[發(fā)明專利]一種晶圓檢測設(shè)備

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202210506886.1
• 申請日: 2022-05-11
• 公開（公告）號: CN114609148B
• 公開（公告）日: 2022-07-19
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 馬鐵中;李瑞青;李心怡;路膨
• 申請（專利權(quán)）人: 昂坤視覺（北京）科技有限公司
• 主分類號: G01N21/88
• 分類號: G01N21/88;G01N21/95;G01N21/01
• 代理公司: 北京清亦華知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11201
• 代理人: 何世磊

本發(fā)明提供了一種晶圓檢測設(shè)備，包括相機，用于拍攝晶圓的光學(xué)圖像；鏡筒，連接于相機；鏡組，設(shè)于鏡筒內(nèi)且用于在相機與晶圓之間形成圖像傳輸光路；明場照明組件，連接于鏡筒并用于在鏡筒內(nèi)部形成照射到晶圓上的明場照明光路；暗場照明組件，用于在鏡筒外部形成照射到晶圓上的暗場照明光路；切換組件，設(shè)于鏡筒內(nèi)且切換組件能夠移動至圖像傳輸光路上以使相機能夠拍攝明場照明組件照明時晶圓的光學(xué)圖像，以及切換組件能夠遠離圖像傳輸光路以使相機能夠拍攝暗場照明組件照明時晶圓的光學(xué)圖像。本申請?zhí)峁┑木A檢測設(shè)備在只需使用一個鏡筒就能夠同時滿足對晶圓的明場環(huán)境檢測以及暗場環(huán)境檢測，且結(jié)構(gòu)簡單、工作效率高。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及晶圓檢測技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種晶圓檢測設(shè)備。

背景技術(shù)

晶圓是指制作硅半導(dǎo)體電路所用的晶片，其原始材料通常是硅。其制作工藝為，將高純度的多晶硅溶解后，摻入硅晶體中，然后再慢慢拉出，以形成圓柱形的單晶硅。硅晶棒在經(jīng)過研磨、拋光、切片后，以形成硅晶圓片，也就是晶圓。在晶圓制作的過程中，拉單晶、切片、磨片、拋光、增層、光刻、摻雜、熱處理以及劃片等一系列處理過程均可能使晶圓的表面產(chǎn)生缺陷。因此，為了防止存在缺陷的晶圓流入封裝工序，需要借助晶圓檢測設(shè)備來識別出晶圓表面的缺陷并分類、標(biāo)記，以輔助晶圓分揀。

其中，現(xiàn)有技術(shù)為了更全面的對晶圓進行檢測，大部分都需要通過晶圓檢測設(shè)備在明場環(huán)境下對晶圓進行檢測，同時也需要在暗場環(huán)境下對晶圓進行檢測，然而，現(xiàn)有的晶圓檢測設(shè)備大部分都需要設(shè)置多個鏡頭組，然后通過不同的鏡頭組來分別對晶圓進行明場環(huán)境以及暗場環(huán)境的檢測，使得檢測過程復(fù)雜、同時檢測成本較高，不利于晶圓的大規(guī)模生產(chǎn)。

發(fā)明內(nèi)容

基于此，本發(fā)明的目的是提供一種晶圓檢測設(shè)備，以解決現(xiàn)有技術(shù)的晶圓檢測設(shè)備大部分都需要設(shè)置多個鏡頭組，然后通過不同的鏡頭組來分別對晶圓進行明場環(huán)境以及暗場環(huán)境的檢測，導(dǎo)致檢測過程復(fù)雜、同時檢測成本較高的問題。

本發(fā)明實施例一方面提出了一種晶圓檢測設(shè)備，用于對晶圓進行缺陷檢測，所述晶圓檢測設(shè)備包括：

相機，用于拍攝所述晶圓的光學(xué)圖像；

鏡筒，連接于所述相機；

鏡組，設(shè)于所述鏡筒內(nèi)且用于在所述相機與所述晶圓之間形成圖像傳輸光路；

明場照明組件，連接于所述鏡筒并用于在所述鏡筒內(nèi)部形成照射到所述晶圓上的明場照明光路；

暗場照明組件，用于在所述鏡筒外部形成照射到所述晶圓上的暗場照明光路；

切換組件，設(shè)于所述鏡筒內(nèi)且所述切換組件能夠移動至所述圖像傳輸光路上以使所述相機能夠拍攝所述明場照明組件照明時所述晶圓的光學(xué)圖像，以及，所述切換組件能夠遠離所述圖像傳輸光路以使所述相機能夠拍攝所述暗場照明組件照明時所述晶圓的光學(xué)圖像。

本發(fā)明的有益效果是：通過將相機連接在鏡筒上，與此同時，在該鏡筒的內(nèi)部設(shè)置鏡組以及切換組件，進一步的，還設(shè)置有暗場照明組件以及與上述鏡筒連接的明場照明組件。在實際的檢測過程中，當(dāng)切換組件移動至圖像傳輸光路上時，此時啟用明場照明組件，并且該明場照明組件發(fā)射出的明場照明光路能夠照射到晶圓上，從而能夠使相機拍攝到晶圓處于明場照明環(huán)境下的光學(xué)圖像，對應(yīng)的，當(dāng)切換組件遠離上述圖像傳輸光路時，此時啟用暗場照明組件，并且該暗場照明組件發(fā)射出的暗場照明光路能夠直接照射到晶圓上，從而能夠使相機拍攝到晶圓處于暗場照明環(huán)境下的光學(xué)圖像。本申請?zhí)峁┑木A檢測設(shè)備在只需使用一個鏡筒的前提下，就能夠同時滿足對晶圓的明場環(huán)境檢測以及暗場環(huán)境檢測，大幅簡化了該晶圓檢測設(shè)備的結(jié)構(gòu)，另外，在分別對晶圓進行明場環(huán)境檢測以及暗場環(huán)境檢測的過程中，晶圓可以處于同一個檢測工位上，從而對晶圓的移動需求較小，大幅簡化了對晶圓的檢測程序。