[發明專利]單通道型多級斐索波長測量裝置

在審

• 申請號: 202210548742.2
• 申請日: 2022-05-20
• 公開（公告）號: CN114923589A
• 公開（公告）日: 2022-08-19
• 發明（設計）人: 李建欣;劉一軒;馬世幫;楊坤;郭仁慧;馬駿;朱日宏;何勇;王青
• 申請（專利權）人: 南京理工大學
• 主分類號: G01J9/02
• 分類號: G01J9/02
• 代理公司: 南京理工大學專利中心 32203
• 代理人: 朱炳斐

1.一種單通道型多級斐索波長測量裝置，其特征在于，所述單腔波長計包括沿主光路依次共軸放置的光纖端口(1)、準直鏡(2)、Fizeau干涉腔(3)、柱面鏡(4)和線陣探測器(5)；所有光學元件相對于儀器底座平面同軸等高；

光纖端口(1)發出的光經準直鏡(2)后，以平行光入射至Fizeau干涉腔(3)中發生干涉，之后從Fizeau干涉腔(3)后底面出射經柱面鏡(4)聚焦至線陣探測器(5)。

2.根據權利要求1所述的單通道型多級斐索波長測量裝置，其特征在于，所述光纖端口(1)位于準直鏡(2)的焦點位置處。

3.根據權利要求1所述的單通道型多級斐索波長測量裝置，其特征在于，所述Fizeau干涉腔(3)包括沿光路方向依次放置且膠合的基板(31)、空心圓柱(32)和蓋板(33)，所述空心圓柱(32)內設有階梯塊；基板(31)后底面與階梯塊前底面相膠合，階梯塊后底面鍍部分反射部分透射膜；蓋板(33)的前底面鍍部分反射部分透射膜。

4.根據權利要求3所述的單通道型多級斐索波長測量裝置，其特征在于，所述階梯塊前、后底面存在一定夾角。

5.根據權利要求4所述的單通道型多級斐索波長測量裝置，其特征在于，所述階梯塊包括從上至下依次堆疊的第一階梯(34)、第二階梯(35)和第三階梯(36)，三個階梯的橫截面為矩形，該矩形沿光束的截面方向的邊為短邊；三個階梯的長邊與基板(31)膠合。

6.根據權利要求5所述的單通道型多級斐索波長測量裝置，其特征在于，所述第一階梯塊(34)、第二階梯塊(35)和第三階梯塊(36)的長度相同，第一階梯塊(34)的寬度是第二階梯塊(35)、第三階梯塊(36)寬度的2倍。