[發明專利]物鏡視野內高速縮微打標裝置及其方法

在審

• 申請號: 202210499489.6
• 申請日: 2022-05-09
• 公開（公告）號: CN114654102A
• 公開（公告）日: 2022-06-24
• 發明（設計）人: 谷朝臣;程昊;秦萬國
• 申請（專利權）人: 嘉興譜鑒精密儀器有限公司
• 主分類號: B23K26/362
• 分類號: B23K26/362;B23K26/064;B23K26/082
• 代理公司: 上海鍛創知識產權代理有限公司 31448
• 代理人: 韓冰

1.一種物鏡視野內高速縮微打標裝置，其特征在于，包括激光器(1)、振鏡(2)、場鏡(3)、第一管鏡(4)、第一分光模塊(6)、物鏡(7)以及打標樣本(8)；

所述激光器(1)的光路出口與所述振鏡(2)的光路入口同軸相對，所述振鏡(2)的光路出口與所述場鏡(3)的光路入口同軸相對，所述場鏡(3)與所述第一管鏡(4)共焦安裝，所述第一管鏡(4)的光路出口與所述物鏡(7)的光路入口同軸相對，所述第一分光模塊(6)置于所述第一管鏡(4)與所述物鏡(7)之間，所述第一分光模塊(6)用于使激光光束透過而反射其他光束，所述物鏡(7)用于將平行的光束聚焦為激光打標焦點，激光打標焦點照射在所述打標樣本(8)上進行蝕刻；

通過控制所述振鏡(2)的轉動角度使所述聚焦光斑在所述物鏡(7)視野范圍大小相對應的區域內進行高速移動，進而通過調控所述振鏡(2)的轉動角度完成單個物鏡視野下的圖案蝕刻。

2.根據權利要求1所述的物鏡視野內高速縮微打標裝置，其特征在于，所述場鏡(3)為遠心場鏡。

3.根據權利要求2所述的物鏡視野內高速縮微打標裝置，其特征在于，所述第一管鏡(1)為像方遠心無限遠成像光路。

4.根據權利要求3所述的物鏡視野內高速縮微打標裝置，其特征在于，所述物鏡(7)為無限遠物鏡。

5.根據權利要求1所述的物鏡視野內高速縮微打標裝置，其特征在于，還包括位移臺(9)，所述打標樣本(8)置于所述位移臺(9)上，于所述打標樣本(8)上完成一個所述物鏡(7)視野內的圖案打標作業后通過所述位移臺(9)移動至預設位。

6.根據權利要求1-5任一所述的物鏡視野內高速縮微打標裝置，其特征在于，還包括成像組件(10)，所述成像組件(10)包括透射照明光路(101)、第二分光模塊(102)、第二管鏡(103)和相機(104)；

所述投射照明光路(101)置于所述打標樣本(8)下方，所述第二分光模塊(102)、所述第二管鏡(103)以及所述相機(104)位于所述第一分光模塊(6)的一側，所述第二分光模塊(102)用于反射激光光束，所述打標樣本(8)為透光材料；

所述透明照射光路(101)發出的成像光束依次經所述物鏡(7)、所述第一分光模塊(6)、所述第二分光模塊(102)以及所述第二管鏡(103)后被所述相機(104)采集成像。

7.根據權利要求6所述的物鏡視野內高速縮微打標裝置，其特征在于，還包括落射照明光路(105)，所述落射照明光路(105)位于所述第二分光模塊(102)一側，所述打標樣本(8)為非透光材質；

所述落射照明光路(105)發出的成像光束依次經所述第二分光模塊(102)、所述第一分光模塊(6)、所述物鏡(7)后照射在所述打標樣本(8)上，經所述打標樣本(8)的反射使得成像光束依次經所述物鏡(7)、所述第一分光模塊(6)、所述第二分光模塊(102)、所述第二管鏡(103)后被所述相機(104)采集成像。