[發明專利]一種集成式真空發生器性能檢測設備及檢測方法

有效

• 申請號: 202210549926.0
• 申請日: 2022-05-20
• 公開（公告）號: CN115127748B
• 公開（公告）日: 2023-08-15
• 發明（設計）人: 何海波;房錦;趙應成
• 申請（專利權）人: 蘇州吉尼爾機械科技有限公司
• 主分類號: G01M3/26
• 分類號: G01M3/26;G01M13/00;G01F1/00;G01L11/00
• 代理公司: 蘇州市中南偉業知識產權代理事務所(普通合伙) 32257
• 代理人: 李柏柏

1.一種集成式真空發生器性能檢測設備，其特征在于，包括：

第一氣路，其包括第一電子閥、耗氣流量表和進氣壓力表，所述第一電子閥、所述耗氣流量表和進氣壓力表依次通過管路連接，所述第一電子閥控制外部氣源與待測集成式真空發生器的進氣接頭之間的通斷；

第二氣路，其包括第二電子閥、真空流量表和真空壓力表，所述第二電子閥、所述真空流量表和所述真空壓力表通過管路依次連接，所述第二電子閥控制所述集成式真空發生器的抽真空接頭與大氣之間的通斷；

PLC控制器，其與所述第一電子閥、所述第二電子閥相連；

當對所述集成式真空發生器進行檢測時，開啟所述第一電子閥，對所述集成式真空發生器進行內漏檢測，然后，依次開啟所述第二電子閥以及所述集成式真空發生器上的真空電磁閥，對所述集成式真空發生器進行最大真空度、最大耗氣量以及最大真空流量的檢測，該檢測結束后，開啟所述集成式真空發生器的破壞電磁閥，進行最大破壞流量的檢測。

2.根據權利要求1所述的集成式真空發生器性能檢測設備，其特征在于：還包括AD模塊和工控電腦，所述AD模塊的輸出連接所述工控電腦，所述AD模塊的輸入連接所述耗氣流量表、所述進氣壓力表、所述真空流量表和所述真空壓力表。

3.根據權利要求1所述的集成式真空發生器性能檢測設備，其特征在于：還包括空濾套件，所述空濾套件的進口連接所述外部氣源，所述空濾套件的出口連接所述第一電子閥。

4.根據權利要求3所述的集成式真空發生器性能檢測設備，其特征在于：所述空濾套件包括依次連通的油過濾器，空氣過濾器，空氣干燥器以及手動調壓閥。

5.根據權利要求1所述的集成式真空發生器性能檢測設備，其特征在于：還包括真空過濾器，所述真空過濾器的進口與大氣連通，所述真空過濾器的出口連接所述第二電子閥。

6.根據權利要求1所述的集成式真空發生器性能檢測設備，其特征在于：還包括工作臺，所述第一氣路、所述第二氣路、所述PLC控制器均設置于所述工作臺。

7.一種集成式真空發生器的內漏檢測方法，利用如權利要求1-6任意一項所述的集成式真空發生器性能檢測設備進行檢測，其特征在于，包括以下步驟：

(1)關閉所述第二電子閥、所述破壞電磁閥和所述真空電磁閥,所述第二氣路輸出為O；

(2)打開所述第一電子閥，接通所述外部氣源并等待其釋放氣體；

(3)采集所述耗氣流量表的數據，如果所述耗氣流量表顯示有數值，則說明集成式真空發生器發生內漏，反之則說明集成式真空發生器沒有發生內漏。

8.一種集成式真空發生器性能檢測方法，利用如權利要求1-6任意一項所述的集成式真空發生器性能檢測設備進行檢測，其特征在于，包括：對集成式真空發生器的最大真空度和所述最大耗氣量進行檢測，具體為：

(1)關閉所述第二電子閥和所述破壞電磁閥；

(2)打開所述第一電子閥接通所述外部氣源，同時打開所述真空電磁閥；

(3)等待所述外部氣源釋放氣體并填充所述第一氣路，采集所述耗氣流量表和所述真空壓力表的數據，所述真空壓力表顯示數值為最大真空度，所述耗氣流量表顯示數值為最大耗氣量。

9.一種集成式真空發生器性能檢測方法，利用如權利要求1-6任意一項所述的集成式真空發生器性能檢測設備進行檢測，其特征在于，包括：對集成式真空發生器的最大真空流量進行檢測，具體為：

(1)關閉所述破壞電磁閥；

(2)打開所述第一電子閥接通外部氣源，同時打開所述真空電磁閥和所述第二電子閥；

(3)等待所述外部氣源釋放氣體并導通所述第一氣路，采集所述真空流量表的數據，所述真空流量表顯示數值為最大真空流量。

10.一種集成式真空發生器性能檢測方法，利用如權利要求1-6任意一項所述的集成式真空發生器性能檢測設備進行檢測，其特征在于，包括：對集成式真空發生器的最大破壞流量進行檢測，具體為：

(1)打開所述第一電子閥接通外部氣源，所述外部氣源釋放氣體并導通所述第一氣路，同時打開所述第二電子閥：

(2)關閉所述真空電磁閥，此時第二氣路輸出為0；

(3)打開破壞電磁閥，采集所述耗氣流量表的數據，所述耗氣流量表顯示數值為最大破壞流量。