[發明專利]一種晶體自動定向測量裝置和測量方法

有效

• 申請號: 202210565668.5
• 申請日: 2022-05-23
• 公開（公告）號: CN114910496B
• 公開（公告）日: 2023-09-22
• 發明（設計）人: 甄茹葶;甄偉
• 申請（專利權）人: 丹東奇偉企業管理咨詢有限公司
• 主分類號: G01N23/207
• 分類號: G01N23/207
• 代理公司: 上海市錦天城律師事務所 31273
• 代理人: 汪妍瑜

1.一種晶體自動定向測量裝置，具有底板、弧形導軌、X射線發射組件、接收組件、傳動機構、控制系統以及位置記錄裝置，其特征在于：所述弧形導軌安裝在所述底板上，并在所述底板左右兩邊對稱布置，所述X射線發射組件以及所述接收組件通過所述傳動機構能夠在所述弧形導軌上沿圓弧方向滑動，所述X射線發射組件具有X射線發射器和發射器連接板，所述接收組件具有接收器和接收器連接板，所述控制系統控制所述傳動機構運動，所述位置記錄裝置能夠記錄所述X射線發射器以及所述接收器的位置信息；

所述傳動機構具有齒形帶和與其配合的同步帶輪，所述發射器連接板和所述接收器連接板上都分別安裝有電機、同步帶輪，所述同步帶輪連接電機，所述傳動機構還包括兩個張緊輥，所述張緊輥一端固定在所述發射器連接板上，所述齒形帶穿過所述張緊輥繞設在所述同步帶輪上，所述齒形帶在與所述張緊輥、所述同步帶輪接觸的位置呈現“Ω”形狀，所述張緊輥在所述發射器連接板上的連接孔為腰型孔，所述張緊輥在所述發射器連接板上的位置可調節，使得所述張緊輥與所述同步帶輪之間的間距可以微調；

所述位置記錄裝置是磁柵系統；所述磁柵系統包含磁柵頭和弧形磁柵條；所述發射器連接板和所述接收器連接板上還都分別安裝磁柵頭支架，所述磁柵頭安裝在所述磁柵頭支架上；所述弧形磁柵條固定在所述底板上，所述弧形磁柵條與所述弧形導軌對應，并與所述弧形導軌具有相同的圓心，所述磁柵頭能夠隨所述X射線發射器以及所述接收器的移動而移動，通過所述磁柵頭和所述弧形磁柵條配合能夠精確記錄所述X射線發射器以及所述接收器的位置信息。

2.根據權利要求1所述的晶體自動定向測量裝置，其特征在于：所述晶體自動定向測量裝置還包括定位組件，其中所述定位組件包含非接觸式傳感定位器和/或接觸式彈性探針定位器。

3.根據權利要求2所述的晶體自動定向測量裝置，其特征在于：所述接觸式彈性探針定位器包含殼體、探針、彈性部件以及位移傳感器，所述彈性部件設置在所述殼體內部，所述探針與所述彈性部件連接，并從所述殼體一端伸出，當所述探針頂端受壓時，將壓力傳遞給所述彈性部件，使得所述彈性部件壓縮，從而使得與所述彈性部件相連的所述探針頂端回縮，所述位移傳感器能夠實時反饋探針頂端位置。

4.根據權利要求2所述的晶體自動定向測量裝置，其特征在于：所述非接觸式傳感定位器具體為在所述底板上通過支架安裝固定的激光測距儀，所述激光測距儀距離圓心點位置為預設的固定值，在定位工件時，工件可緩慢朝圓心點位置移動，所述激光測距儀發射的激光照射到工件端面，通過微調工件位置使得所述激光測距儀與工件之間距離與所述預設的固定值相同。

5.一種應用于權利要求1-4任一項所述的晶體自動定向測量裝置的晶體自動定向測量方法，其特征在于，通過定位組件將工件調節到位，使所述工件被測表面與所述弧形導軌圓心重合；

電機帶動所述X射線發射器和所述接收器在所述弧形導軌上運動；

運動時所述X射線發射器向所述工件被測表面發出X射線，所述接收器接收對應的衍射信號，并測量接收的衍射信號強度；

當衍射信號強度最大時，所述位置記錄裝置記錄所述X射線發射器和所述接收器的位置信息；

系統計算衍射信號強度最大時，所述X射線發射器和所述接收器運動的角度值，并最終獲得所述工件的晶向角度。