[發(fā)明專利]一種檢測(cè)晶圓預(yù)對(duì)準(zhǔn)偏移的裝置及方法

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202210551946.1
• 申請(qǐng)日: 2022-05-18
• 公開（公告）號(hào): CN114927436A
• 公開（公告）日: 2022-08-19
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李媛媛
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 廣東越海集成技術(shù)有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/67
• 分類號(hào): H01L21/67;H01L21/68
• 代理公司: 北京品源專利代理有限公司 11332
• 代理人: 季承

1.一種檢測(cè)晶圓預(yù)對(duì)準(zhǔn)偏移的裝置，其特征在于，包括：

機(jī)架；

移動(dòng)機(jī)構(gòu)(100)，包括橫向移動(dòng)組件(110)和縱向移動(dòng)組件(120)，所述橫向移動(dòng)組件(110)固定于所述機(jī)架上，所述橫向移動(dòng)組件(110)的移動(dòng)端與所述縱向移動(dòng)組件(120)連接；

夾具，包括至少兩個(gè)檢測(cè)孔，所述夾具被配置為夾持待檢測(cè)晶圓；

夾持機(jī)構(gòu)(200)，包括托架(210)和定位組件(220)，所述托架(210)與所述縱向移動(dòng)組件(120)的移動(dòng)端連接，所述定位組件(220)設(shè)置于所述托架(210)上，所述定位組件(220)被配置為將夾持有待檢測(cè)晶圓的夾具固定于所述托架(210)上；

檢測(cè)機(jī)構(gòu)(300)，設(shè)置于所述托架(210)的下端，所述檢測(cè)機(jī)構(gòu)(300)被配置為通過(guò)所述檢測(cè)孔檢測(cè)所述待檢測(cè)晶圓在預(yù)對(duì)準(zhǔn)后是否產(chǎn)生偏移。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢測(cè)晶圓預(yù)對(duì)準(zhǔn)偏移的裝置，其特征在于，所述托架(210)包括主梁(211)和副梁(212)，所述副梁(212)呈圓弧形，所述主梁(211)一端與所述縱向移動(dòng)組件(120)的移動(dòng)端連接，另一端與所述副梁(212)的中點(diǎn)連接。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的檢測(cè)晶圓預(yù)對(duì)準(zhǔn)偏移的裝置，其特征在于，所述夾具上設(shè)置有定位凸起，所述定位組件(220)包括：

定位孔(2121)，兩個(gè)所述定位孔(2121)分別設(shè)置于所述副梁(212)的兩端，所述定位凸起能插入到所述定位孔(2121)中；

第一定位銷(221)和第二定位銷(222)，兩個(gè)所述第一定位銷(221)分別設(shè)置于所述副梁(212)的兩端，所述第二定位銷(222)設(shè)置于所述主梁(211)與所述副梁(212)的連接處，兩個(gè)所述第一定位銷(221)和所述第二定位銷(222)共同圍成限位空間，所述夾具設(shè)置于所述限位空間內(nèi)。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的檢測(cè)晶圓預(yù)對(duì)準(zhǔn)偏移的裝置，其特征在于，所述第一定位銷(221)上設(shè)置有貼合弧面(2211)，所述貼合弧面(2211)能與所述夾具側(cè)面抵接。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的檢測(cè)晶圓預(yù)對(duì)準(zhǔn)偏移的裝置，其特征在于，所述檢測(cè)晶圓預(yù)對(duì)準(zhǔn)偏移的裝置還包括緩沖件(400)，所述緩沖件(400)被配置為防止所述夾具與所述托架(210)磕碰造成的所述待檢測(cè)晶圓的移位。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的檢測(cè)晶圓預(yù)對(duì)準(zhǔn)偏移的裝置，其特征在于，所述緩沖件(400)由硅膠料制成。

7.根據(jù)權(quán)利要求1-6任一項(xiàng)所述的檢測(cè)晶圓預(yù)對(duì)準(zhǔn)偏移的裝置，其特征在于，所述檢測(cè)機(jī)構(gòu)(300)包括紅外顯微鏡(310)和成像顯示器(320)，所述紅外顯微鏡(310)與所述成像顯示器(320)電連接。

8.根據(jù)權(quán)利要求1-6任一項(xiàng)所述的檢測(cè)晶圓預(yù)對(duì)準(zhǔn)偏移的裝置，其特征在于，所述檢測(cè)晶圓預(yù)對(duì)準(zhǔn)偏移的裝置還包括控制組件(500)，所述控制組件(500)與所述移動(dòng)機(jī)構(gòu)(100)電連接。

9.根據(jù)權(quán)利要求1-6任一項(xiàng)所述的檢測(cè)晶圓預(yù)對(duì)準(zhǔn)偏移的裝置，其特征在于，所述橫向移動(dòng)組件(110)包括第一殼體、第一驅(qū)動(dòng)電機(jī)、第一絲桿和第一滑塊，所述第一殼體與所述機(jī)架連接，所述第一絲桿穿設(shè)于所述第一殼體，所述第一滑塊與所述第一絲桿螺紋連接，所述第一驅(qū)動(dòng)電機(jī)的驅(qū)動(dòng)端與所述第一絲桿傳動(dòng)連接，所述縱向移動(dòng)組件(120)包括第二殼體、第二驅(qū)動(dòng)電機(jī)、第二絲桿和第二滑塊所述第二殼體與所述第一滑塊連接，所述第二絲桿穿設(shè)于所述第二殼體，所述第二滑塊與所述第二絲桿螺紋連接，所述托架(210)設(shè)置于所述第二滑塊上，所述第二驅(qū)動(dòng)電機(jī)的驅(qū)動(dòng)端與所述第二絲桿傳動(dòng)連接。

10.一種檢測(cè)晶圓預(yù)對(duì)準(zhǔn)偏移的方法，采用如權(quán)利要求1-9任一項(xiàng)所述的檢測(cè)晶圓預(yù)對(duì)準(zhǔn)偏移的裝置，其特征在于，包括：

將裝載有待檢測(cè)晶圓的夾具放置在托架(210)的限位空間內(nèi)，并使所述夾具的定位凸起與所述托架(210)上的定位孔(2121)相配合；

通過(guò)移動(dòng)機(jī)構(gòu)(100)將所述夾具移動(dòng)至檢測(cè)機(jī)構(gòu)(300)的檢測(cè)端處，使兩個(gè)所述夾具上兩個(gè)檢測(cè)孔逐個(gè)與所述檢測(cè)機(jī)構(gòu)(300)的檢測(cè)端正對(duì)。