[發明專利]一種石墨加熱器及包含石墨加熱器的單晶爐

在審

• 申請號: 202210563885.0
• 申請日: 2022-05-23
• 公開（公告）號: CN115125622A
• 公開（公告）日: 2022-09-30
• 發明（設計）人: 魏延召;王曉東;王東旭;王曉明
• 申請（專利權）人: 平頂山市博翔碳素有限公司
• 主分類號: C30B35/00
• 分類號: C30B35/00;H05B3/02;H05B3/03
• 代理公司: 鄭州智多謀知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 41170
• 代理人: 尚秘

本發明公開了一種石墨加熱器及包含石墨加熱器的單晶爐，包括石墨加熱器本體，石墨加熱器本體包括多個均勻設立的加熱板和導熱板，加熱板的頂部與固定環連接，底部套設在導熱板的頂部，導熱板的底部向圓心處彎曲，導熱板的表面設有槽孔，加熱板與導熱板通過石墨螺栓在槽孔處固定連接，加熱板與導熱板套設高度可依據槽孔可調，石墨加熱器的外圓周在加熱板上均勻的設有多個第一電極桿；該發明石墨加熱器及包含石墨加熱器的單晶爐在使用時能夠保證坩堝及物體受熱均勻，且石墨加熱器可根據坩堝高度可調，單晶爐在使用時也能及時對物體進行波動調整位置，進一步使物體受熱均勻，有利于生長出高質量晶體。

技術領域

本發明涉及石墨加熱器技術領域，尤其涉及一種石墨加熱器及包含石墨加熱器的單晶爐。

背景技術

石墨加熱器可以根據不同需要壓制成各種形狀，且導熱率較高，是一種環保無污染的材質，表面噴涂特氟龍后耐酸堿，適用與環境保護、高等院校、科研、化工等領域。而傳統的石墨加熱器機構單一，整體發熱或受熱不均勻將會影響內部待加熱的產品，且加熱器高度不易根據需求及時調節，而單晶爐在使用時無法對產品進行波動調整位置，同樣會影響受熱程度，不利于生長出高質量晶體，不滿足生產需求。

發明內容

本發明的目的是解決上述問題而提供的一種在使用時能夠保證坩堝及物體受熱均勻，且石墨加熱器可根據坩堝高度可調，單晶爐在使用時也能及時對物體進行波動調整位置，進一步使物體受熱均勻，有利于生長出高質量晶體的石墨加熱器及包含石墨加熱器的單晶爐。

為實現上述目的，本發明的技術方案為：一種石墨加熱器，包括石墨加熱器本體，所述石墨加熱器本體呈圓柱狀，所述石墨加熱器本體包括多個均勻設立的加熱板和導熱板，所述加熱板和導熱板豎直設立并一一對應，所述加熱板的頂部與固定環連接，底部套設在導熱板的頂部，所述導熱板的底部向圓心處彎曲，所述導熱板的表面設有槽孔，所述加熱板與導熱板通過石墨螺栓在槽孔處固定連接，所述加熱板與導熱板套設高度可依據槽孔可調，所述石墨加熱器本體的外圓周在加熱板上均勻的設有多個第一電極桿，所述第一電極桿將熱量通過加熱板傳輸至導熱板，所述石墨加熱器本體內設有用于盛放物體的坩堝，所述石墨加熱器本體的底部設有旋轉加熱機構。

優選的，所述旋轉加熱機構包括設在石墨加熱器本體底部的固定盤，所述固定盤的外部設有可轉動的轉動盤，所述導熱板的外部貼合有多個導熱片，所述導熱片的外壁固定連接有旋轉內環，所述旋轉內環的外圓周設有固定外環，所述固定外環固定不動時，所述導熱片能夠隨著旋轉內環貼合導熱板旋轉，所述導熱片與轉動盤之間通過固定桿連接，所述旋轉盤轉動時通過固定桿使導熱片在固定外環內旋轉，其中所述轉動盤的外部設有傳動齒輪，所述傳動齒輪的下方設有電機，所述轉動盤的外圓周設有與傳動齒輪相嚙合的嚙合齒。

優選的，所述固定盤的底面設有支撐腿和第二電極桿，所述第二電極桿與固定盤同軸設立并向外延伸。

優選的，所述導熱片的其中一側面呈圓弧狀并貼合導熱板，另一側面呈圓弧狀并固定在旋轉內環上，所述導熱片在靠近導熱板的兩條棱設有弧形倒角，其中導熱片始終貼合導熱板。

優選的，所述坩堝的外表面在石墨加熱器本體內貼合導熱板，所述坩堝內設有多個放置臺階，所述坩堝在最下方的放置臺階處設有梯形斜面。

優選的，所述石墨加熱器本體設在單晶爐內，所述支撐腿和電機固定在單晶爐的內底面，所述第一電極桿和第二電極桿穿過單晶爐向外延伸，所述單晶爐的上方設有可開合的端蓋，所述端蓋的中心處設有可上下移動的立桿，所述端蓋上設有物料波動機構。

優選的，所述物料波動機構包括兩個對稱設立的第一曲桿和第二曲桿，兩個所述第一曲桿的端部與立桿固定連接，所述第二曲桿與第一曲桿的底部鉸接，其中兩個第二曲桿相對設立，兩個所述第二曲桿的端部相對設立有波動鏟，兩個第二曲桿向上彎曲時兩個波動鏟相接觸。

優選的，所述波動鏟的底部設有弧形倒角，所述波動鏟與第一曲桿之間傾斜設有伸縮桿或拉簧。