[發(fā)明專利]陣列基板及其制造方法和顯示面板

在審

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• 申請日: 2022-05-16
• 公開（公告）號(hào): CN114864604A
• 公開（公告）日: 2022-08-05
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 鮮濟(jì)遙;袁海江
• 申請（專利權(quán)）人: 重慶惠科金渝光電科技有限公司;惠科股份有限公司
• 主分類號(hào): H01L27/12
• 分類號(hào): H01L27/12;H01L21/77;G02F1/1368;G02F1/1362
• 代理公司: 深圳中一聯(lián)合知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 44414
• 代理人: 謝蓓

1.一種陣列基板，包括襯底基板，所述襯底基板包括相對設(shè)置的第一表面和第二表面，其特征在于，

所述襯底基板上設(shè)有多個(gè)貫穿所述第一表面和所述第二表面的通孔；

所述陣列基板還包括：

顯示線路，設(shè)于所述第一表面上，所述顯示線路包括與驅(qū)動(dòng)電路連接的信號(hào)線以及與所述信號(hào)線連接的薄膜晶體管；所述信號(hào)線具有靠近所述驅(qū)動(dòng)電路的近端和遠(yuǎn)離所述驅(qū)動(dòng)電路的遠(yuǎn)端；

輔助線路，設(shè)于所述第二表面上且連接于所述驅(qū)動(dòng)電路，所述輔助線路的阻抗小于所述信號(hào)線的阻抗，所述輔助線路還通過所述通孔連接設(shè)于所述信號(hào)線的遠(yuǎn)端的至少一個(gè)薄膜晶體管。

2.如權(quán)利要求1所述的陣列基板，其特征在于：

所述驅(qū)動(dòng)電路包括柵驅(qū)動(dòng)單元和數(shù)據(jù)驅(qū)動(dòng)單元，所述信號(hào)線包括連接所述柵驅(qū)動(dòng)單元且沿行方向延伸的掃描線和連接所述數(shù)據(jù)驅(qū)動(dòng)單元且沿列方向延伸的數(shù)據(jù)線；設(shè)于所述掃描線遠(yuǎn)端的至少一個(gè)薄膜晶體管為第一遠(yuǎn)端薄膜晶體管，設(shè)于所述信號(hào)線遠(yuǎn)端的至少一個(gè)薄膜晶體管為第二遠(yuǎn)端薄膜晶體管；

所述輔助線路包括多條背面掃描線和多條背面數(shù)據(jù)線，每條所述背面掃描線連接所述柵驅(qū)動(dòng)單元和一行的至少一個(gè)所述第一遠(yuǎn)端薄膜晶體管，每條所述背面數(shù)據(jù)線連接所述數(shù)據(jù)驅(qū)動(dòng)單元和一列的至少一個(gè)所述第二遠(yuǎn)端薄膜晶體管。

3.如權(quán)利要求2所述的陣列基板，其特征在于：所述顯示線路包括至少兩個(gè)分區(qū)，每個(gè)分區(qū)內(nèi)的所述掃描線和所述數(shù)據(jù)線獨(dú)立連接于所述驅(qū)動(dòng)電路，每個(gè)所述分區(qū)內(nèi)均設(shè)有至少一列所述第一遠(yuǎn)端薄膜晶體管，以及至少一行所述第二遠(yuǎn)端薄膜晶體管。

4.如權(quán)利要求2或3所述的陣列基板，其特征在于：

所述薄膜晶體管包括設(shè)于所述第一表面上的柵極、設(shè)于所述柵極上的主動(dòng)層、及設(shè)于所述主動(dòng)層上的源極和漏極；所述第二遠(yuǎn)端薄膜晶體管還包括設(shè)于所述第一表面且與所述源極電連接的信號(hào)墊；

所述襯底基板上的多個(gè)通孔包括第一通孔和第二通孔，所述第一通孔暴露所述第一遠(yuǎn)端薄膜晶體管的柵極，所述第二通孔暴露所述信號(hào)墊；

所述背面掃描線通過所述第一通孔連接所述遠(yuǎn)端薄膜晶體管的柵極，所述背面數(shù)據(jù)線通過所述第二通孔連接所述遠(yuǎn)端薄膜晶體管的信號(hào)墊。

5.如權(quán)利要求4所述的陣列基板，其特征在于：所述陣列基板還包括設(shè)于所述背面掃描線和所述背面數(shù)據(jù)線之間的第一保護(hù)層，所述第一保護(hù)層上開設(shè)有與所述第二通孔對應(yīng)且連通的過孔。

6.如權(quán)利要求2或3所述的陣列基板，其特征在于：所述背面掃描線和所述背面數(shù)據(jù)線均為透明導(dǎo)電薄膜材質(zhì)，所述背面掃描線的線寬大于所述掃描線的線寬，且所述背面數(shù)據(jù)線的線寬大于所述信號(hào)線的線寬。

7.如權(quán)利要求6所述的陣列基板，其特征在于：所述背面掃描線和所述背面數(shù)據(jù)線的厚度范圍為所述背面掃描線和所述背面數(shù)據(jù)線的線寬大于30μm～50μm。

8.一種陣列基板的制造方法，其特征在于，包括：

提供襯底基板，所述襯底基板包括相對設(shè)置的第一表面和第二表面；

在所述第一表面上制作顯示線路，所述顯示線路包括信號(hào)線和與所述信號(hào)線連接的薄膜晶體管；所述信號(hào)線具有靠近驅(qū)動(dòng)電路的近端和遠(yuǎn)離所述驅(qū)動(dòng)電路的遠(yuǎn)端；

在所述襯底基板上制作多個(gè)貫穿所述第一表面和所述第二表面的通孔，每個(gè)所述通孔與設(shè)于所述信號(hào)線遠(yuǎn)端的一個(gè)所述薄膜晶體管對應(yīng)設(shè)置；

在所述第二表面上制作輔助線路，所述輔助線路的阻抗小于所述信號(hào)線的阻抗，所述輔助線路通過所述通孔連接設(shè)于所述信號(hào)線遠(yuǎn)端的所述薄膜晶體管。