[發(fā)明專利]一種銅蝕刻液組合物及其使用方法在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 202210526738.6 | 申請日： | 2022-05-16 |
| 公開（公告）號： | CN114855169A | 公開（公告）日： | 2022-08-05 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 邵振;石玉國 | 申請（專利權(quán)）人： | 江蘇和達電子科技有限公司 |
| 主分類號： | C23F1/18 | 分類號： | C23F1/18;C23F1/44 |
| 代理公司： | 上海新泊利知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 31435 | 代理人： | 王晶 |
| 地址： | 212212 江蘇*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 蝕刻 組合 及其 使用方法 | ||
1.一種銅蝕刻液，其特征在于，所述銅蝕刻液按重量百分比包括以下組分：10~20%的雙氧水尿素，2~10%的無機酸，1~12%的有機酸，1~8%的無機鹽，10~30%的調(diào)節(jié)劑以及余量水。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種銅蝕刻液，其特征在于，所述無機酸選自硝酸、硫酸、雷酸、氫硫酸、氯磺酸、碳酸、硅酸、次氯酸中的一種或至少兩種的組合。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種銅蝕刻液，其特征在于，所述無機鹽選自氯化鐵、氯化銅中的一種或至少兩種的組合。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種銅蝕刻液，其特征在于，所述有機酸選自乙酸、丙酸、丁二酸、蘋果酸、檸檬酸、肉桂酸、草酸、甘氨酸、苯甲酸、對甲基苯甲酸、鄰甲基苯甲酸、對氨基苯甲酸、鄰氨基苯甲酸中的一種或至少兩種的組合。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種銅蝕刻液，其特征在于，所述調(diào)節(jié)劑選自對苯二胺、間苯二胺、三乙醇胺、三乙胺、甲基苯磺酸、乙二胺四乙酸、苯基脲、N-異丙基芐胺、丙二醇、二異丙胺中的一種或至少兩種的組合。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種銅蝕刻液，其特征在于，所述調(diào)節(jié)劑為由對苯二胺、三乙醇胺、乙二胺四乙酸、甲基磺酸以及苯基脲組成的混合物。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種銅蝕刻液，其特征在于，所述對苯二胺、三乙醇胺、乙二胺四乙酸、甲基磺酸以及苯基脲的重量比為（3~5）：（18~22）：（18~22）：（28~32）：（33~37）：（23~27）。
8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種銅蝕刻液，其特征在于，所述調(diào)節(jié)劑在所述銅蝕刻液中的重量百分比為13~28%。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種銅蝕刻液，其特征在于，按重量百分比計，所述銅蝕刻液包括以下組分：13~18%的所述雙氧水尿素，4~8%的所述無機酸，2~4%的所述有機酸，1~3%的所述無機鹽，10~30%的所述調(diào)節(jié)劑以及余量水。
10.一種權(quán)利要求1~9任一項所述銅蝕刻液的制備方法，其特征在于，將所述雙氧水尿素、所述無機鹽、所述有機酸、所述調(diào)節(jié)劑與水在不超過50℃的溫度下混合攪拌，經(jīng)過濾合格后得到銅蝕刻液。
該專利技術(shù)資料僅供研究查看技術(shù)是否侵權(quán)等信息，商用須獲得專利權(quán)人授權(quán)。該專利全部權(quán)利屬于江蘇和達電子科技有限公司，未經(jīng)江蘇和達電子科技有限公司許可，擅自商用是侵權(quán)行為。如果您想購買此專利、獲得商業(yè)授權(quán)和技術(shù)合作，請聯(lián)系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/202210526738.6/1.html，轉(zhuǎn)載請聲明來源鉆瓜專利網(wǎng)。
