[發明專利]噴霧涂膠液路系統

在審

• 申請號: 202210516309.0
• 申請日: 2022-05-12
• 公開（公告）號: CN114950770A
• 公開（公告）日: 2022-08-30
• 發明（設計）人: 鄭如意;呂磊;陳威;王文麗
• 申請（專利權）人: 北京半導體專用設備研究所（中國電子科技集團公司第四十五研究所）
• 主分類號: B05B7/26
• 分類號: B05B7/26;B05B15/55;B05B12/14
• 代理公司: 北京超凡宏宇專利代理事務所(特殊普通合伙) 11463
• 代理人: 王震

本申請涉及集成電路領域，尤其是涉及一種噴霧涂膠液路系統。噴霧涂膠液路系統包括噴頭、膠液存儲機構、清洗液存儲機構、第一氣源、第一管路以及第二管路，第一氣源通過第二管路與噴頭連接，膠液存儲機構與清洗液存儲機構均通過第一管路與噴頭連接，在第一狀態下，清洗液存儲機構與第一管路連通，以向噴頭輸送清洗液，在第二狀態下，膠液存儲機構與第一管路連通，以向噴頭輸送膠液，第一氣源通過第二管路與所述噴頭連通，以向噴頭輸送第一氣體。根據本申請的噴霧涂膠液路系統，解決了現有的清洗方式，清洗液和光刻膠液共用一個存儲機構和一個管路，清洗完成后將清洗液更換為光刻膠時，易污染光刻膠且管路中容易進入氣泡，影響后續噴涂效果的問題。

技術領域

本申請涉及集成電路領域，尤其是涉及一種噴霧涂膠液路系統。

背景技術

隨著集成電路產業的快速發展，噴霧涂膠設備的應用越來越廣泛，噴霧式涂膠設備一般采用恒流泵進行給液，超聲霧化噴頭和二流體霧化噴頭實現光刻膠的霧化，由工作臺帶動噴頭對真空吸附方式固定在承片臺上的基片進行精密噴涂。噴涂過程一般由多次的噴涂疊加來完成，由于噴霧涂膠噴頭不同于普通滴膠噴頭，出膠口更為細小，一旦光刻膠在噴頭處干結，很難清洗，甚至可能造成噴頭損壞，噴霧涂膠噴頭價格昂貴，且很多為定制化產品，一旦損壞，經濟成本和時間成本損失巨大，因此，在實際生產中，需要對噴霧涂膠設備的膠路和噴頭頻繁進行清洗。

現有的清洗方式，清洗時需要將光刻膠液更換為清洗液，然后開啟閥門及恒流泵對膠路和噴頭進行清洗，對此，現有的清洗方式，清洗液和光刻膠液共用一個存儲機構以及一個管路，清洗完成后將清洗液更換為光刻膠時，易污染光刻膠且管路中容易進入氣泡，影響后續噴涂效果。

發明內容

本申請的目的是在于提供一種噴霧涂膠液路系統，從而解決了現有的清洗方式，清洗液和光刻膠液共用一個存儲機構和一個管路，清洗完成后將清洗液更換為光刻膠時，易污染光刻膠且管路中容易進入氣泡，影響后續噴涂效果的問題。

根據本申請提供了一種噴霧涂膠液路系統，所述噴霧涂膠液路系統包括噴頭、膠液存儲機構、清洗液存儲機構、第一氣源、第一管路以及第二管路，所述第一氣源通過所述第二管路與所述噴頭連接，所述膠液存儲機構與所述清洗液存儲機構均通過所述第一管路與所述噴頭連接，在第一狀態下，所述清洗液存儲機構與所述第一管路連通，以向所述噴頭輸送清洗液，在第二狀態下，所述膠液存儲機構與所述第一管路連通，以向所述噴頭輸送膠液，所述第一氣源通過所述第二管路與所述噴頭連通，以向所述噴頭輸送第一氣體。

在上述任意技術方案中，進一步地，所述噴霧涂膠液路系統還包括第一控制機構、第二控制機構、第一支路和第二支路，所述清洗液存儲機構通過所述第一支路與所述第一管路連接，所述膠液存儲機構通過所述第二支路與所述第一管路連接，所述第一控制機構連接于所述第一支路，以控制所述第一支路的通斷，所述第二控制機構連接于所述第二支路，以控制所述第二支路的通斷。

在上述任意技術方案中，進一步地，所述噴霧涂膠液路系統還包括第二氣源，所述第一控制機構包括第一電磁閥和第一氣控閥，所述第一氣控閥包括第一進氣口和第一流道，所述第一流道連接于所述第一支路，所述第二氣源通過所述第一電磁閥與所述第一氣控閥的所述第一進氣口連接，所述第二控制機構包括第二電磁閥和第二氣控閥，所述第二氣控閥包括第二進氣口和第二流道，所述第二流道連接于所述第二支路，所述第二氣源通過所述第二電磁閥與所述第二氣控閥的所述第二進氣口連接。

在上述任意技術方案中，進一步地，所述第一控制機構還包括第一節流閥，所述第二控制機構還包括第二節流閥，所述第一節流閥連接在所述第一電磁閥與所述第一氣控閥之間，所述第二節流閥連接在所述第二電磁閥與所述第二氣控閥之間。

在上述任意技術方案中，進一步地，所述噴霧涂膠液路系統還包括第三電磁閥和第三氣控閥，所述第三氣控閥包括第三進氣口和第三流道，所述第二氣源通過所述第三電磁閥與所述第三氣控閥的所述第三進氣口連接，所述第三流道連接于所述第一管路。