[發(fā)明專(zhuān)利]一種濺射環(huán)定位件加工夾具及利用其的加工方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202210519142.3
• 申請(qǐng)日: 2022-05-12
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN114799970A
• 公開(kāi)（公告）日: 2022-07-29
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 姚力軍;潘杰;王學(xué)澤;黃文杰
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 寧波江豐電子材料股份有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): B23Q3/06
• 分類(lèi)號(hào): B23Q3/06;B23P15/00
• 代理公司: 北京遠(yuǎn)智匯知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11659
• 代理人: 牛海燕

本發(fā)明提供了一種濺射環(huán)定位件加工夾具及利用其的加工方法，所述濺射環(huán)定位件加工夾具包括固定夾具和更換夾具；所述固定夾具固定在加工中心工作臺(tái)上，所述更換夾具可拆卸地連接在所述固定夾具上；在所述更換夾具遠(yuǎn)離所述固定夾具的一面上開(kāi)設(shè)裝載孔；在所述更換夾具的側(cè)面開(kāi)設(shè)與所述裝載孔相連通的側(cè)孔定位孔。本發(fā)明中固定夾具和更換夾具是可拆卸地連接方式，通過(guò)多個(gè)更換夾具之間的配合，能夠?qū)崿F(xiàn)待加工濺射環(huán)定位件的快速更換；所述濺射環(huán)定位件加工夾具中裝載孔和側(cè)孔定位孔的設(shè)置使其在一次裝夾之后即可實(shí)現(xiàn)螺紋加工、銑方和鉆側(cè)孔，確保加工精度的同時(shí)，提高了加工效率。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明屬于半導(dǎo)體器件加工技術(shù)領(lǐng)域，涉及濺射環(huán)定位件加工技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種濺射環(huán)定位件加工夾具及利用其的加工方法。

背景技術(shù)

隨著半導(dǎo)體技術(shù)的快速發(fā)展，作為半導(dǎo)體產(chǎn)品重要制備方法的濺射鍍膜法也得以不斷發(fā)展，通常情況下，濺射鍍膜過(guò)程中，濺射粒子從靶材表面濺射出來(lái)，沿多個(gè)不同方向離開(kāi)靶材表面，使得到達(dá)基板上的靶材較少，為減少靶材的浪費(fèi)，通常使用濺射環(huán)對(duì)濺射粒子進(jìn)行匯聚，濺射環(huán)在濺射過(guò)程中會(huì)產(chǎn)生磁場(chǎng)，對(duì)濺射出的靶材原子運(yùn)動(dòng)進(jìn)行約束，并且吸附濺射過(guò)程中產(chǎn)生的顆粒物，防止顆粒物落在產(chǎn)品上，造成產(chǎn)品報(bào)廢，即濺射環(huán)通常作為靶材濺射的配套組件來(lái)使用。

在磁控濺射設(shè)備中，濺射腔室的上部區(qū)域設(shè)置靶材，下部區(qū)域設(shè)置設(shè)置基板，所述基板設(shè)置于基座上，而濺射環(huán)則位于兩者之間的位置，其中濺射環(huán)包括濺射環(huán)本體和定位銷(xiāo)，所述定位銷(xiāo)位于濺射環(huán)本體的外環(huán)側(cè)壁上，該濺射環(huán)本體通過(guò)定位銷(xiāo)固定在磁控濺射腔室的側(cè)壁上。

然而，加工濺射環(huán)定位件包括螺紋加工、銑方和鉆側(cè)孔三步，現(xiàn)有技術(shù)中需要多次裝夾才能加工完成產(chǎn)品，而且需要多個(gè)夾具才能完成，且位置度精度較低，裝夾一致性較差，一次只能加工一枚濺射環(huán)定位件，加工效率低。

綜上所述，亟需一種新的加工方法，在確保加工精度的同時(shí)，既能在一次裝夾后實(shí)現(xiàn)銑方和鉆側(cè)孔，又能提高加工效率。

發(fā)明內(nèi)容

針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)存在的不足，本發(fā)明的目的在于提供一種濺射環(huán)定位件加工夾具及利用其的加工方法，所述濺射環(huán)定位件加工夾具包括固定夾具和更換夾具；所述固定夾具固定在加工中心工作臺(tái)上，所述更換夾具可拆卸地連接在所述固定夾具上；在所述更換夾具遠(yuǎn)離所述固定夾具的一面上開(kāi)設(shè)裝載孔；在所述更換夾具的側(cè)面開(kāi)設(shè)與所述裝載孔相連通的側(cè)孔定位孔。本發(fā)明中固定夾具和更換夾具是可拆卸的連接方式，通過(guò)多個(gè)更換夾具之間的配合，能夠?qū)崿F(xiàn)待加工濺射環(huán)定位件的快速更換；所述濺射環(huán)定位件加工夾具中裝載孔和側(cè)孔定位孔的設(shè)置使其在一次裝夾之后即可實(shí)現(xiàn)螺紋加工、銑方和鉆側(cè)孔，確保加工精度的同時(shí)，提高了加工效率。

為達(dá)此目的，本發(fā)明采用以下技術(shù)方案：

本發(fā)明的目的之一在于提供一種濺射環(huán)定位件加工夾具，所述濺射環(huán)定位件加工夾具包括固定夾具和更換夾具；所述固定夾具固定在加工中心工作臺(tái)上，所述更換夾具可拆卸地連接在所述固定夾具上；在所述更換夾具遠(yuǎn)離所述固定夾具的一面上開(kāi)設(shè)裝載孔；在所述更換夾具的側(cè)面開(kāi)設(shè)與所述裝載孔相連通的側(cè)孔定位孔。

本發(fā)明中，固定夾具和更換夾具可拆卸地連接在一起，通過(guò)多個(gè)更換夾具之間的配合，能夠?qū)崿F(xiàn)待加工濺射環(huán)定位件的快速更換；所述濺射環(huán)定位件加工夾具中裝載孔和側(cè)孔定位孔的設(shè)置使其在一次裝夾之后即可實(shí)現(xiàn)銑方和鉆側(cè)孔，確保加工精度的同時(shí)，提高了加工效率。

作為本發(fā)明優(yōu)選的技術(shù)方案，所述固定夾具包括第一基準(zhǔn)臺(tái)和氣動(dòng)拉緊件，所述第一基準(zhǔn)臺(tái)固定在所述加工中心工作臺(tái)上，所述氣動(dòng)拉緊件固定在所述第一基準(zhǔn)臺(tái)遠(yuǎn)離所述加工中心工作臺(tái)的一面上。

值得說(shuō)明的是，在第一基準(zhǔn)臺(tái)內(nèi)部開(kāi)設(shè)有氣道，使氣動(dòng)拉緊件能夠正常運(yùn)作。

優(yōu)選地，所述氣動(dòng)拉緊件與所述第一基準(zhǔn)臺(tái)通過(guò)螺栓進(jìn)行固定。