[發明專利]一種氣體流場均勻性檢測系統及方法

在審

• 申請號: 202210564195.7
• 申請日: 2022-05-23
• 公開（公告）號: CN115201057A
• 公開（公告）日: 2022-10-18
• 發明（設計）人: 張南;王鑫;吳彩庭;劉自然;毛朝斌;羅騫
• 申請（專利權）人: 季華實驗室
• 主分類號: G01N7/00
• 分類號: G01N7/00;G01N9/36;G01N33/00
• 代理公司: 佛山市海融科創知識產權代理事務所(普通合伙) 44377
• 代理人: 黃家豪

1.一種氣體流場均勻性檢測系統，用于檢測外延設備的氣體流場的均勻性，包括驅動組件（1），其特征在于，所述氣體流場均勻性檢測系統還包括：

檢測盤（2），其包括承載臺（21）、氣壓傳感器（22）和至少一種氣體濃度傳感器（23），所述氣壓傳感器（22）和所述氣體濃度傳感器（23）均設置在所述承載臺（21）上，所述氣壓傳感器（22）用于采集生成氣壓信息，所述氣體濃度傳感器（23）用于采集生成對應的原料氣體的濃度信息；

控制器（3），與所述氣壓傳感器（22）、所述氣體濃度傳感器（23）和所述驅動組件（1）電性連接，用于控制所述驅動組件（1）間隙性地驅動所述承載臺（21）旋轉預設的第一角度，還用于根據所述氣壓傳感器（22）在不同位置采集生成的所述氣壓信息檢測混合氣體是否均勻，還用于根據所述氣體濃度傳感器（23）在不同位置采集生成的所述濃度信息檢測對應的所述原料氣體是否均勻。

2.根據權利要求1所述的氣體流場均勻性檢測系統，其特征在于，所述根據所述氣壓傳感器（22）在不同位置采集生成的所述氣壓信息檢測混合氣體是否均勻的過程包括：

根據預設的第一溫度信息和所述氣壓傳感器（22）在不同位置采集生成的所述氣壓信息獲取不同位置的第一分子數密度信息；

根據所述第一分子數密度信息檢測所述混合氣體是否均勻。

3.根據權利要求1所述的氣體流場均勻性檢測系統，其特征在于，所述氣體流場均勻性檢測系統還包括溫度傳感器（24），所述溫度傳感器（24）設置在所述承載臺（21）上，所述溫度傳感器（24）用于采集生成第二溫度信息，所述根據所述氣壓傳感器（22）在不同位置采集生成的所述氣壓信息檢測混合氣體是否均勻的過程包括：

根據所述氣壓傳感器（22）在不同位置采集生成的所述氣壓信息和所述溫度傳感器（24）在不同位置采集生成的所述第二溫度信息獲取不同位置的第一分子數密度信息；

根據所述第一分子數密度信息檢測混合氣體是否均勻。

4.根據權利要求1所述的氣體流場均勻性檢測系統，其特征在于，所述氣體濃度傳感器（23）的種類為多種，所述根據所述氣體濃度傳感器（23）在不同位置采集生成的所述濃度信息檢測對應的所述原料氣體是否均勻的過程包括：

根據多種所述氣體濃度傳感器（23）在不同位置采集生成的濃度信息獲取多種所述原料氣體的第一濃度比例信息；

根據所述第一濃度比例信息檢測所述原料氣體是否均勻。

5.根據權利要求4所述的氣體流場均勻性檢測系統，其特征在于，所述外延設備包括多種原料氣體提供組件（4），多種所述原料氣體提供組件（4）分別用于提供對應的所述原料氣體，所述控制器（3）還用于根據所述第一濃度比例信息、預設的第二濃度比例信息和預設的第一臨界值調節所述原料氣體提供組件（4）提供的所述原料氣體的濃度，以使所述第一濃度比例信息與所述第二濃度比例信息的差值的絕對值小于等于所述第一臨界值。

6.根據權利要求1所述的氣體流場均勻性檢測系統，其特征在于，所述承載臺（21）為圓盤狀，所述氣壓傳感器（22）和所述氣體濃度傳感器（23）設置在所述承載臺（21）的頂部或底部。

7.根據權利要求6所述的氣體流場均勻性檢測系統，其特征在于，每種所述氣體濃度傳感器（23）的數量為2-6個，每種所述氣體濃度傳感器（23）徑向等距設置在所述承載臺（21）上。