[發明專利]散列高架懸吊式運輸機具軌道系統及其操作方法

在審

• 申請號: 202210505727.X
• 申請日: 2022-05-10
• 公開（公告）號: CN115196263A
• 公開（公告）日: 2022-10-18
• 發明（設計）人: 李冠群;張慶榮;董啟峰;沈香吟
• 申請（專利權）人: 臺灣積體電路制造股份有限公司
• 主分類號: B65G35/00
• 分類號: B65G35/00;H01L21/677
• 代理公司: 北京律盟知識產權代理有限責任公司 11287
• 代理人: 李春秀

1.一種用于半導體制造設施FAB的自動化物料處理系統AMHS，包含：

軌道網絡；

運載工具，其經配置以固持用于存放一或多個樣本的樣本載具，其中所述運載工具經配置以通過所述軌道網絡在所述半導體制造設施內移動；

轉臺，其連接到所述軌道網絡并且經配置以圍繞大體上垂直于所述轉臺的表面的軸線旋轉；以及

散列軌道，其與所述轉臺連接并重疊，其中所述散列軌道經配置以與所述轉臺一起圍繞所述軸線旋轉。

2.根據權利要求1所述的自動化物料處理系統，進一步包含：

第一電源，其連接到所述軌道網絡；及

第二電源，其連接到所述散列軌道，其中所述第一電源以及所述第二電源彼此電性不連接。

3.根據權利要求1所述的自動化物料處理系統，其中所述散列軌道包含各自均具有π形狀的第一部分以及第二部分。

4.根據權利要求1所述的自動化物料處理系統，進一步包含多個傳感器，其沿著所述散列軌道的至少一部分設置，其中所述多個傳感器經配置以對所述轉臺的對準進行感測。

5.一種操作自動化物料處理系統AMHS的方法，包含：

使運載工具沿著第一固定軌道朝向固定于第一轉臺的第一散列軌道移動，所述運載工具經配置以固持樣本載具，所述樣本載具存放一或多個樣本；

使所述第一散列軌道圍繞大體上垂直于所述第一轉臺的表面延伸的軸線旋轉；以及

使所述運載工具通過所述第一散列軌道從所述第一散列軌道的第一末端朝向所述第一散列軌道的第二末端移動，所述第一散列軌道的所述第一末端以及所述第二末端彼此相對。

6.根據權利要求5所述的方法，進一步包含：

在將所述運載工具移動通過所述第一散列軌道之后，將所述運載工具從所述第一散列軌道的所述第二末端移動到沿著第一方向延伸的第二固定軌道；

將所述運載工具移動到固定于第二轉臺的第二散列軌道；以及

使所述運載工具通過所述第二散列軌道移動到沿著不同于所述第一方向的第二方向延伸的第三固定軌道。

7.根據權利要求5所述的方法，其中所述第一固定軌道包含彼此平行設置的第一部分以及第二部分，并且其中所述方法進一步包含，在所述運載工具移動到所述第一散列軌道之前，使所述運載工具從所述第一固定軌道的所述第一部分移動到所述第一固定軌道的所述第二部分。

8.一種操作自動化物料處理系統AMHS的方法，包含：

使運載工具沿著第一固定軌道朝向固定于第一轉臺的第一散列軌道移動，所述運載工具經配置以固持樣本載具，所述樣本載具存放一或多個樣本；

使所述第一散列軌道圍繞大體上垂直于所述第一轉臺的表面延伸的軸線旋轉；

使所述運載工具沿著所述散列軌道的彎曲部分移動；以及

使所述運載工具沿著第二固定軌道移動，所述第二固定軌道沿著不同于所述第一固定軌道的第二方向延伸。

9.根據權利要求8所述的方法，進一步包含：

使用第一電源向所述第一轉臺以及所述第一散列軌道供電；及

使用第二電源向所述第一固定軌道供電，所述第一電源以及所述第二電源彼此電性不連接。

10.根據權利要求8所述的方法，進一步包含：

使用沿著所述第一散列軌道的至少一部分設置的一或多個傳感器來對所述第一轉臺相對于所述第一固定軌道以及所述第二固定軌道的對準進行感測；及

根據所感測到的所述對準以使用人工智能AI來控制所述轉臺以及所述散列軌道。