[發明專利]一種密封機構及晶圓反應設備

有效

• 申請號: 202210531989.3
• 申請日: 2022-05-17
• 公開（公告）號: CN114658863B
• 公開（公告）日: 2022-08-12
• 發明（設計）人: 戴建波;孫文彬;陸北源
• 申請（專利權）人: 江蘇邑文微電子科技有限公司;無錫邑文電子科技有限公司
• 主分類號: F16K1/00
• 分類號: F16K1/00;F16K1/44;F16K1/46;F16K31/04;F16K31/50;F16K31/53;F16K37/00;H01L21/67
• 代理公司: 北京超凡宏宇專利代理事務所(特殊普通合伙) 11463
• 代理人: 張洋

1.一種密封機構，其特征在于，包括門體、機架、密封組件、彈性件、絲桿、驅動組件及檢測裝置，所述門體上貫穿設置有開口，所述彈性件、所述驅動組件及所述檢測裝置均設置于所述機架上，所述密封組件包括傳動組件及密封板，所述密封板相對設置于所述門體的一側，所述密封板靠近所述門體的一側設置有彈性密封圈，所述傳動組件的一端與所述密封板連接，所述傳動組件遠離所述密封板的一端穿過所述門體并通過滾珠與所述絲桿配合，所述絲桿上設置有止擋件，所述彈性件用于正向抵持所述止擋件，所述驅動組件與所述絲桿傳動連接，用于驅動所述絲桿轉動，以帶動所述密封板正向運動至所述彈性密封圈與所述門體貼合以封閉所述開口，所述驅動組件還用于在所述彈性密封圈與所述門體貼合的情況下驅動所述絲桿繼續轉動，以使所述絲桿帶動所述止擋件反向運動并壓縮所述彈性件，所述檢測裝置用于檢測所述絲桿的位置，所述驅動組件還用于在所述檢測裝置檢測到所述絲桿反向運動至預設位置時停機。

2.根據權利要求1所述的密封機構，其特征在于，所述驅動組件包括電機、主動齒輪及從動齒輪，所述電機設置于所述機架上，所述主動齒輪同軸設置于所述電機的轉軸上，所述從動齒輪可滑動的設置于所述絲桿上并與所述主動齒輪嚙合，所述絲桿能夠在外力作用下相對所述從動齒輪正向或反向滑動。

3.根據權利要求1所述的密封機構，其特征在于，所述止擋件為軸承，所述軸承的內環套設于所述絲桿的外壁上，所述軸承的外環的端壁與所述彈性件抵持。

4.根據權利要求1所述的密封機構，其特征在于，所述機架上設置有安裝筒，所述安裝筒的一端同軸設置有止擋環壁，所述彈性件容置于所述安裝筒內，且所述彈性件的兩端分別與所述止擋環壁及所述止擋件抵持，所述絲桿同軸穿過所述安裝筒。

5.根據權利要求1所述的密封機構，其特征在于，所述絲桿遠離所述門體的一端設置有檢測部，在所述絲桿反向運動至預設位置之前，所述檢測部至少部分伸入所述檢測裝置，在所述絲桿反向運動至預設位置時，所述檢測部退出所述檢測裝置。

6.根據權利要求1所述的密封機構，其特征在于，所述密封機構還包括導滑件，所述導滑件設置于所述機架上，所述傳動組件與所述導滑件滑動配合。

7.根據權利要求6所述的密封機構，其特征在于，所述傳動組件包括配合件及連接桿，所述配合件通過滾珠與所述絲桿配合，且所述配合件與所述導滑件滑動配合，所述連接桿的一端與所述配合件連接，所述連接桿遠離所述配合件的一端穿過所述門體與所述密封板連接。

8.一種晶圓反應設備，其特征在于，包括如權利要求1-7任一項所述的密封機構。