[發(fā)明專利]一種IGZO廢靶回收再利用的方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202210503530.2
• 申請(qǐng)日: 2022-05-10
• 公開（公告）號(hào): CN114804853A
• 公開（公告）日: 2022-07-29
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 張兵;王志強(qiáng);曾墩風(fēng);馬建保;陶成;徐軍偉
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 蕪湖映日科技股份有限公司
• 主分類號(hào): C04B35/453
• 分類號(hào): C04B35/453;C04B35/626;C04B35/622;C23C14/35;C23C14/08
• 代理公司: 南京正聯(lián)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 32243
• 代理人: 楊靜

1.一種IGZO廢靶回收再利用的方法，其特征在于，包括以下步驟：

（1）廢靶清洗：用有機(jī)溶劑將廢靶雜物清洗干凈，再將廢靶放入純水中超聲清洗，再將廢靶進(jìn)行干燥；

（2）廢靶破碎：將大塊的廢靶破碎成小塊，將破碎后的廢靶放入坩堝；

（3）等離子體氣化廢靶：將裝有廢靶的坩堝放入等離子體反應(yīng)室，放在等離子槍下方；反應(yīng)室通入潔凈空氣進(jìn)行氣體保護(hù)；電離惰性氣體產(chǎn)生等離子體使廢靶氣化形成IGZO蒸汽；

（4）粉末蒸汽凝結(jié)：將IGZO蒸汽導(dǎo)向冷卻室凝結(jié)成IGZO粉體；

（5）粉末回收：對(duì)粉體進(jìn)行收集。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述IGZO廢靶回收再利用的方法，其特征在于，還包括步驟（6）粉末成型：將粉體進(jìn)行干壓成型、冷等靜壓成型，將成型好的素坯進(jìn)行車削加工至規(guī)定形狀；將成型好的素坯進(jìn)行脫脂、燒結(jié)；將燒結(jié)好的靶材進(jìn)行切割、磨邊、磨內(nèi)外圓機(jī)加工，將加工后的靶材進(jìn)行綁定，質(zhì)量檢測。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述IGZO廢靶回收再利用的方法，其特征在于，所述小塊尺寸小于30*30mm。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述IGZO廢靶回收再利用的方法，其特征在于，所述等離子槍電流為800~1200A。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述IGZO廢靶回收再利用的方法，其特征在于，所述等離子槍工作電壓為100~150V。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述IGZO廢靶回收再利用的方法，其特征在于，所述等離子反應(yīng)室內(nèi)部襯有聚四氟乙烯。

7.根據(jù)權(quán)利要求2所述IGZO廢靶回收再利用的方法，其特征在于，所述燒結(jié)結(jié)工藝如下：（1）以5℃/min的升溫速率升溫至800℃，保溫5h，通入氧氣流量為5L/min；（2）以2℃/min的升溫速率升溫至1000℃，保溫10h，通入氧氣流量為8L/min；（3）以1℃/min的升溫速率升溫至1200℃，保溫12h，通入氧氣流量為11L/min；（4）以0.3℃/min的升溫速率升溫至1450℃，保溫20h，通入氧氣流量為15L/min；（5）以5℃/min的降溫速率降升溫至1250℃，通入氧氣流量為12L/min；（6）隨后停止通氧，自然冷卻至室溫。