[發明專利]梯形濾波器及多工器

在審

• 申請號: 202210527726.5
• 申請日: 2022-05-16
• 公開（公告）號: CN115360994A
• 公開（公告）日: 2022-11-18
• 發明（設計）人: 巖嵜翔;月館均
• 申請（專利權）人: 太陽誘電株式會社
• 主分類號: H03H9/02
• 分類號: H03H9/02;H03H9/56;H03H9/60;H03H9/64;H03H9/70;H03H9/72
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司 11127
• 代理人: 楊雪玲;孫東喜

本申請涉及梯形濾波器及多工器。一種梯型濾波器包括：支撐基板；壓電層，其設置在支撐基板上；并聯諧振器，其包括設置在壓電層上并具有第一平均節距和第一平均占空比的第一電極指，最大的第一平均節距等于或大于壓電層的厚度的兩倍，并聯諧振器的第一端聯接到輸入端子和輸出端子之間的路徑，并聯諧振器的第二端聯接到接地；以及串聯諧振器，其串聯連接在輸入端子和輸出端子之間，串聯諧振器包括設置在壓電層上并具有第二平均節距和第二平均占空比的第二電極指，至少一個串聯諧振器中的第二平均占空比小于最小的第一平均占空比。

技術領域

本實施方式的某個方面涉及梯型濾波器及多工器(multiplexer)。

背景技術

作為在諸如智能電話之類的通信裝置中使用的聲波諧振器，已知聲波諧振器具有在壓電層上形成的一對梳狀電極。例如，如日本專利申請公開No.2017-34363(專利文獻1)中所公開的，已知將壓電層接合到支撐基板并且將壓電層的厚度調整為等于或小于聲波的波長。例如，如日本專利申請公開No.2019-201345和2015-73331(專利文獻2和3)中所公開的，已知在支撐基板和壓電層之間設置絕緣層。例如，如日本專利申請公開No.2018-196028(專利文獻4)中所公開的，已知在使用其中在梳狀電極上設置有用于溫度補償的厚介電層的聲波諧振器的梯型濾波器中，將并聯諧振器中的占空比(duty ratio)調整為小于串聯諧振器中的占空比。

發明內容

在使用具有接合在支撐基板上的壓電層和梳狀電極的聲波諧振器的梯型濾波器中，期望降低頻率的溫度系數(TCF)。

根據本公開的一方面，提供了一種梯型濾波器，其包括：支撐基板；壓電層，其設置在支撐基板上；一個或更多個并聯諧振器，每個并聯諧振器包括設置在壓電層上的多個第一電極指(finger)，第一電極指具有第一平均節距和第一平均占空比，最大的第一平均節距等于或大于壓電層的厚度的兩倍，一個或更多個并聯諧振器中的每一個的第一端聯接到輸入端子和輸出端子之間的路徑，一個或更多個并聯諧振器中的每一個的第二端聯接到接地；以及一個或更多個串聯諧振器，其串聯連接在輸入端子和輸出端子之間，一個或更多個串聯諧振器中的每一個包括設置在壓電層上的多個第二電極指，第二電極指具有第二平均節距和第二平均占空比，至少一個串聯諧振器中的第二平均占空比小于最小的第一平均占空比。

根據本公開的另一方面，提供了包括上述梯型濾波器的多工器。

附圖說明

圖1A是在根據第一實施方式的梯型濾波器中使用的聲波諧振器的平面圖，而圖1B和圖1C是沿著圖1A中的線A-A截取的截面圖；

圖2A是第一實施方式中的聲波諧振器的諧振頻率fr相對于節距D的曲線圖，而圖2B是諧振頻率fr相對于占空比R的曲線圖；

圖3是根據第一實施方式的梯型濾波器的電路圖；

圖4是根據第一實施方式的梯型濾波器的平面圖；

圖5是實驗1中的諧振器B的截面圖；

圖6是實驗1中的相對于占空比的反諧振頻率fa和諧振頻率fr的溫度系數(TCF)的曲線圖；

圖7是實驗2中的諧振器的截面圖；

圖8是實驗2中相對于占空比的反諧振頻率fa和諧振頻率fr的溫度系數(TCF)的曲線圖；

圖9A和圖9B示意性地例示了并聯諧振器和串聯諧振器的傳輸特性，而圖9C示意性地例示了濾波器的傳輸特性的溫度依賴性；

圖10A和圖10B示意性地例示了濾波器和并聯諧振器的傳輸特性；

圖11A和圖11B示意性地例示了濾波器和串聯諧振器的傳輸特性；

圖12A至圖12C分別是根據第一實施方式的第二變形例至第四變形例的聲波諧振器的截面圖；