[發明專利]一種鈣鈦礦太陽電池的氧化錫電子傳輸層的制備方法

在審

• 申請號: 202210507374.7
• 申請日: 2022-05-11
• 公開（公告）號: CN115000309A
• 公開（公告）日: 2022-09-02
• 發明（設計）人: 車志剛;劉豐珍;周玉榮
• 申請（專利權）人: 濱州魏橋國科高等技術研究院;中國科學院大學
• 主分類號: H01L51/48
• 分類號: H01L51/48;C23C14/32;C23C14/08
• 代理公司: 北京國坤專利代理事務所(普通合伙) 11491
• 代理人: 馬雯

1.一種鈣鈦礦太陽電池的氧化錫電子傳輸層的制備方法，其特征在于，該制備方法包括以下步驟：

步驟1、將固體的純錫金屬顆粒裝入金屬鉬舟中；

步驟2、打開真空腔室門，將裝有純錫金屬顆粒的鉬舟置入水冷坩堝內；

步驟3、將襯底放在旋轉架上；

步驟4、關閉真空腔室門，將真空腔室抽真空；

步驟5、在陰極鉭管中通入氬氣，通電使氬氣電離起輝產生陰離子束，陰離子束在偏轉線圈產生的偏轉磁場作用下定向偏轉并轟擊在鉬舟中的純錫金屬顆粒上，使得純錫金屬顆粒熔化并蒸發；

步驟6、向真空腔室內通入氧氣；在通電的情況下，部分氧氣被電離成活性氧，在真空腔室內，活性氧和蒸發的純錫金屬相碰撞，反應生成氧化錫；

步驟7、打開擋板，所述步驟6生成的氧化錫最終沉積到襯底上，形成金屬氧化物薄膜；

步驟8、將所述步驟7沉積的金屬氧化物薄膜拿出，進行紫外臭氧清洗得到鈣鈦礦太陽電池的氧化錫電子傳輸層成品。

2.根據權利要求1所述的一種鈣鈦礦太陽電池的氧化錫電子傳輸層的制備方法，其特征在于：在步驟1中，所述固體純錫金屬顆粒的純度為99.99wt％，所述固體純錫金屬顆粒裝載到金屬鉬舟高度的三分之二位置處。

3.根據權利要求1所述的一種鈣鈦礦太陽電池的氧化錫電子傳輸層的制備方法，其特征在于：在步驟3中，所述襯底為導電玻璃或者導電柔性襯底，所述襯底放在旋轉架上前進行紫外臭氧清洗30分鐘。

4.根據權利要求1所述的一種鈣鈦礦太陽電池的氧化錫電子傳輸層的制備方法，其特征在于：在步驟4中，所述真空腔室抽真空是將真空腔室抽到5×10^-4Pa以下的壓強。

5.根據權利要求1所述的一種鈣鈦礦太陽電池的氧化錫電子傳輸層的制備方法，其特征在于：在步驟5中，在所述在陰極鉭管中通入氬氣的通量為120～150sccm。

6.根據權利要求1所述的一種鈣鈦礦太陽電池的氧化錫電子傳輸層的制備方法，其特征在于：在步驟5中，在所述氬氣電離起輝后，在所述在陰極鉭管中通入氬氣的通量為10-30sccm。

7.根據權利要求1所述的一種鈣鈦礦太陽電池的氧化錫電子傳輸層的制備方法，其特征在于：在步驟5中，所述通電的電流大小為30-50A。

8.根據權利要求1所述的一種鈣鈦礦太陽電池的氧化錫電子傳輸層的制備方法，其特征在于：在步驟6中，所述通入氧氣的通量為40-60sccm。

9.根據權利要求1所述的一種鈣鈦礦太陽電池的氧化錫電子傳輸層的制備方法，其特征在于：在步驟8中，所述紫外臭氧清洗是采用紫外臭氧清洗機中清洗10-20分鐘。