(lǐng)域,具體涉及一種銀合金鍵合絲及其制造方法。
背景技術(shù)
鍵合絲作為電子封裝重要的基礎(chǔ)材料之一,其功能是實(shí)現(xiàn)半導(dǎo)體芯片與引腳的電連接,起著芯片與外界電流信號導(dǎo)入及導(dǎo)出的作用。電子產(chǎn)品小型化、模塊化以及高集成化的發(fā)展趨勢,要求鍵合絲具有更加優(yōu)異的力學(xué)性能和加工性能等,理想的鍵合絲材料應(yīng)具備導(dǎo)電導(dǎo)熱性能優(yōu)異、抗氧化性強(qiáng)、可塑性好以及不形成有害的金屬間化合物的特點(diǎn)。
鍵合絲目前主要由金絲、銅絲、鋁絲、銀絲、貴/賤金屬復(fù)合絲材組成,其中鋁絲、銅絲主要用于中低檔電路,貴金屬絲材占有中高檔產(chǎn)品超過80%的份額。金鍵合絲機(jī)械強(qiáng)度高、抗氧化性好、成球性穩(wěn)定、鍵合工藝簡單,在傳統(tǒng)電子封裝引線鍵合領(lǐng)域被廣泛使用,但是成本較高,與鋁板鍵合時容易出現(xiàn)紫斑和白斑,在界面處形成空洞,增大該處電阻,從而影響整個電子器件的使用。
相較于傳統(tǒng)鍵合金絲,銀鍵合絲價(jià)格低廉,具有出色的力學(xué)和電學(xué)特性,能夠在各種高端超微間距設(shè)備上使用,吸光反光性好且亮度高,可以在LED及部分IC(集成電路)封裝應(yīng)用上逐步取代金絲,是未來電子封裝高集成、高密度、高速度發(fā)展最有潛力的材料之一。然而,銀絲質(zhì)軟,本身強(qiáng)度較低,在高速鍵合條件下易斷線,又易被硫化、氧化,電敏感性高,在高密度、遠(yuǎn)距離鍵合時可能會出現(xiàn)塌絲和銀遷移的情況,且其延展性較差,很難加工成微米級細(xì)絲,多元素復(fù)合添加可以提升鍵合銀絲的力學(xué)性能、抗氧化抗硫化性能和加工性能。加入微量元素,可以減少金屬間化合物的形成,同時阻止界面氧化物和裂紋的產(chǎn)生,降低了結(jié)合性能的退化,使其結(jié)合性能和金絲一樣穩(wěn)定。
中國專利申請文件(公開號CN101667566A)公開了一種以銀絲線為基材、表面覆有純金防氧化保護(hù)層的鍵合絲線產(chǎn)品,按質(zhì)量百分比金占1.8%~10.0%,其余為銀,材料成本不到純金鍵合絲線的1/3,僅用于低端LED封裝。而傳統(tǒng)中高端LED封裝用的鍵合絲中金含量需達(dá)到60%~80%以上,成本較高。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供一種具有良好力學(xué)性能和穩(wěn)定性的銀合金鍵合絲,可以在不更改焊線設(shè)備的情況下,替代純金絲封裝應(yīng)用的中高端LED封裝和IC封裝。
本發(fā)明技術(shù)方案中的一種銀合金鍵合絲,包括芯線和包覆在芯線表面的鍍金層,芯線含有以下質(zhì)量百分比的組分:10~30%金,0.1~5.0%鈀,5~100ppm鈣,5~100ppm鈰,其余為銀,鍍金層的金含量為芯線中金含量總質(zhì)量的3~5%。
銀(Ag)與金(Au)在液態(tài)和固態(tài)都能無限固溶,形成置換型固溶體,使合金基體晶格發(fā)生畸變,產(chǎn)生強(qiáng)化作用,相比傳統(tǒng)鍵合金絲,機(jī)械性能好,可靠性高,抗振動破斷性能優(yōu)異,導(dǎo)電性、散熱性、反光性好,亮度高,且Ag比Au價(jià)格便宜,使用大量Ag可以大幅度降低成本,鈀可以減少銀原子的遷移,提高抗氧化能力、抗硫化能力和可靠性,鈣可以提高材料的結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性和強(qiáng)度,與鈰一起作為微量元素加入,可以減少金屬間化合物的形成,改善線材結(jié)構(gòu)組織,增強(qiáng)線材與芯片及基板的粘附性能,提升線材機(jī)械性能,同時阻止了界面氧化物和裂紋的產(chǎn)生,降低頸部短線的幾率,使所得銀合金鍵合絲的結(jié)合性能和金絲一樣穩(wěn)定。鍵合絲芯線中將金含量控制在10-30%,可以大大提高鍵合絲的可靠性和機(jī)械性能,滿足中高端產(chǎn)品(如中高端LED封裝和IC封裝)的高可靠性要求。若芯線中金含量過多則生產(chǎn)成本較大,但若金含量過少,則銀含量較多,嚴(yán)重影響鍵合絲的機(jī)械性能、抗氧化性能和抗硫化性能,導(dǎo)致鍵合絲的穩(wěn)定性變差。
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