[發明專利]膜片式真空泵在審
| 申請號: | 202210506055.4 | 申請日: | 2022-05-10 |
| 公開(公告)號: | CN114810562A | 公開(公告)日: | 2022-07-29 |
| 發明(設計)人: | 楊木森;楊國祥;陳圣海;金俊強;章學;楊圣聰;李海蝦 | 申請(專利權)人: | 浙江永球科技有限公司 |
| 主分類號: | F04B45/047 | 分類號: | F04B45/047;F04B37/14;F04B39/10;F04B39/00;F16J15/16;F16J15/32;F16J15/3268 |
| 代理公司: | 溫州名創知識產權代理有限公司 33258 | 代理人: | 程嘉煒 |
| 地址: | 325000 浙江省溫*** | 國省代碼: | 浙江;33 |
| 權利要求書: | 查看更多 | 說明書: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 膜片 真空泵 | ||
1.膜片式真空泵,包括泵體(1),泵體(1)上端通過螺栓安裝有泵蓋(2),泵體(1)下端通過螺栓安裝有軸承箱(3);其特征在于:還包括驅動機構(4)、泵軸(5)以及隔板(6),所述泵軸(5)轉動設置于泵體(1)內,所述驅動機構(4)安裝于軸承箱(3)上用于帶動泵軸(5)沿軸向往復運動,所述泵軸(5)上安裝有與泵體(1)內壁相連的小膜片(7),小膜片(7)上方形成泵腔(8),所述隔板(6)設置在泵腔(8)中,并且所述隔板(6)與泵軸(5)的上端聯動連接,隔板(6)的外周與泵腔(8)的內壁之間連接有大膜片(9),大膜片(9)將所述泵腔(8)分隔成上腔(10)和下腔(11);所述泵蓋(2)上開設有將所述上腔(10)與大氣相連通的進氣口(12),所述進氣口(12)上安裝有只允許氣體由大氣進入上腔(10)的第一單向閥(13),所述隔板(6)上開設有將所述上腔(10)與下腔(11)相連通的過孔(14),所述所述過孔(14)上安裝有只允許氣體由上腔(10)進入下腔(11)的第二單向閥(15),所述泵體(1)上開設有將所述下腔(11)與大氣相連通的排氣孔(16),所述排氣孔(16)上安裝有只允許氣體由下腔(11)排出排出大氣的第三單向閥(17)。
2.根據權利要求1所述的膜片式真空泵,其特征在于:所述隔板(6)通過螺絲可拆卸地連接有第一壓圈(18),所述大膜片(9)的內邊沿夾設在第一壓圈(18)與隔板(6)之間,所述大膜片(9)的外邊沿夾設在泵蓋(2)與泵體(1)之間。
3.根據權利要求2所述的膜片式真空泵,其特征在于:所述泵軸(5)上設有第一臺階(19),所述隔板(6)套設在泵軸(5)上并且隔板(6)的下端抵在第一臺階(19)上,所述泵軸(5)的上端設有螺紋段(20),所述螺紋段(20)上螺紋連接有梅花螺母(21),所述梅花螺母(21)的下端與隔板(6)的上端面相抵觸,所述隔板(6)上端開設有同軸于泵軸(5)的圓槽(22),所述圓槽(22)內嵌設有用于抵緊梅花螺母(21)的梅花螺母壓蓋(23)。
4.根據權利要求3所述的膜片式真空泵,其特征在于:所述泵軸(5)上位于第一臺階(19)下方的位置設置有第二臺階(24),所述泵軸(5)外周位于第二臺階(24)與隔板(6)之間的位置套設有第一中間壓蓋(25)和第二中間壓蓋(26),所述泵體(1)內通過螺絲可拆卸地連接有第二壓圈(27),所述小膜片(7)的內邊沿夾設在第一中間壓蓋(25)與第二中間壓蓋(26)之間,所述小膜片(7)的外邊沿夾設在第二壓圈(27)與泵體(1)之間。
5.根據權利要求4所述的膜片式真空泵,其特征在于:所述第一壓圈(18)與隔板(6)之間設有呈內大外小的第一環狀錐形槽(28),所述泵蓋(2)與泵體(1)之間設有呈內大外小的第二環狀錐形槽(29),所述大膜片(9)的內邊沿處設有與所述第一環狀錐形槽(28)相契合的第一環狀錐形固定部(30),所述大膜片(9)的外邊沿處設有與所述第二環狀錐形槽(29)相契合的第二環狀錐形固定部(31);所述第一中間壓蓋(25)和第二中間壓蓋(26)之間設有呈內大外小的第三環狀錐形槽(32),所述第二壓圈(27)與泵體(1)之間設有呈內大外小的第四環狀錐形槽(33),所述小膜片(7)的內邊沿處設有與所述第三環狀錐形槽(32)相契合的第三環狀錐形固定部(34),所述小膜片(7)的外邊沿處設有與所述第四環狀錐形槽(33)相契合的第四環狀錐形固定部(35)。
6.根據權利要求1所述的膜片式真空泵,其特征在于:所述泵蓋(2)內設有與所述隔板(6)外周相配合的第一環形導向凸部(36),所述泵體(1)內設有與所述隔板(6)外周相配合的第二環形導向凸部(37)。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息,商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于浙江永球科技有限公司,未經浙江永球科技有限公司許可,擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作,請聯系【客服】
本文鏈接:http://www.szxzyx.cn/pat/books/202210506055.4/1.html,轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
- 上一篇:陣列基板及顯示面板
- 下一篇:磷化銦多晶料VGF或VB法生長單晶的裝料方法





